小型管式炉除水除氧系统技术方案

本发明专利技术公开了小型管式炉除水除氧系统，包括除水除氧箱和晶体生长机构，所述除水除氧箱的内部中空且除水除氧箱的内腔上部设有控制机，除水除氧箱内腔中还设有净化循环机构；所述净化循环机构包括除水除氧箱内底壁上固定安装的循环风机和再生桶，所述循环风机的进气端上贯通连接有循环风机进气管，循环风机进气管向外侧延伸贯通除水除氧箱的侧壁并延伸至除水除氧箱外腔，所述再生桶出气端上贯通连接有再生桶出气管。本发明专利技术设计新颖，结构紧凑，大大提高了晶体生长的质量和速度，极大的保证了晶体生长的良好气体氛围，并且填补了小型管式炉除水除氧的技术空白，极大地提高了国内晶体生长实验的实验能力。生长实验的实验能力。生长实验的实验能力。

【技术实现步骤摘要】
小型管式炉除水除氧系统


[0001]本专利技术涉及晶体生长辅助设备
，尤其涉及小型管式炉除水除氧系统。

技术介绍

[0002]单晶体原则上可以由固态、液态或气态生长而得，实际上人工晶体多半由熔体达到一定的过冷或溶液达到一定的过饱和而得，晶体合成可以使用晶体提拉法进行合成，在晶体合成过程中多使用管式炉进行加热，为了保证晶体生长的良好气体氛围，需要对管式炉中的气体进行除水除氧。
[0003]经检索，申请号CN201821985326.4的专利，公开了一种晶体生长炉供气系统，包括液氮罐、液氧罐、第一汽化器、第二汽化器、第一出口阀、第二出口阀、第一单向阀、第二单向阀、第一流量计和第二流量计，所述液氮罐、第一出口阀、第一单向阀和第一汽化器顺次串接，所述第一汽化器的排气口经连接管与晶体生长炉的进气口连通，所述第一汽化器和晶体生长炉之间的连接管上设有第一流量计，所述液氧罐、第二出口阀、第二单向阀和第二汽化器顺次串接，所述第二汽化器的排气口经连接管与晶体生长炉的进气口连通，第二汽化器和晶体生长炉之间的连接管上设有第二流量计。本技术中可以准确地控制氮气和氧气的比例，保证送至晶体生长炉内的氮气和氧气比例符合要求，有利于完成炉内退火。
[0004]上述装置不能满足小型管式炉的除水除氧需求，同时不能有效的对晶体生长的环境进行氛围的调节，无法对晶体生长的气氛进行监测和控制，不能保证晶体生长的速度和质量。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的不能满足小型管式炉的除水除氧需求，同时不能有效的对晶体生长的环境进行气氛的调节，无法对晶体生长的气氛进行监测和控制，不能保证晶体生长的速度和质量的缺点，而提出的小型管式炉除水除氧系统。
[0006]为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：
[0007]小型管式炉除水除氧系统，包括除水除氧箱和晶体生长机构，所述除水除氧箱的内部中空且除水除氧箱的内腔上部设有控制机，除水除氧箱内腔中还设有净化循环机构；所述净化循环机构包括除水除氧箱内底壁上固定安装的循环风机和再生桶，所述循环风机的进气端上贯通连接有循环风机进气管，循环风机进气管向外侧延伸贯通除水除氧箱的侧壁并延伸至除水除氧箱外腔，所述再生桶出气端上贯通连接有再生桶出气管，再生桶出气管向外侧延伸贯通除水除氧箱的侧壁并延伸至除水除氧箱外腔，循环风机的出气端和再生桶的进气端之间贯通连接有中间风管；所述晶体生长机构包括晶体生长炉，所述晶体生长炉外壳内通过直接支架固定安装有管式炉，且管式炉为可以开合的密封结构，所述管式炉上端贯通连接有管式炉进气管，管式炉进气管另一端通过波纹管与再生桶出气管贯通连接，所述管式炉下端贯通连接有管式炉出气管，管式炉出气管另一端通过波纹管与循环风机进气管贯通连接。
[0008]优选的，所述晶体生长炉内还设有提拉组件和旋转组件，且提拉组件和旋转组件均与管式炉上端贯通连接。
[0009]优选的，所述中间风管、循环风机进气管、再生桶出气管、管式炉进气管、管式炉出气管和波纹管之间的连接处均使用KF25法兰密封贯通连接。
[0010]优选的，所述晶体生长炉内对应管式炉的下方位置设有温控盒。
[0011]优选的，所述中间风管上设有水分分析仪。
[0012]优选的，所述管式炉进气管上设有氧分分析仪。
[0013]优选的，所述管式炉进气管上还设有压力传感器。
[0014]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0015]1、本专利技术可以满足大多数金属和非金属材料的烧结，也可以适用金属材料晶体的生长实验，并且填补了国内晶体实验领域针对小型管式炉除水除氧技术的空白；
[0016]2、本专利技术中，通过压力传感器对管式炉中的氛围压力进行监控，可以满足各种常压、微正压及微负压环境实验，并配合水分分析仪和氧分分析仪保持晶体生长的良好氛围；
[0017]3、本专利技术中，通过再生桶对晶体生长的氛围气体进行净化，并且可以反复多次的对再生桶内的气氛净化材料做再生处理，保证再生桶的良好气氛净化功能。
[0018]本专利技术设计新颖，结构紧凑，大大提高了晶体生长的质量和速度，极大的保证了晶体生长的良好气体氛围，并且填补了小型管式炉除水除氧的技术空白，极大地提高了国内晶体生长实验的实验能力。
附图说明
[0019]图1为本专利技术提出的小型管式炉除水除氧系统的外观结构示意图；
[0020]图2为本专利技术提出的小型管式炉除水除氧系统的除水除氧箱结构示意图；
[0021]图3为本专利技术提出的小型管式炉除水除氧系统的晶体生长炉结构示意图。
[0022]图中：除水除氧箱1、控制机2、净化循环机构3、循环风机31、再生桶32、中间风管33、水分分析仪331、循环风机进气管34、再生桶出气管35、晶体生长机构4、晶体生长炉41、管式炉42、提拉组件43、旋转组件44、管式炉进气管45、氧分分析仪451、压力传感器452、管式炉出气管46、温控盒5。
具体实施方式
[0023]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0024]在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0025]实施例一
[0026]参照图1
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3，小型管式炉除水除氧系统，包括除水除氧箱1和晶体生长机构4，晶体生长机构4用于晶体的生长，所述除水除氧箱1的内部中空且除水除氧箱1的内腔上部设有控制机2，用于对系统进行调节，除水除氧箱1内腔中还设有净化循环机构3，用于对晶体生
长的气氛进行净化；所述净化循环机构3包括除水除氧箱1内底壁上固定安装的循环风机31和再生桶32，所述再生桶32内填充有气体净化材料，并且可以反复多次的对再生桶32内的气体净化材料做再生处理，保证再生桶的良好气氛净化功能，所述循环风机31的进气端上贯通连接有循环风机进气管34，循环风机进气管34向外侧延伸贯通除水除氧箱1的侧壁并延伸至除水除氧箱1外腔，所述再生桶32出气端上贯通连接有再生桶出气管35，再生桶出气管35向外侧延伸贯通除水除氧箱1的侧壁并延伸至除水除氧箱1外腔，循环风机31的出气端和再生桶32的进气端之间贯通连接有中间风管33，通过循环风机31将晶体生长的氛围气体抽出进入循环，并配合再生桶32对晶体生长的氛围气体进行净化；所述晶体生长机构4包括晶体生长炉41，所述晶体生长炉外壳41内通过直接支架固定安装有管式炉42，且管式炉42为可以开合的密封结构，所述管式炉42上端贯通连接有管式炉进气管45，管式炉进气管45另一端通过波纹管与再生桶出气管35贯通连接，所述管式本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.小型管式炉除水除氧系统，包括除水除氧箱(1)和晶体生长机构(4)，其特征在于，所述除水除氧箱(1)的内部中空且除水除氧箱(1)的内腔上部设有控制机(2)，除水除氧箱(1)内腔中还设有净化循环机构(3)；所述净化循环机构(3)包括除水除氧箱(1)内底壁上固定安装的循环风机(31)和再生桶(32)，所述循环风机(31)的进气端上贯通连接有循环风机进气管(34)，循环风机进气管(34)向外侧延伸贯通除水除氧箱(1)的侧壁并延伸至除水除氧箱(1)外腔，所述再生桶(32)出气端上贯通连接有再生桶出气管(35)，再生桶出气管(35)向外侧延伸贯通除水除氧箱(1)的侧壁并延伸至除水除氧箱(1)外腔，循环风机(31)的出气端和再生桶(32)的进气端之间贯通连接有中间风管(33)；所述晶体生长机构(4)包括晶体生长炉(41)，所述晶体生长炉外壳(41)内通过直接支架固定安装有管式炉(42)，且管式炉(42)为可以开合的密封结构，所述管式炉(42)上端贯通连接有管式炉进气管(45)，管式炉进气管(45)另一端通过波纹管与再生桶出气管(35)贯通连接，所述管式炉(42)下端贯通连接有管...

【专利技术属性】
技术研发人员：方辉，王伟，邾根祥，江晓平，
申请(专利权)人：合肥科晶材料技术有限公司，
类型：发明
国别省市：