一种加热器电极及单晶炉热场组件制造技术

本公开提供了一种加热器电极及单晶炉热场组件，所述加热器电极包括电极本体，所述电极本体包括：第一电极，所述第一电极沿轴向延伸预定长度，且具有沿着所述轴向相对的第一端和第二端，所述加热器本体安装至加热器时所述第一端比所述第二端更靠近加热器；及第二电极，所述第二电极具有沿所述轴向相对的第三端和第四端，所述第三端相对所述第四端更靠近所述第一电极，且所述第三端以可拆卸方式连接至所述第二端。本公开的加热器电极及单晶炉热场组件，能够改善由于加热器电极上端老化失效报废整个电极的问题，提高电极使用寿命。提高电极使用寿命。提高电极使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种加热器电极及单晶炉热场组件


[0001]本专利技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种加热器电极及单晶炉热场组件。

技术介绍

[0002]随着半导体硅晶圆品质的不断提高，对拉晶过程中的晶棒的晶体缺陷有了更高的管控要求，影响晶体缺陷的因素主要有两个，其一是拉晶工艺参数，用优化的工艺参数去拉晶，能制得品质更好的晶棒；其二是热场的结构和性能，其好坏是晶棒品质的先决条件，热场是拉晶炉中至关重要的组成部分，由于拉晶炉拉晶环境要求严苛，对于热场的品质和材质要求极高，不仅要耐高温，热稳定性好，而且纯度要高。
[0003]在相关技术中，单晶炉热场组件内加热器的电极为一体设置，由于电极轴向有温度差，在轴向上靠近加热器一端温度高，远离加热器一端温度低，在实际使用过程中加热器电极上端会先失效而下端还完好，导致整个电极需要报废。并且，在每次清理炉室时，需要拆掉加热器电极，由于加热器电极底部与铜电极以螺纹连接，很难拆卸，强力拆卸会导致螺纹磨损，影响电极导电性，甚至出现打火现象。

技术实现思路

[0004]本公开实施例提供了一种加热器电极及单晶炉热场组件，能够改善由于加热器电极上端老化失效报废整个电极的问题，提高电极使用寿命。
[0005]本公开实施例所提供的技术方案如下：
[0006]第一方面，本专利技术实施例提供了一种加热器电极，包括电极本体，所述电极本体包括：
[0007]第一电极，所述第一电极沿轴向延伸预定长度，且具有沿着所述轴向相对的第一端和第二端，所述电极本体安装至加热器时所述第一端比所述第二端更靠近加热器；及
[0008]第二电极，所述第二电极具有沿所述轴向相对的第三端和第四端，所述第三端相对所述第四端更靠近所述第一电极，且所述第三端以可拆卸方式连接至所述第二端。
[0009]示例性的，所述第二端在与所述第三端连接处设有第一锥面结构，所述第三端在与所述第二端连接处设有第二锥面结构，所述第一锥面结构与所述第二锥面结构彼此接触连接，以使所述第三端连接至所述第二端。
[0010]示例性的，所述第一锥面结构与所述第二锥面结构之间通过螺纹连接、或者过盈配合连接。
[0011]示例性的，所述第一锥面结构包括由所述第二端的端面向内凹陷的圆锥形凹腔，所述第二锥面结构包括位于所述第三端的圆锥体部分，所述圆锥体部分嵌入至所述圆锥形凹腔内。
[0012]示例性的，所述第一电极内部还设有第一排气孔，所述第一排气孔沿径向贯穿所述圆锥形凹腔的内壁与所述第一电极的外壁。
[0013]示例性的，所述所述第一排气孔直接连通至所述圆锥形凹腔的圆锥顶点位置。
[0014]示例性的，所述第二电极内部设有沿轴向延伸的中空腔，所述中空腔在所述第四端开口且在所述第三端封闭，所述第二电极内部还设有第二排气孔，所述第二排气孔沿径向贯穿所述中空腔的内壁与所述第三端的圆锥体部分的外周面。
[0015]示例性的，所述第一端的端面中心设有凹槽，所述第一电极内部设有第三排气孔，所述第三排气孔沿径向贯穿所述凹槽的内壁与所述第一电极的外壁。
[0016]示例性的，所述第一锥面结构与所述第二锥面结构之间垫设有石墨纸。
[0017]第二方面，本专利技术实施例还提供了一种单晶炉热场组件，其包括如上所述的加热器。
[0018]本公开实施例所带来的有益效果如下：
[0019]上述方案中提供的加热器电极，包括分体设置的第一电极和第二电极，由于第一电极和第二电极可拆卸连接，所述电极本体安装至加热器时，第一电极在轴向上相比第二电极更靠近加热器，且第一电极轴向上具有一定长度，第二电极连接在第一电极远离加热器的一端，因此，第一电极相比第二电极在使用中会优先老化失效，这样，当需要更换或清洁该加热器电极时，仅第一电极从第二电极上拆卸下来，更换第一电极且清洁第二电极的第三端即可，第二电极可继续使用，从而提高加热器电极的使用寿命，节省成本。
附图说明
[0020]图1表示本公开实施例中提供的一种加热器电极的整体结构示意图；
[0021]图2表示本公开实施例中提供的加热器电极的轴向剖视图。
具体实施方式
[0022]为使本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例的附图，对本公开实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本公开的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本公开的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。
[0023]除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”、“一”或者“该”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。
[0024]请参见图1和图2，本专利技术实施例提供了一种加热器电极，包括电极本体10，所述电极本体10包括第一电极11和第二电极12，所述第一电极11沿轴向延伸预定长度，且具有沿着所述轴向相对的第一端A和第二端B，所述电极本体安装至加热器时所述第一端A比所述第二端B更靠近加热器；所述第二电极12具有沿所述轴向相对的第三端C和第四端D，所述第三端C相对所述第四端D更靠近所述第一电极11，且所述第三端C以可拆卸方式连接至所述
第二端B。
[0025]本专利技术实施例所提供的加热器电极包括分体设置的第一电极11和第二电极12，由于第一电极11和第二电极12可拆卸连接，所述电极本体安装至加热器时，第一电极11在轴向上相比第二电极12更靠近加热器，且第一电极11轴向上具有一定长度，第二电极12连接在第一电极11远离加热器的一端，因此，第一电极11相比第二电极12在使用中会优先老化失效，这样，当需要更换或清洁该加热器电极时，仅将第一电极11从第二电极12上拆卸下来，更换第一电极11且清洁第二电极12的第三端C即可，第二电极12可继续使用，从而提高加热器电极的使用寿命，节省成本。
[0026]作为一种示例性的实施例，如图2所示，所述第二端B在与所述第三端C连接处设有第一锥面结构110，所述第三端C在与所述第二端B连接处设有第二锥面结构120，所述第一锥面结构110与所述第二锥面结构120彼此接触连接，以使所述第三端C连接至所述第二端B。采用上述方案，所述第一电极11与所述第二电极12之间采用锥面配合连接方式，配合紧密，拆卸操作简单。当然可以理解的是，在其他实施例中，所述第一电极11与所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种加热器电极，其特征在于，包括电极本体，所述电极本体包括：第一电极，所述第一电极沿轴向延伸预定长度，且具有沿着所述轴向相对的第一端和第二端，所述电极本体安装至加热器时所述第一端比所述第二端更靠近加热器；及第二电极，所述第二电极具有沿所述轴向相对的第三端和第四端，所述第三端相对所述第四端更靠近所述第一电极，且所述第三端以可拆卸方式连接至所述第二端。2.根据权利要求1所述的加热器电极，其特征在于，所述第二端在与所述第三端连接处设有第一锥面结构，所述第三端在与所述第二端连接处设有第二锥面结构，所述第一锥面结构与所述第二锥面结构彼此接触连接，以使所述第三端连接至所述第二端。3.根据权利要求2所述的加热器电极，其特征在于，所述第一锥面结构与所述第二锥面结构之间通过螺纹连接、或者过盈配合连接。4.根据权利要求2所述的加热器电极，其特征在于，所述第一锥面结构包括由所述第二端的端面向内凹陷的圆锥形凹腔，所述第二锥面结构包括位于所述第三端的圆锥体部分，所述圆锥体部分嵌入至...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨文武，
申请(专利权)人：西安奕斯伟材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：