小型管式炉除水除氧系统技术方案

本发明专利技术公开了小型管式炉除水除氧系统，包括除水除氧箱和晶体生长机构，所述除水除氧箱的内部中空且除水除氧箱的内腔上部设有控制机，除水除氧箱内腔中还设有净化循环机构；所述净化循环机构包括除水除氧箱内底壁上固定安装的循环风机和再生桶，所述循环风机的进气端上贯通连接有循环风机进气管，循环风机进气管向外侧延伸贯通除水除氧箱的侧壁并延伸至除水除氧箱外腔，所述再生桶出气端上贯通连接有再生桶出气管。本发明专利技术设计新颖，结构紧凑，大大提高了晶体生长的质量和速度，极大的保证了晶体生长的良好气体氛围，并且填补了小型管式炉除水除氧的技术空白，极大地提高了国内晶体生长实验的实验能力。生长实验的实验能力。生长实验的实验能力。

【技术实现步骤摘要】
小型管式炉除水除氧系统


[0001]本专利技术涉及晶体生长辅助设备
，尤其涉及小型管式炉除水除氧系统。

技术介绍

[0002]单晶体原则上可以由固态、液态或气态生长而得，实际上人工晶体多半由熔体达到一定的过冷或溶液达到一定的过饱和而得，晶体合成可以使用晶体提拉法进行合成，在晶体合成过程中多使用管式炉进行加热，为了保证晶体生长的良好气体氛围，需要对管式炉中的气体进行除水除氧。
[0003]经检索，申请号CN201821985326.4的专利，公开了一种晶体生长炉供气系统，包括液氮罐、液氧罐、第一汽化器、第二汽化器、第一出口阀、第二出口阀、第一单向阀、第二单向阀、第一流量计和第二流量计，所述液氮罐、第一出口阀、第一单向阀和第一汽化器顺次串接，所述第一汽化器的排气口经连接管与晶体生长炉的进气口连通，所述第一汽化器和晶体生长炉之间的连接管上设有第一流量计，所述液氧罐、第二出口阀、第二单向阀和第二汽化器顺次串接，所述第二汽化器的排气口经连接管与晶体生长炉的进气口连通，第二汽化器和晶体生长炉之间的连接管上设有第二流量计。本技术中可以准确地控制本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.小型管式炉除水除氧系统，包括除水除氧箱(1)和晶体生长机构(4)，其特征在于，所述除水除氧箱(1)的内部中空且除水除氧箱(1)的内腔上部设有控制机(2)，除水除氧箱(1)内腔中还设有净化循环机构(3)；所述净化循环机构(3)包括除水除氧箱(1)内底壁上固定安装的循环风机(31)和再生桶(32)，所述循环风机(31)的进气端上贯通连接有循环风机进气管(34)，循环风机进气管(34)向外侧延伸贯通除水除氧箱(1)的侧壁并延伸至除水除氧箱(1)外腔，所述再生桶(32)出气端上贯通连接有再生桶出气管(35)，再生桶出气管(35)向外侧延伸贯通除水除氧箱(1)的侧壁并延伸至除水除氧箱(1)外腔，循环风机(31)的出气端和再生桶(32)的进气端之间贯通连接有中间风管(33)；所述晶体生长机构(4)包括晶体生长炉(41)，所述晶体生长炉外壳(41)内通过直接支架固定安装有管式炉(42)，且管式炉(42)为可以开合的密封结构，所述管式炉(42)上端贯通连接有管式炉进气管(45)，管式炉进气管(45)另一端通过波纹管与再生桶出气管(35)贯通连接，所述管式炉(42)下端贯通连接有管...

【专利技术属性】
技术研发人员：方辉，王伟，邾根祥，江晓平，
申请(专利权)人：合肥科晶材料技术有限公司，
类型：发明
国别省市：