微马达结构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种微马达结构，其包括：一轮毂，为不可动构件并呈圆柱体，其顶缘向外突伸有上盖，所述上盖呈至少二个以上的突出型态；一内环，呈中空环状并位于所述上盖外周，其内孔径略大于所述上盖的最大外径，并与所述上盖呈点接触；一肋骨结构，呈中空环状并固定于所述内环底部，使其位于所述上盖下方，且其内孔径大于所述轮毂外径，小于所述内环的内孔径与所述上盖的最大外径，使所述上盖被挡止于所述肋骨结构上方；一外环，呈中空环状，且其内孔径远大于所述内环的最大外径；至少二微致动器，连结于所述内环与所述外环之间。因此当微致动器带动肋骨结构、内环与外环旋转时，即使内环内孔碰撞上盖，由于其间为点接触，可减少二构件之间的相互磨损，延长其寿命。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及微马达结构，特别是指一种可避免构件磨损与失效，以延长 寿命的微马达结构。技术背景如图l所示，微马达包含有一轮毂IO、 一肋骨结构20、 一内环30、 一外环40以及至少二个以上的微致 动器50;再如图2所示，其使用LPCVD (低压化学气相沉积)在一基质60上沉积低 应力(250MPa)氮化硅薄膜(Si3N4)作为绝缘层61。其中，轮毂10为一固定在绝缘层61上的不可动构件，其呈中空的U形盘状 体，且其顶缘朝向外突伸有上盖101。肋骨结构20与内环30均为中空环状，内环30位于上盖11外周，且内环30 的内孔径必须略大于上盖101的最大外径，肋骨结构20固定于内环30底部，位 于上盖101的下方位置，用于支撑内环30旋转，且肋骨结构20的内孔径必须大 于轮毂外径10，但小于内环30的内孔径与上盖101的最大外径，使上盖101可挡 止于肋骨结构20上方，以防止其旋转脱出。外环40也呈中空环状，且外环40的内孔径必须远大于内环30的最大外径， 内环30与外环40之间具有多个微致动器50，各微致动器50以其支撑悬臂梁51 连结于内环30与外环40之间，且各支撑悬臂梁51上又本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微马达结构，其特征在于包括：一轮毂，为不可动构件并呈圆柱体，其顶缘向外突伸有上盖，所述上盖呈至少二个以上的突出型态；一内环，呈中空环状并位于所述上盖外周，其内孔径略大于所述上盖的最大外径，并与所述上盖呈点接触；一肋骨结构，呈中空环状并固定于所述内环底部，使其位于所述上盖下方，且其内孔径大于所述轮毂外径，小于所述内环的内孔径与所述上盖的最大外径，使所述上盖被挡止于所述肋骨结构上方；一外环，呈中空环状，且其内孔径远大于所述内环的最大外径；至少二微致动器，连结于所述内环与所述外环之间。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：洪银树，黄义佑，
申请(专利权)人：建凖电机工业股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：71[中国|台湾]