一种新型靶材连接结构及其成型工艺制造技术

本发明专利技术公开了一种新型靶材连接结构，包括靶材本体和金属套环，所述靶材本体的上表面成型有环状槽，且所述环状槽的形状和尺寸与金属套环相适配，所述金属套环连接装配在环状槽中并向外延伸，且所述金属套环的外表面车削成型有外螺纹，本发明专利技术通过在靶材本体上过盈热压装配带有外螺纹的金属套环，能避免对靶材本体进行加工，有效的保证了靶材本体免受损坏，提高了靶材本体的良品率，相较于传统的连接方式，本发明专利技术具有较高的使用价值。本发明专利技术具有较高的使用价值。本发明专利技术具有较高的使用价值。

【技术实现步骤摘要】
一种新型靶材连接结构及其成型工艺


[0001]本专利技术涉及靶材加工
，尤其涉及一种新型靶材连接结构及其成型工艺。

技术介绍

[0002]目前靶材市场上分别有焊接靶材和一体靶材，因为铬本身显脆性，在加工过程中极易损伤报废，所以对于铬材料则需要根据尺寸要求选择不同的方式，大尺寸无疑是需要做背板焊接，而小尺寸可以做一体加工，为了避免铬靶材免受损伤，所以有必要设计一种物理连接方式以供使用。

技术实现思路

[0003]专利技术目的：为了解决
技术介绍
中存在的不足，所以本专利技术公开了一种新型靶材连接结构及其成型工艺。
[0004]技术方案：一种新型靶材连接结构，包括靶材本体和金属套环，所述靶材本体的上表面成型有环状槽，且所述环状槽的形状和尺寸与金属套环相适配，所述金属套环连接装配在环状槽中并向外延伸，且所述金属套环的外表面车削成型有外螺纹。
[0005]进一步的是，所述金属套环由铜材料制成。
[0006]进一步的是，所述靶材本体为圆饼式铬靶材。
[0007]进一步的是，所述金属套环与环状槽为过盈热装配连接。
[0008]进一步的是，所述金属套环与靶材本体过盈热装配的高度为5
‑
10mm。
[0009]一种新型靶材连接结构的成型工艺，包括以下步骤，
[0010]步骤一，将铬原料注入成型模具中进行烧结成型，且烧结成型后的靶材本体上表面具有环状槽；
[0011]步骤二，通过车削机床将金属套环的外表面车削有外螺纹；
[0012]步骤三，利用机械手或者人工将加工有外螺纹的金属套环过盈塞进靶材本体的环状槽中并利用热装配机将它们固定；
[0013]步骤四，利用拉力测试装置拉伸金属套环以检测金属套环与靶材本体是否装配稳固。
[0014]本专利技术实现以下有益效果：
[0015]本专利技术通过在靶材本体上安装带有外螺纹的金属套环，能避免对靶材本体进行加工，有效的保证了靶材本体免受损坏，提高了靶材本体的良品率，相较于传统的连接方式，本专利技术具有较高的使用价值。
附图说明
[0016]此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。
[0017]图1为本专利技术公开的整体结构示意图；
[0018]图2为本专利技术公开的A处放大结构示意图。
具体实施方式
[0019]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0020]实施例
[0021]参考图1
‑
2，一种新型靶材连接结构，包括靶材本体10和金属套环20，其中，金属套环20优选由铜材料制成，靶材本体10优选为圆饼式铬靶材，靶材本体10的上表面成型有环状槽30，且环状槽30的形状和尺寸与金属套环20相适配，金属套环20连接装配在环状槽30中并向外延伸，且金属套环20的外表面车削成型有外螺纹。
[0022]在其中一个实施例中，金属套环20与环状槽30为过盈热装配连接。
[0023]在其中一个实施例中，金属套环20与靶材本体10过盈热装配的高度为5
‑
10mm，且在该阈值范围内，可保证金属套环20与靶材本体10进行更好的进行过盈热装配连接。
[0024]一种新型靶材连接结构的成型工艺，包括以下步骤，
[0025]步骤一，将铬原料注入成型模具中进行烧结成型，且烧结成型后的靶材本体10上表面具有环状槽30；
[0026]步骤二，通过车削机床将金属套环20的外表面车削有外螺纹；
[0027]步骤三，利用机械手或者人工将加工有外螺纹的金属套环20过盈塞进靶材本体10的环状槽30中并利用热装配机将它们固定；
[0028]步骤四，利用拉力测试装置拉伸金属套环20以检测金属套环20与靶材本体10是否装配稳固。
[0029]通过上述各个实施例的实施，本专利技术具有以下有益效果：
[0030]本专利技术通过在靶材本体10上安装带有外螺纹的金属套环20，能避免对靶材本体10进行加工，有效的保证了靶材本体10免受损坏，提高了靶材本体10的良品率，相较于传统的连接方式，本专利技术具有较高的使用价值。
[0031]上述实施例只为说明本专利技术的技术构思及特点，其目的是让熟悉该
的技术人员能够了解本专利技术的内容并据以实施，并不能以此来限制本专利技术的保护范围。凡根据本专利技术精神实质所作出的等同变换或修饰，都应涵盖在本专利技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型靶材连接结构，其特征在于，包括靶材本体(10)和金属套环(20)，所述靶材本体(10)的上表面成型有环状槽(30)，且所述环状槽(30)的形状和尺寸与金属套环(20)相适配，所述金属套环(20)连接装配在环状槽(30)中并向外延伸，且所述金属套环(20)的外表面车削成型有外螺纹。2.根据权利要求1所述的一种新型靶材连接结构，其特征在于，所述金属套环(20)由铜材料制成。3.根据权利要求1所述的一种新型靶材连接结构，其特征在于，所述靶材本体(10)为圆饼式铬靶材。4.根据权利要求1所述的一种新型靶材连接结构，其特征在于，所述金属套环(20)与环状槽(30)为过盈热装配连接。5.根据权利要求4所述的一种新型靶材连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：臧龙杰，周俊荣，齐东淼，沈雷振，曾静，
申请(专利权)人：昆山世高新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：