一种高真空电阻炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高真空电阻炉,包括真空系统、炉体、加热装置、冷却装置、工艺管路系统和石墨装置，真空系统控制炉体的真空度以及对混合气体进行脱脂，加热装置控制炉体内的温度，冷却装置控制制品的冷却速度，工艺管路系统向炉体输入气体用于炉体的不同工艺，石墨装置用于装载制品，本实用新型专利技术采用一级真空管路、二级真空管路和三级真空管路控制不同工艺阶段的真空度，降低设备复杂程度和成本，真空系统控制炉体真空度，通过脱脂箱和集脂箱将制品中的粘结剂及成型剂有效抽出炉膛，减小对炉膛的污染。膛的污染。膛的污染。

【技术实现步骤摘要】
一种高真空电阻炉


[0001]本技术属于电阻炉领域，涉及一种高真空电阻炉。

技术介绍

[0002]真空电阻炉主要是将待热处理的制品送入炉内，关闭炉门，炉内抽真空后加热至工艺温度后冷却到工艺设定温度后出炉，用于真空条件下制品的热处理，现有真空电阻炉在保证较大真空值的同时，容易发生加热后温度均匀性较差的问题，不能满足高品质制品要求，冷却速度慢，生产效率低，且不具备排胶功能，对制品和设备有一定影响，本技术有效地解决了这种问题。

技术实现思路

[0003]本技术为了克服现有技术的不足，提供一种高真空电阻炉。
[0004]为了实现上述目的，本技术采用以下技术方案：一种高真空电阻炉, 其特征在于：包括真空系统、炉体、加热装置、冷却装置、工艺管路系统和石墨装置，真空系统控制炉体的真空度以及对混合气体进行脱脂，加热装置控制炉体内的温度，冷却装置控制制品的冷却速度，工艺管路系统向炉体输入气体用于炉体的不同工艺，石墨装置用于装载制品。
[0005]进一步的；所述真空系统包括真空管路和脱脂机构，真空管路至少包括一级真空管路、二级真空管路和三级真空管路，一级真空管路、二级真空管路和三级真空管路控制不同工艺阶段的炉体真空度，脱脂机构对混合气体进行脱脂处理。
[0006]进一步的；所述炉体包括炉门、炉膛和炉尾，炉门、炉膛和炉尾的壳体分别采用双层结构，包括位于外侧的外层以及位于内侧的内层，外层与内层之间形成夹层，冷却介质通入夹层，控制炉体的外表面温升不大于25℃，内层采用真空气密结构，控制炉体的漏率不大于1.3x10
‑7Pa.L/s，外层和内层采用钢质材料，炉膛内设置为炉腔，炉腔内安装加热装置、冷却装置、石墨装置以及相关设备，加热装置安装在冷却装置内部，石墨装置安装在加热装置内部，真空系统、工艺管路系统以及其他相关设备安装在炉体的外部；炉体下方固设有炉体支撑架，炉体支撑架用于支撑炉体。
[0007]进一步的；所述加热装置包括隔热组件、加热组件和水冷电极，隔热组件包括若干层叠设置的隔热屏，加热组件包括若干加热器，加热组件位于隔热组件内，加热组件控制炉体内炉腔的温度，隔热组件将加热组件辐射的热量进行反射，防止热量散失，水冷电极用于对加热器供电，通过冷却水对水冷电极进行冷却；冷却装置包括热风循环机构和冷却机构，热风循环机构包括风机和排气组件，冷却机构包括热交换器，热风循环机构和冷却机构将炉腔内热量通过热量交换排出炉体，工艺管路系统包括真空解除回路、氮气注入回路和工艺气体注入回路，真空解除回路、氮气注入回路和工艺气体注入回路分别用于炉体的不同工艺，真空解除回路包括真空解除阀，氮气注入回路包括氮气注入阀，工艺气体注入回路包括工艺气体注入阀，真空解除阀、氮气注入阀以及工艺气体注入阀控制炉体的工艺，工艺管路系统还包括与炉体连通的气体端口和工艺气体端口，真空解除回路以及氮气注入回路通
过气体端口与炉体的炉腔连通，用于解除炉体的真空状态以及氮气注入工艺，工艺气体注入回路通过工艺气体端口与炉体的炉腔连通，用于将工艺气体注入炉腔；石墨装置包括升降结构和石墨盒体，升降结构包括升降动力机构和顶盖，石墨盒体固设有观察孔,制品安装在石墨盒体内，升降动力机构控制顶盖移动，用于密封或远离观察孔，观察孔用于观察石墨盒体内的制品。
[0008]进一步的；所述隔热组件包括隔热密封盖、隔热膛和隔热安装盖，隔热密封盖固定安装在隔热膛的一端，隔热安装盖可拆卸安装在隔热膛的另一端，隔热密封盖、隔热膛和隔热安装盖形成隔热腔体，加热组件安装在隔热腔体内，隔热密封盖、隔热膛和隔热安装盖分别由若干隔热屏层叠设置，位于隔热密封盖、隔热膛和隔热安装盖位置的隔热屏形状分别与隔热密封盖、隔热膛和隔热安装盖形状相配，隔热膛的若干隔热屏沿隔热膛径向依次向内层叠，所述隔热膛外表面沿轴线方向设置有若干隔热环杆，隔热环杆外表面弧度与炉腔内表面的弧形相配，隔热环杆加强隔热屏层叠安装的强度，隔热膛一端还设置有隔热安装角，隔热安装角用于隔热膛和隔热安装盖的安装；隔热膛上固设有隔热安装块，隔热安装块用于与炉腔内表面的安装。
[0009]进一步的；所述加热器与隔热屏通过若干连接固定器固定连接，连接固定器沿隔热膛圆周方向分布，若干所述加热器沿隔热膛轴向依次间隔排布，连接固定器包括连接固定杆，连接固定杆的上端向上依次贯穿隔热屏并延伸至隔热膛外侧并通过固定件使连接固定杆的上端固定在隔热膛的外表面，连接固定杆的下端贯穿加热器并通过固定件使连接固定杆的下端固定在加热器内表面，连接固定杆套设有若干第一定位器和第二定位器，第一定位器位于相邻的隔热屏之间，使相邻隔热屏的间距相同，便于隔热屏的安装，第二定位器位于内层隔热屏与加热器之间，使若干加热器与隔热屏的间距相同。
[0010]进一步的；所述风机安装在炉体的炉尾内，排气组件安装在位于炉体的炉膛内，排气组件包括冷风分配器和冷风管，冷风分配器一侧与风机安装，另一侧与冷风管安装，冷风分配器包括冷风固定端和冷风连接端，冷风固定端与风机连接，冷风连接端与冷风管连接，冷风固定端、冷风连接端以及冷风管形成氮气流通通道，冷风连接端内设置有冷风分配腔，冷风连接端内设置有冷风腔，冷风分配腔与冷风腔连通，氮气由冷风分配腔流通至冷风腔，冷风连接端上还设置有若干冷风连通孔，冷风连通孔与冷风腔连通，冷风管安装在冷风连通孔，使冷风分配腔、冷风腔、冷风连通孔以及冷风管构成氮气流通通道，冷风分配器还包括冷风安装板，冷风安装板用于安装冷却机构，冷风固定端、冷风连接端以及冷风安装板通过冷风连接杆固设连接，冷风连接杆加强冷风分配器的强度，冷却机构包括热交换器，热交换器安装在冷风安装板，热交换器设置有水冷装置，水冷装置设置有水冷进口和水冷出口，水冷进口和水冷出口延伸至炉体外部。
[0011]进一步的；所述真空解除回路包括真空空气过滤器，真空解除阀和真空空气过滤器通过第一真空管路连通，真空解除阀与气体端口通过第二真空管路连通，真空空气过滤器、第一真空管路、真空解除阀、第二真空管路以及气体端口形成真空解除气体流通路径，真空解除阀控制真空解除气体流通路径的开启和闭合，真空气体沿真空解除气体流通路径输送至炉体的炉腔，解除炉腔的真空状态，便于炉体的炉门开启，所述工艺气体注入回路包括工艺气体管路，工艺气体管路一端与气体注入端口连通，另一端与工艺气体注入阀连通，工艺气体注入阀的出口端与工艺气体端口连通，气体注入端口、工艺气体管路、工艺气体注
入阀以及工艺气体端口形成工艺气体流通路径，工艺气体注入阀控制工艺气体流通路径的开启和闭合，工艺气体沿工艺气体流通路径通入炉体。
[0012]进一步的；所述一级真空管路包括初级泵、一级初级阀、二级初级阀和三级初级阀，二级真空管路包括次级泵、一级次级阀、二级次级阀和三级次级阀，三级真空管路包括主泵和主阀，主阀通过真空进气管与炉体连通，一级真空管路、二级真空管路以及三级真空管路各部件通过管道连通，脱脂机构包括脱脂箱和集脂箱，工件脱脂通路包括用于混合气体导入的三级初级阀、用于混合气体脱脂的脱脂箱、用于混合气体导出的二级初级本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高真空电阻炉,其特征在于：包括真空系统、炉体、加热装置、冷却装置、工艺管路系统和石墨装置，真空系统控制炉体的真空度以及对混合气体进行脱脂，加热装置控制炉体内的温度，冷却装置控制制品的冷却速度，工艺管路系统向炉体输入气体用于炉体的不同工艺，石墨装置用于装载制品。2.根据权利要求1所述的一种高真空电阻炉，其特征在于：所述真空系统包括真空管路和脱脂机构，真空管路至少包括一级真空管路、二级真空管路和三级真空管路，一级真空管路、二级真空管路和三级真空管路控制不同工艺阶段的炉体真空度，脱脂机构对混合气体进行脱脂处理。3.根据权利要求1所述的一种高真空电阻炉，其特征在于：所述炉体包括炉门、炉膛和炉尾，炉门、炉膛和炉尾的壳体分别采用双层结构，包括位于外侧的外层以及位于内侧的内层，外层与内层之间形成夹层，冷却介质通入夹层，控制炉体的外表面温升不大于25℃，内层采用真空气密结构，控制炉体的漏率不大于1.3x10
‑7Pa.L/s，外层和内层采用钢质材料，炉膛内设置为炉腔，炉腔内安装加热装置、冷却装置、石墨装置以及相关设备，加热装置安装在冷却装置内部，石墨装置安装在加热装置内部，真空系统、工艺管路系统以及相关设备安装在炉体的外部；炉体下方固设有炉体支撑架，炉体支撑架用于支撑炉体。4.根据权利要求1所述的一种高真空电阻炉，其特征在于：所述加热装置包括隔热组件、加热组件和水冷电极，隔热组件包括若干层叠设置的隔热屏，加热组件包括若干加热器，加热组件位于隔热组件内，加热组件控制炉体内炉腔的温度，隔热组件将加热组件辐射的热量进行反射，防止热量散失，水冷电极用于对加热器供电，通过冷却水对水冷电极进行冷却；冷却装置包括热风循环机构和冷却机构，热风循环机构包括风机和排气组件，冷却机构包括热交换器，热风循环机构和冷却机构将炉腔内热量通过热量交换排出炉体，工艺管路系统包括真空解除回路、氮气注入回路和工艺气体注入回路，真空解除回路、氮气注入回路和工艺气体注入回路分别用于炉体的不同工艺，真空解除回路包括真空解除阀，氮气注入回路包括氮气注入阀，工艺气体注入回路包括工艺气体注入阀，真空解除阀、氮气注入阀以及工艺气体注入阀控制炉体的工艺，工艺管路系统还包括与炉体连通的气体端口和工艺气体端口，真空解除回路以及氮气注入回路通过气体端口与炉体的炉腔连通，用于解除炉体的真空状态以及氮气注入工艺，工艺气体注入回路通过工艺气体端口与炉体的炉腔连通，用于将工艺气体注入炉腔；石墨装置包括升降结构和石墨盒体，升降结构包括升降动力机构和顶盖，石墨盒体固设有观察孔,制品安装在石墨盒体内，升降动力机构控制顶盖移动，用于密封或远离观察孔，观察孔用于观察石墨盒体内的制品。5.根据权利要求4所述的一种高真空电阻炉，其特征在于：所述隔热组件包括隔热密封盖、隔热膛和隔热安装盖，隔热密封盖固定安装在隔热膛的一端，隔热安装盖可拆卸安装在隔热膛的另一端，隔热密封盖、隔热膛和隔热安装盖形成隔热腔体，加热组件安装在隔热腔体内，隔热密封盖、隔热膛和隔热安装盖分别由若干隔热屏层叠设置，位于隔热密封盖、隔热膛和隔热安装盖位置的隔热屏形状分别与隔热密封盖、隔热膛和隔热安装盖形状相配，隔热膛的若干隔热屏沿隔热膛径向依次向内层叠，所述隔热膛外表面沿轴线方向设置有若干隔热环杆，隔热环杆外表面弧度与炉腔内表面的弧形相配，隔热环杆加强隔热屏层叠安装的强度，隔热膛一端还设置有隔热安装角，隔热安装角用于隔热膛和隔热安装盖的安装；隔热膛上固设有隔热安装块，隔热安装块用于与炉腔内表面的安装。
6.根据权利要求4所述的一种高真空电阻炉，其特征在于：所述加热器与隔热屏通过若干连接固定器固定连接，连接固定器沿隔热膛圆周方向分布，若干所述加热器沿隔热膛轴向依次间隔排布，连接固定器包括连接固定杆，连接固定杆的上端向上依次贯穿隔热屏并延伸至隔热膛外侧并通过固定件使连接固定杆的上端固定在隔热膛的外表面，连接固定杆的下端贯穿加热器并通过固定件使连接固定杆的下端固定在加热器内表面，连接固定杆套设有若干第一定位器和第二定位器，第一定位器位于相邻的隔热屏之间，使相邻隔热屏的间距相同，便于隔热屏的安装，第二定位器位于内层隔热屏与加热器之间，使若干加热器与隔热屏的间距相同。7.根据权利要求4所述的一种高真空电阻炉，其特征在于：所述风机安装在炉体的炉尾内，排气组件安装在位于炉体的炉膛内，排气组件包括冷风分配器和冷风管，冷风分配器一侧与风机安装，另一侧与冷风管安装，...

【专利技术属性】
技术研发人员：龙占勇，林佳继，罗迎春，李东林，李洪，
申请(专利权)人：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司，
类型：新型
国别省市：