【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉副室
[0001]本技术涉及一种单晶炉副室。
技术介绍
[0002]单晶炉副室是单晶炉的重要组件之一,当单晶棒拉制结束后,单晶炉副室内壁会粘有挥发物,需要每炉都要清扫擦拭。由于单晶炉副室是一个数米高的筒状结构,对其内壁的清扫擦拭非常的麻烦,传统通常需要将其拆卸后,再利用很长的清扫擦拭装置从单晶炉副室的端口插入进行清扫擦拭,存在清扫擦拭麻烦、维护周期长等缺点,从而大大降低了生产效率和提高了生产成本。
技术实现思路
[0003]本技术要解决的技术问题是提供一种清扫擦拭更加方便的单晶炉副室。
[0004]为解决上述问题,本技术采用的技术方案包括:单晶炉副室本体,其特征在于:所述单晶炉副室本体的侧壁至少设有一个清洗窗,所述清洗窗包括焊接于所述单晶炉副室本体侧壁上的底座以及通过铰链铰接于所述底座一端的上盖所述上盖内设有冷却液流道、一侧设有与所述冷却液流道连通的进水口和出水口。
[0005]所述的单晶炉副室,其特征在于:所述冷却液流道由相对的设置在所述上盖上端、且交错设置的第一筋板、第二筋板围成,在所述上盖上端焊接有封盖于所述冷却液流道的封盖板。
[0006]所述的单晶炉副室,其特征在于:所述封盖板对应所述第一筋板、第二筋板位置处设有焊接孔。
[0007]所述的单晶炉副室,其特征在于:所述底座、上盖之间设有密封圈。
[0008]所述的单晶炉副室,其特征在于:所述底座的另一端通过安装座设有可转动的螺杆座,所述螺杆座上设有锁紧螺杆,所述上盖上设有与所述锁紧螺杆配合的“U” ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉副室,包括单晶炉副室本体(1),其特征在于:所述单晶炉副室本体(1)的侧壁至少设有一个清洗窗(2),所述清洗窗(2)包括焊接于所述单晶炉副室本体(1)侧壁上的底座(3)以及通过铰链(17)铰接于所述底座(3)一端的上盖(4),所述上盖(4)内设有冷却液流道(5)、一侧设有与所述冷却液流道(5)连通的进水口(6)和出水口(7)。2.根据权利要求1所述的单晶炉副室,其特征在于:所述冷却液流道(5)由相对的设置在所述上盖(4)上端、且交错设置的第一筋板(8)、第二筋板(9)围成,在所述上盖(4)上端焊接有封盖于所述冷却液流道(5)的封盖板(10)。3.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员:周云龙,
申请(专利权)人:浙江晶泰半导体有限公司,
类型:新型
国别省市:
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