一种单晶炉用多层环形加热器制造技术

本实用新型专利技术涉及单晶炉技术领域，提供一种单晶炉用多层环形加热器，包括电极、导热柱及发热组件，电极于炉底盘上对称设有多对，导热柱与电极一一对应、其分别罩设于多对电极上；发热组件包括第一发热体及多个位于其正下方的第二发热体，第一发热体通过两件对称设置的第一脚板与一对导热柱相连接，每个第二发热体通过两件对称设置的第二脚板与另一对导热柱相连接。通过上下布置的第一发热体及多个第二发热体，将对应的电极投入工作，即可实现各发热区的单独控制，从而改变投入工作的发热区层数，调节加热器的输出功率，进而达到理想温度梯度的需求，满足晶棒的生产需求。满足晶棒的生产需求。满足晶棒的生产需求。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉用多层环形加热器


[0001]本技术涉及单晶炉
，具体涉及一种单晶炉用多层环形加热器。

技术介绍

[0002]目前，直拉单晶炉采用的加热器多是竖直多瓣结构，各发热区温度无法单独控制，同时为降低晶棒因反应产生的氧含量，只能减少发热区的数量，而发热区的数量减少有一定限度，如果减少过多的话，容易发生发热不足，造成石英坩埚中的熔体结晶，甚至导致漏硅的安全事故，漏硅严重时进而引起单晶炉爆炸的极端事故。

技术实现思路

[0003]针对现有技术的不足，本技术提供一种单晶炉用多层环形加热器，以解决现有加热器各发热区温度无法单独控制的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供了以下技术方案：
[0005]一种单晶炉用多层环形加热器，包括：
[0006]电极，于炉底盘上对称设有多对；
[0007]导热柱，与所述电极一一对应，其分别罩设于多对所述的电极上；及
[0008]发热组件；
[0009]其中，所述发热组件包括第一发热体及多个位于其正下方的第二发热体，所述第一发热体通过两件对称设置的第一脚板与一对所述的导热柱相连接，每个所述的第二发热体通过两件对称设置的第二脚板与另一对所述的导热柱相连接。
[0010]在本申请公开的一个实施例中，所述第一发热体呈环形结构，其内部区域形成第一发热区；
[0011]每个所述的第二发热体包含两件对称布置的弧形条，多个所述的第二发热体各自对应的弧形条合围后的内部区域形成多层上下布置的第二发热区。
[0012]在本申请公开的一个实施例中，每层所述的第二发热区对应的弧形条的长度从上到下逐渐减小；
[0013]每个所述的第二发热体对应的第二脚板结构相似但大小不同、其依次与逐渐靠近所述炉底盘中部的导热柱相连接。
[0014]在本申请公开的一个实施例中，所述第一脚板呈L型结构，其包括一体成型的第一带孔舌板及支撑板；
[0015]所述第一带孔舌板通过螺钉连接于所述导热柱顶端；
[0016]所述支撑板上端与所述第一发热体通过螺钉相连接。
[0017]在本申请公开的一个实施例中，所述第二脚板包括第二带孔舌板及一对支撑杆；
[0018]所述第二带孔舌板通过螺钉连接于所述导热柱顶端；
[0019]一对所述的支撑杆分别与所述第二带孔舌板两端相连接、其上端沿所述第二带孔舌板的板面垂直方向延伸且与所述弧形条相连接。
[0020]在本申请公开的一个实施例中，所述第二带孔舌板呈V型结构，其V型角的外端圆滑过渡；
[0021]所述第一带孔舌板位于所述第二带孔舌板的V型角内。
[0022]在本申请公开的一个实施例中，多个所述的导热柱呈直线排列，其分别位于所述炉底盘中部设置的供石英坩埚轴通过的圆形通孔两侧。
[0023]在本申请公开的一个实施例中，所述导热柱对称于所述圆形通孔共设有4对8个，所述第二发热体上下共设有3个。
[0024]在本申请公开的一个实施例中，所述导热柱、第一发热体、弧形条、第一脚板及第二脚板均为石墨材质。
[0025]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0026]1、通过上下布置的第一发热体及多个第二发热体，将对应的电极投入工作，即可实现各发热区的单独控制，从而改变投入工作的发热区层数，调节加热器的输出功率，进而达到理想温度梯度的需求，满足晶棒的生产需求。
[0027]2、第一发热区和多层第二发热区分别通过第一发热体与第一脚板、第二发热体与第二脚板以拼接的方式形成，在某一层发热体出现断裂时仅更换对应层即可，维护方便，有利于节约生产成本。
附图说明
[0028]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0029]图1为本技术的立体结构示意图；
[0030]图2为炉底盘与导热柱的立体结构示意图；
[0031]图3为发热组件的立体结构示意图；
[0032]图4为第一脚板的立体结构示意图；
[0033]图5为第二脚板的立体结构示意图。
具体实施方式
[0034]在下文中，仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样，在不脱离本技术的精神或范围的情况下，可通过各种不同方式修改所描述的实施例。因此，附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。
[0035]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0036]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者
隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0037]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0038]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0039]下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本技术的不同结构。为了简化本技术的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本技术。
[0040]下面结合附图对本技术的实施例进行详细说明。
[0041]参见图1～图5所示，本技术提供了一种单晶炉用多层环形加热器，包括：
[0042]电极（图中未示出），于炉底盘100上对称设有多对；<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉用多层环形加热器，其特征在于，包括：电极，于炉底盘上对称设有多对；导热柱，与所述电极一一对应，其分别罩设于多对所述的电极上；及发热组件；其中，所述发热组件包括第一发热体及多个位于其正下方的第二发热体，所述第一发热体通过两件对称设置的第一脚板与一对所述的导热柱相连接，每个所述的第二发热体通过两件对称设置的第二脚板与另一对所述的导热柱相连接。2.根据权利要求1所述的单晶炉用多层环形加热器，其特征在于：所述第一发热体呈环形结构，其内部区域形成第一发热区；每个所述的第二发热体包含两件对称布置的弧形条，多个所述的第二发热体各自对应的弧形条合围后的内部区域形成多层上下布置的第二发热区。3.根据权利要求2所述的单晶炉用多层环形加热器，其特征在于：每层所述的第二发热区对应的弧形条的长度从上到下逐渐减小；每个所述的第二发热体对应的第二脚板结构相似但大小不同、其依次与逐渐靠近所述炉底盘中部的导热柱相连接。4.根据权利要求2或3所述的单晶炉用多层环形加热器，其特征在于：所述第一脚板呈L型结构，其包括一体成型的第一带孔舌板及支撑板；所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘要普，陈浩，李国华，乃家旺，袁梦，马自成，
申请(专利权)人：四川永祥光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：