单晶炉快速冷却装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了单晶炉快速冷却装置，包括炉体，所述炉体的内壁固定连接有石墨加热器，所述炉体内部的顶部固定连接有导流筒，所述炉体的底部固定连接有电机，所述电机的输出端延伸至炉体的内部并固定连接有连接架，所述连接架的顶部活动连接有坩埚，所述炉体内部的顶部固定连接有位于导流筒外部的环形排喷，所述炉体的右侧固定连接有储液箱，所述储液箱的顶部固定连接有电磁阀，所述电磁阀的进液口通过管道延伸至储液箱的内部。本实用新型专利技术通过设置储液箱，来储存液态二氧化碳，并利用电磁阀和环形排喷，来将液体二氧化碳输送进炉体内，从而对炉体的内部进行快速降温，最终提高了冷却装置的工作效率。却装置的工作效率。却装置的工作效率。

【技术实现步骤摘要】
单晶炉快速冷却装置


[0001]本技术涉及单晶炉
，具体为单晶炉快速冷却装置。

技术介绍

[0002]单晶炉是工业炉的一种，主要是将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备，由于单晶炉在工作时，内部会产生大量热量，并且自身保温效果好，导致单晶炉的冷却装置无法对其进行快速降温，使得单晶炉的停炉工艺需要耗费较长时间。

技术实现思路

[0003]为解决上述
技术介绍
中提出的问题，本技术的目的在于提供单晶炉快速冷却装置，具备提高单晶炉冷却装置工作效率的优点，解决了现有单晶炉冷却装置工作效率低的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：单晶炉快速冷却装置，包括炉体；
[0005]所述炉体的内壁固定连接有石墨加热器，所述炉体内部的顶部固定连接有导流筒，所述炉体的底部固定连接有电机，所述电机的输出端延伸至炉体的内部并固定连接有连接架，所述连接架的顶部活动连接有坩埚；
[0006]所述炉体内部的顶部固定连接有位于导流筒外部的环形排喷，所述炉体的右侧固定连接有储液箱，所述储液箱的顶部固定连接有电磁阀，所述电磁阀的进液口通过管道延伸至储液箱的内部，所述电磁阀的排液口通过管道延伸至炉体的内部并与环形排喷的进液口连通。
[0007]作为本技术优选的，所述炉体的底部固定连接有位于电机外部的支撑柱，所述支撑柱的底部固定连接有减震器。
[0008]作为本技术优选的，所述储液箱的右侧固定连接有气压表，所述气压表的探测头贯穿储液箱并延伸至储液箱的内部。
[0009]作为本技术优选的，所述炉体的正面固定连接有温度检测器，所述温度检测器的传感头贯穿炉体并延伸至炉体的内部。
[0010]作为本技术优选的，所述炉体内部的底部通过支撑杆固定连接有位于连接架外部的辅助环，所述辅助环的内侧活动连接有滚珠，所述滚珠的内侧与连接架的表面活动连接。
[0011]作为本技术优选的，所述连接架的顶部开设有四棱槽，所述坩埚的底部固定连接有四棱块，所述四棱块的底部延伸至四棱槽的内部。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0013]1、本技术通过设置储液箱，来储存液态二氧化碳，并利用电磁阀和环形排喷，来将液体二氧化碳输送进炉体内，从而对炉体的内部进行快速降温，最终提高了冷却装置的工作效率。
[0014]2、本技术通过设置支撑柱和减震器，来吸收单晶炉工作时所产生的震动，从而对单晶炉进行减震降噪。
[0015]3、本技术通过设置气压表，来检测储液箱内的气压，方便工人判断储液箱内液体二氧化碳的储量。
[0016]4、本技术通过设置温度检测器，来对炉体内温度进行检测，从而方便工人实时查看炉体内部的温度，便于工人判断单晶炉内部工作情况。
[0017]5、本技术通过设置辅助环和滚珠，来对连接架进行限位，避免连接架发生倾斜，导致坩埚与炉体内壁发生碰撞。
[0018]6、本技术通过设置四棱槽和四棱块，来将坩埚与连接架进行连接，同时方便工人对坩埚进行更换。
附图说明
[0019]图1为本技术结构示意图；
[0020]图2为本技术结构炉体的正视剖视示意图；
[0021]图3为本技术结构炉体的俯视剖视示意图；
[0022]图4为本技术图2中A处放大结构图。
[0023]图中：1、炉体；2、石墨加热器；3、导流筒；4、电机；5、连接架；6、坩埚；7、环形排喷；8、储液箱；9、电磁阀；10、支撑柱；11、减震器；12、气压表；13、温度检测器；14、辅助环；15、滚珠；16、四棱槽；17、四棱块。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]如图1至图4所示，本技术提供的单晶炉快速冷却装置，包括炉体1；
[0026]炉体1的内壁固定连接有石墨加热器2，炉体1内部的顶部固定连接有导流筒3，炉体1的底部固定连接有电机4，电机4的输出端延伸至炉体1的内部并固定连接有连接架5，连接架5的顶部活动连接有坩埚6；
[0027]炉体1内部的顶部固定连接有位于导流筒3外部的环形排喷7，炉体1的右侧固定连接有储液箱8，储液箱8的顶部固定连接有电磁阀9，电磁阀9的进液口通过管道延伸至储液箱8的内部，电磁阀9的排液口通过管道延伸至炉体1的内部并与环形排喷7的进液口连通。
[0028]参考图2，炉体1的底部固定连接有位于电机4外部的支撑柱10，支撑柱10的底部固定连接有减震器11。
[0029]作为本技术的一种技术优化方案，通过设置支撑柱10和减震器11，来吸收单晶炉工作时所产生的震动，从而对单晶炉进行减震降噪。
[0030]参考图2，储液箱8的右侧固定连接有气压表12，气压表12的探测头贯穿储液箱8并延伸至储液箱8的内部。
[0031]作为本技术的一种技术优化方案，通过设置气压表12，来检测储液箱8内的气
压，方便工人判断储液箱8内液体二氧化碳的储量。
[0032]参考图3，炉体1的正面固定连接有温度检测器13，温度检测器13的传感头贯穿炉体1并延伸至炉体1的内部。
[0033]作为本技术的一种技术优化方案，通过设置温度检测器13，来对炉体1内温度进行检测，从而方便工人实时查看炉体1内部的温度，便于工人判断单晶炉内部工作情况。
[0034]参考图4，炉体1内部的底部通过支撑杆固定连接有位于连接架5外部的辅助环14，辅助环14的内侧活动连接有滚珠15，滚珠15的内侧与连接架5的表面活动连接。
[0035]作为本技术的一种技术优化方案，通过设置辅助环14和滚珠15，来对连接架5进行限位，避免连接架5发生倾斜，导致坩埚6与炉体1内壁发生碰撞。
[0036]参考图4，连接架5的顶部开设有四棱槽16，坩埚6的底部固定连接有四棱块17，四棱块17的底部延伸至四棱槽16的内部。
[0037]作为本技术的一种技术优化方案，通过设置四棱槽16和四棱块17，来将坩埚6与连接架5进行连接，同时方便工人对坩埚6进行更换。
[0038]本技术的工作原理及使用流程：使用时，先启动电磁阀9，同时储液箱8内液体二氧化碳会在气压的挤压下通过电磁阀9输送进环形排喷7内，环形排喷7会将液态二氧化碳在单晶炉内喷出，液态二氧化碳通过汽化来吸收热量，从而对单晶炉的内部进行快速降温，最终提高了冷却装置的工作效率。
[0039]综上所述：该单晶炉快速冷却装置，通过设置储液箱8，来储存液态二氧化碳，并利用电磁阀9和环形排喷7，来将液体二氧化碳输送进炉体1内，从本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.单晶炉快速冷却装置，其特征在于，包括炉体（1）；所述炉体（1）的内壁固定连接有石墨加热器（2），所述炉体（1）内部的顶部固定连接有导流筒（3），所述炉体（1）的底部固定连接有电机（4），所述电机（4）的输出端延伸至炉体（1）的内部并固定连接有连接架（5），所述连接架（5）的顶部活动连接有坩埚（6）；所述炉体（1）内部的顶部固定连接有位于导流筒（3）外部的环形排喷（7），所述炉体（1）的右侧固定连接有储液箱（8），所述储液箱（8）的顶部固定连接有电磁阀（9），所述电磁阀（9）的进液口通过管道延伸至储液箱（8）的内部，所述电磁阀（9）的排液口通过管道延伸至炉体（1）的内部并与环形排喷（7）的进液口连通。2.根据权利要求1所述的单晶炉快速冷却装置，其特征在于：所述炉体（1）的底部固定连接有位于电机（4）外部的支撑柱（10），所述支撑柱（10）的底部固定连接有减震器（11）。3.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：张勇，侯玉国，苏学民，
申请(专利权)人：山东颂杨新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：