一种单晶炉用方形磁力发生器制造技术

技术编号:34140080 阅读:19 留言:0更新日期:2022-07-14 17:36
本实用新型专利技术涉及一种不易漏磁、拆装方便、磁率线位置可调节的单晶炉用方形磁力发生器。采用如下技术方包括:相对设置的磁力发生器本体,其特征在于:所述磁力发生器本体相对的安装在一个长方形的屏蔽安装框架两端,所述屏蔽安装框架由相对设置的第一挡磁板和相对设置的第二挡磁板围成。优点:1、采用方形的磁力发生器结构,具有不易漏磁、磁场分布均匀、磁感应强度稳定(如图4

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉用方形磁力发生器


[0001]本技术涉及一种磁力发生器。

技术介绍

[0002]磁力发生器是一种用于抑制单晶炉内热对流,提高单晶生产质量的重要装置。磁力发生器的结构包括屏蔽体及相对的设置在屏蔽体内的磁体,传统的屏蔽体通常为“U”型或圆柱型。其中,“U”型存在漏磁现象等缺点;圆柱型存在功率高等缺点。另外,无论“U”型或圆柱型,在炉体内的拆装均非常麻烦、且磁率线位置不能调节。

技术实现思路

[0003]本技术要解决的技术问题是提供一种不易漏磁、拆装方便、磁率线位置可调节的单晶炉用方形磁力发生器。
[0004]为实现上述目的,本技术采用如下技术方包括:相对设置的磁力发生器本体,其特征在于:所述磁力发生器本体相对的安装在一个长方形的屏蔽安装框架两端,所述屏蔽安装框架由相对设置的第一挡磁板和相对设置的第二挡磁板围成。
[0005]所述的单晶炉用磁力发生器,其特征在于:所述磁力发生器本体由圆柱形的磁头及绕在所述磁头外的铜线圈组成。
[0006]所述的单晶炉用磁力发生器,其特征在于:所述铜线圈为通水铜线圈。
[0007]所述的单晶炉用磁力发生器,其特征在于:还包括升降机构,所述升降机构包括二组两两相对设置的立柱,每根所述立柱内设有升降丝杆,所述升降丝杆之间通过换向器、连轴器、连接轴相互连接,其中一个所述换向器上连接有带动所述升降丝杆同步转动的驱动电机,所述屏蔽安装框架安装在所述升降丝杆的升降板上。
[0008]所述的单晶炉用磁力发生器,其特征在于:所述连接轴上设有护板。
[0009]所述的单晶炉用磁力发生器,其特征在于:每根所述立柱底部设有安装底板。
[0010]本技术的单晶炉用磁力发生器优点:1、采用方形的磁力发生器结构,具有不易漏磁、磁场分布均匀、磁感应强度稳定(如图4

8所示)、功率低(功率在35千瓦左右)等优点;2、带有升降机构后,在炉体内升降方便,便于拆装、便于安装热场、且可调节磁力线位置。
[0011]下面结合附图对本技术进行详细说明。
附图说明
[0012]图1是本技术单晶炉用方形磁力发生器的结构示意图;
[0013]图2是本技术升降机构的结构示意图;
[0014]图3是本技术单根通水铜线圈的剖视图;
[0015]图4是本技术单晶炉用方形磁力发生器X轴上的磁场(磁感应强度)曲线图;
[0016]图5是本技术单晶炉用方形磁力发生器Y轴线上的磁场(磁感应强度)曲线图;
[0017]图6是本技术单晶炉用方形磁力发生器Z轴线上的磁场(磁感应强度)曲线图;
[0018]图7是本技术单晶炉用方形磁力发生器圆周D812.8线上的磁场(磁感应强度)曲线图;
[0019]图8是本技术单晶炉用方形磁力发生器磁场云图。
具体实施方式
[0020]如图1

8所示,本技术的单晶炉用方形磁力发生器,包括相对设置的磁力发生器本体1,所述磁力发生器本体1相对的安装在一个长方形的屏蔽安装框架2两端,安装后通过螺杆固定,使所述磁力发生器本体1呈水平、且对称的分布。所述屏蔽安装框架2由相对设置的第一挡磁板3和相对设置的第二挡磁板4围成。所述第一挡磁板3、第二挡磁板4的连接处通过螺杆固定。所述第一挡磁板3、第二挡磁板4均由铁板制成。所述屏蔽安装框架2的规格根据实际确定,理想为磁头(即极头)间隔=1370mm,长2920mm,宽2100mm,高1400mm。
[0021]优选的,所述磁力发生器本体1由圆柱形的磁头5及绕在所述磁头5外的铜线圈6组成。所述磁头5理想采用纯铁DT4制成。所述铜线圈6理想采用通水铜线圈,所述通水铜线圈大小根据实际需要确定,通常规格为8mm*8mm或10mm*10mm或12mm*12mm。所述通水铜线圈两端与循环水装置连接,通过将循环水流入通水铜线圈内将其热量带出,从而起到降温的作用。
[0022]优选的,还包括升降机构7,所述升降机构7包括二组两两相对设置的立柱8,每根所述立柱8内设有升降丝杆9,所述升降丝杆9之间通过换向器10、连轴器11和连接轴12相互连接。所述换向器10、连轴器11、连接轴12具体的连接方式如图2所示。其中一个所述换向器10上连接有带动所述升降丝杆9同步转动的驱动电机13,所述屏蔽安装框架2安装在所述升降丝杆9的升降板14上。通过所述升降机构7以方便方形磁力发生器在炉体内的安装和维护。
[0023]优选的,所述连接轴12上设有护板15,以起到保护所述连接轴12的作用。
[0024]优选的,每根所述立柱8底部设有安装底板16。所述安装底板16上均设有一组螺杆孔,以方便其安装固定。
[0025]以上所述仅为本技术的较佳实施例,并不用以限制本技术,凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均包含在本技术的保护范围之内。
本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉用方形磁力发生器,包括相对设置的磁力发生器本体(1),其特征在于:所述磁力发生器本体(1)相对的安装在一个长方形的屏蔽安装框架(2)两端,所述屏蔽安装框架(2)由相对设置的第一挡磁板(3)和相对设置的第二挡磁板(4)围成。2.根据权利要求1所述的单晶炉用方形磁力发生器,其特征在于:所述磁力发生器本体(1)由圆柱形的磁头(5)及绕在所述磁头(5)外的铜线圈(6)组成。3.根据权利要求2所述的单晶炉用方形磁力发生器,其特征在于:所述铜线圈(6)为通水铜线圈。4.根据权利要求1所述的单晶炉用方形磁力发生器,其特征在于:还包括升降机构...

【专利技术属性】
技术研发人员:周云龙
申请(专利权)人:浙江晶泰半导体有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1