【技术实现步骤摘要】
一种使用高频线圈同时拉制多根晶体的装置
[0001]本技术涉及人工晶体制备领域，具体涉及一种使用高频线圈同时拉制多根晶体的装置。
技术介绍
[0002]已知的，在提高晶体拉制效率方面，如何提高晶体的拉制速度是其中的关键技术之一，以多/单晶硅制备为例，多/单晶硅在整个生产过程中，直径为8mm～12mm的柱状硅棒使用量非常大，在实际生产过程中，发现柱状硅棒制备过程中出现的余料，不小心折断的硅棒，多/单晶硅生产企业在切割、破碎等工艺阶段产生的碎料等处理非常繁琐，很多企业为了图省事，直接将上述碎料丢弃或者长期堆放在仓库中，还有一些企业将上述碎料进行回收，通过直拉炉拉制成硅棒，然后通过多线切割机将硅棒切成复数根尺寸为8mm*8mm或10mm*10mm的柱状硅棒，这样不仅增加了柱状硅棒的生产成本，在切割过程中还增加了杂质引入，在降低产品质量的同时，还造成了较大的资源浪费等，那么如何将碎硅料进行再利用就成了本领域技术人员的长期技术诉求。
[0003]技术人通过检索发现，采用直拉法拉制硅棒的技术已经非常成熟，并在人工晶体制备领域得到...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种使用高频线圈同时拉制多根晶体的装置，包括炉体（1）、上提拉机构（2）、高频线圈（5）和坩埚（7），其特征是：在所述炉体（1）内设有上下升降的坩埚（7），在所述坩埚（7）的上方设有高频线圈（5），所述高频线圈（5）的连接脚连接同轴电缆，在高频线圈（5）上设有复数个拉制孔（4），在高频线圈（5）的上方设有上提拉机构（2），所述上提拉机构（2）上籽晶的下端头分别对应高频线圈（5）上的拉制孔（4）形成所述的使用高频线圈同时拉制多根晶体的装置。2.根据权利要求1所述的使用高频线圈同时拉制多根晶体的装置，其特征是：所述高频线圈（5）上的拉制孔（4）设置为复数个，复数个拉制孔（4）的设置形式为在高频线圈（5）的中部设置一个拉制孔（4），在中部拉制孔（4）的外围呈放射状设有复数组控制孔4，每组拉制孔（4）包括至少一个拉制孔（4），在其中两组拉制孔（4）之间的高频线圈（5）上...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。