微型致动器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种微型致动器，位于一基板上，其包含一平板与一轴衬，其中平板后端与基板间的接触呈非面接触。由此，本实用新型专利技术可以有效降底摩擦、降低驱动电压并延长组件寿命。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种微型致动器，其通过减少平板与基板的接触面积，来改 善传统微型致动器组件寿命短、驱动电压高等缺点。技术背景微型风扇(Micro Fan)包含有两个部份，其一是以自我组装技术 (Self-assembly)制作的微风扇叶片，其二是以抓举式致动器(Scratch Drive Actuator; SDA)或弹跳式致动器(Bounce Drive Actuator; BDA)作为转子所组 成的微型马达(Micro Motor)。如图1所示，以抓举式致动器(Scratch Drive Actuator; SDA)为例说明其动 作原理抓举式致动器位于一基板12上，且其包含有一平板10与一轴衬11。 当平板lO与轴衬ll由电容式的结构形成时，可在平板10上得到静电力，当 一个具周期性的静电力外加于平板10上时，平板IO在基板12上便产生步进运动， 如图中b、 c、 d所示，即描述当外加方波时，微致动器的平板10与基板12之间 的步进动作。当外加一个正偏压时，平板10因为静电力而被基板12吸引，此称之为折屈 动作(snaping)，但是平板10前方具有轴衬11 ，使整个平板区域并不本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微型致动器，位于一基板上，其包含一平板与一轴衬，其特征在于：所述平板后端与所述基板间的接触呈非面接触。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：洪银树，黄义佑，
申请(专利权)人：建凖电机工业股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：71[中国|台湾]