导流筒提升组件和单晶炉制造技术

本实用新型专利技术涉及一种导流筒提升组件，包括导流筒、提升结构，以及能够连接于导流筒和提升结构的提升杆之间的连接结构，导流筒的第一端具有凸缘，凸缘上具有至少一个第一安装孔；连接结构包括连接板和固定螺栓，连接板包括固定部和连接部，固定部上设置有与第一安装孔相配合的至少一个第二安装孔，固定螺栓能够依次穿过第二安装孔和第一安装孔，以将连接板紧密连接于凸缘上，连接部上开设有缺口；提升杆包括沿第一方向延伸的柱状本体，柱状本体的一端的外周面内凹形成环形卡接口，卡接口能够卡接入缺口内以将提升杆与导流筒连接，环形卡接口在第一方向上的长度大于预设值。本实用新型专利技术还涉及一种单晶炉。涉及一种单晶炉。涉及一种单晶炉。

【技术实现步骤摘要】
导流筒提升组件和单晶炉


[0001]本技术涉及单晶生长
，尤其涉及一种导流筒提升组件和单晶炉。

技术介绍

[0002]在半导体用单晶生长炉的拉晶过程中，需要用到导流筒来对气体进行引流。通常通过控制炉盖的旋入旋出和热屏提升机构的上升下降来完成导流筒的安装，在进行导流筒的吊装时，常用的连接方式为导流筒的边缘使用螺钉与挂钩固定，热屏提升杆下降后与挂钩相连，电机运转后带动热屏提升杆上升，达到吊装导流筒的目的。其中，挂钩和导流筒之间为活动结构，留有一定间隙。挂钩和热屏提升杆之间同样留有间隙，在动作过程中，两者之间的挂钩由于两端都为自由端，升起后呈斜角，在导流筒和热屏提升杆之间均为与挂钩的边沿接触，接触方式为点接触，或者线接触。这样的连接方式会造成如下问题：炉盖运动过程中由于点或线的不稳定，导流筒会沿着接触点左右晃动，造成运动状态不稳定。

技术实现思路

[0003]为了解决上述技术问题，本技术提供一种导流筒提升组件和单晶炉，解决提升杆与导流筒之间连接不稳定的问题。
[0004]为了达到上述目的，本技术实施例采用的技术方案是：一种导流筒提升组件，包括导流筒、提升结构，以及能够连接于所述导流筒和所述提升结构的提升杆之间的连接结构，
[0005]所述导流筒的第一端具有凸缘，所述凸缘上具有至少一个第一安装孔；
[0006]所述连接结构包括连接板和固定螺栓，所述连接板包括固定部和连接部，所述固定部上设置有与所述第一安装孔相配合的至少一个第二安装孔，所述固定螺栓能够依次穿过所述第二安装孔和所述第一安装孔，以将所述连接板紧密连接于所述凸缘上，所述连接部上开设有缺口；
[0007]所述提升杆包括沿第一方向延伸的柱状本体，所述柱状本体的一端的外周面内凹形成环形卡接口，所述卡接口能够卡接入所述缺口内以将所述提升杆与所述导流筒连接，所述环形卡接口在所述第一方向上的长度大于预设值。
[0008]可选的，所述连接部沿着第二方向延伸设置，所述连接部包括靠近所述固定部的第一端，以及与所述第一端相邻的第一侧面，在所述第一侧面上开设开口并沿着第三方向延伸形成所述缺口，所述第二方向为与从所述固定部到所述连接部的方向相平行的方向，所述第三方向与所述第二方向相垂直。
[0009]可选的，所述固定部上设置有两个所述第二安装孔，两个所述第二安装孔沿着所述第三方向间隔设置。
[0010]可选的，所述固定部沿所述第三方向延伸设置，所述连接部连接于所述固定部的中部，所述连接部与所述固定部连接呈T形结构。
[0011]可选的，所述连接部和所述固定部为一体结构。
[0012]可选的，所述连接部的厚度小于所述固定部的厚度。
[0013]可选的，所述提升杆的一端的端部设置有限位台，所述环形卡接口设置于所述限位台的一侧，所述限位台的面积大于所述缺口的面积。
[0014]可选的，所述连接部包括靠近所述导流筒的第一表面，所述第一表面上设置有能够容纳所述限位台的限位凹槽，所述限位凹槽围设在所述缺口远离所述第一侧面的内侧区域的周围。
[0015]可选的，所述预设值大于所述连接板的厚度。
[0016]可选的，所述环形卡接口沿着所述提升杆的延伸方向从所述限位台延伸至所述提升杆的另一端。
[0017]可选的，所述导流筒为锥台状结构，所述锥台状结构的所述第一端的面积大于与所述第一端相对的第二端的面积。
[0018]本技术实施例还提供一种单晶炉，包括上述的导流筒提升组件。
[0019]本技术的有益效果是：通过长度大于预设值的环形卡接口的设置，保证提升杆与导流筒脱离的行程距离，从而通过固定螺栓将所述连接板和所述导流筒之间进行紧密连接，即所述固定螺栓、所述导流筒和所述连接板之间的连接是无缝隙的，避免导流筒升降过程中的不稳定。
附图说明
[0020]图1表示相关技术中的导流筒与提升杆之间的连接状态示意图；
[0021]图2表示相关技术中的提升杆的结构示意图；
[0022]图3表示本技术实施例中的导流筒与连接结构的连接状态示意图一；
[0023]图4表示本技术实施例中的导流筒与连接结构的连接状态示意图二；
[0024]图5表示本技术实施例中的提升杆的结构示意图一；
[0025]图6表示本技术实施例中的提升杆的结构示意图二；
[0026]图7表示本技术实施例中连接板的结构示意图一；
[0027]图8表示本技术实施例中连接板的结构示意图二；
[0028]图9表示本技术实施例中提升杆与连接板的连接状态示意图一；
[0029]图10表示本技术实施例中提升杆与连接板的连接状态示意图二；
[0030]图11表示本技术中的单晶炉的部分结构示意图；
[0031]图12表示本技术中将导流筒放置于保温层上的状态示意图。
具体实施方式
[0032]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例的附图，对本技术实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本技术的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0033]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定
的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0034]参考图1和图2，由于挂钩3和导流筒1之间为活动结构，留有一定间隙。挂钩3和热屏提升杆2之间同样留有间隙，在动作过程中，两者之间的挂钩3由于两端都为自由端，升起后呈斜角，在导流筒1和热屏提升杆2之间均为与挂钩3的边沿接触，接触方式为点接触，或者线接触。这样的连接方式会造成如下问题：炉盖运动过程中由于点或线的不稳定，导流筒1会沿着接触点左右晃动，造成运动状态不稳定。
[0035]参考图3
‑
图12，针对上述问题，本实施例提供一种导流筒提升组件，包括导流筒1、提升结构10，以及能够连接于所述导流筒1和所述提升结构10的提升杆2之间的连接结构，
[0036]所述导流筒1的第一端具有凸缘11，所述凸缘11上具有至少一个第一安装孔；
[0037]所述连接结构包括连接板3和固定螺栓4，所述连接板3包括固定部31和连接部32，所述固定部31上设置有与所述第一安装孔相配合的至少一个第二安装孔301，所述固定螺栓4能够依次穿过所述第二安装孔301和所述第一安装孔，以将所述连接板3紧密连接于所述凸缘11上，所述连接部32上开本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种导流筒提升组件，包括导流筒、提升结构，以及能够连接于所述导流筒和所述提升结构的提升杆之间的连接结构，其特征在于，所述导流筒的第一端具有凸缘，所述凸缘上具有至少一个第一安装孔；所述连接结构包括连接板和固定螺栓，所述连接板包括固定部和连接部，所述固定部上设置有与所述第一安装孔相配合的至少一个第二安装孔，所述固定螺栓能够依次穿过所述第二安装孔和所述第一安装孔，以将所述连接板紧密连接于所述凸缘上，所述连接部上开设有缺口；所述提升杆包括沿第一方向延伸的柱状本体，所述柱状本体的一端的外周面内凹形成环形卡接口，所述卡接口能够卡接入所述缺口内以将所述提升杆与所述导流筒连接，所述环形卡接口在所述第一方向上的长度大于预设值。2.根据权利要求1所述的导流筒提升组件，其特征在于，所述连接部沿着第二方向延伸设置，所述连接部包括靠近所述固定部的第一端，以及与所述第一端相邻的第一侧面，在所述第一侧面上开设开口并沿着第三方向延伸形成所述缺口，所述第二方向为与从所述固定部到所述连接部的方向相平行的方向，所述第三方向与所述第二方向相垂直。3.根据权利要求2所述的导流筒提升组件，其特征在于，所述固定部上设置有两个所述第二安装孔，两个所述第二安装孔沿着所述第三方向间隔设置。4.根据权利要求2所述的导流筒提升组件，其特征在于，所述固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵剑波，
申请(专利权)人：西安奕斯伟材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：