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本发明公开了一种新型靶材连接结构,包括靶材本体和金属套环,所述靶材本体的上表面成型有环状槽,且所述环状槽的形状和尺寸与金属套环相适配,所述金属套环连接装配在环状槽中并向外延伸,且所述金属套环的外表面车削成型有外螺纹,本发明通过在靶材本体上过...该专利属于昆山世高新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山世高新材料科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种新型靶材连接结构,包括靶材本体和金属套环,所述靶材本体的上表面成型有环状槽,且所述环状槽的形状和尺寸与金属套环相适配,所述金属套环连接装配在环状槽中并向外延伸,且所述金属套环的外表面车削成型有外螺纹,本发明通过在靶材本体上过...