单晶炉辅助加热装置和单晶炉制造方法及图纸

技术编号:36535221 阅读:17 留言:0更新日期:2023-02-01 16:20
本实用新型专利技术公开一种单晶炉辅助加热装置和单晶炉,涉及单晶炉加热技术领域,包括:加热组件,加热组件通过单晶炉的炉壁进料口进入或离开单晶炉,当加热组件进入单晶炉时,加热组件的至少部分区域位于单晶炉的坩埚上方。采用本申请的结构后,无需进行结构拆清,因而不会引起热场结构的变化,并且减少了拆清时人员误操作导致加热器损坏的情况;本申请可以取代单晶炉中的底加热器,也可以和主加热器及底加热器一起加热,不仅可以通过增加热交换面积,来加快熔料效率,节省熔料工时,还可以减轻现有加热器的负担,使得现有的加热器更加耐用。使得现有的加热器更加耐用。使得现有的加热器更加耐用。

【技术实现步骤摘要】
单晶炉辅助加热装置和单晶炉


[0001]本技术涉及单晶炉加热
,更具体地,涉及一种单晶炉辅助加热装置和单晶炉。

技术介绍

[0002]现有技术中,拉制单晶硅的工艺包括直拉法单晶拉制和连续拉晶工艺。目前在直拉法单晶拉制中,通过主加热器和底加热器加热熔料,现有结构拆清时容易引起热场结构变化;人员误操作导致加热器损坏;加热效率低,熔料工时较长。
[0003]因此,如何克服上述问题,成为现阶段亟待解决的技术问题之一。

技术实现思路

[0004]有鉴于此,本技术提供了一种单晶炉辅助加热装置和单晶炉,以避免上述问题。
[0005]第一方面,本申请提供的一种单晶炉辅助加热装置,包括:加热组件,所述加热组件通过单晶炉的炉壁进料口进入或离开所述单晶炉,当所述加热组件进入所述单晶炉时,所述加热组件的至少部分区域位于所述单晶炉的坩埚上方。
[0006]可选地,其中:
[0007]所述加热组件包括加热器、第一电极头、第二电极头、第一电极柱和第二电极柱;
[0008]所述加热器包括第一端和第二端,所述第一端通过所述第一电极柱与所述第一电极头电连接,所述第二端通过所述第二电极柱与所述第二电极头电连接。
[0009]可选地,其中:
[0010]所述加热器为螺旋结构。
[0011]可选地,其中:
[0012]还包括支撑组件;
[0013]所述支撑组件包括容置腔和传送装置,所述传送装置包括尾部固定板,所述第一电极头和所述第二电极头固定于所述尾部固定板,所述传送装置位于所述容置腔内,所述加热器位于所述第一电极头背离所述尾部固定板的一侧;所述加热器与所述传送装置固定,可在所述传送装置的带动下移动;
[0014]所述传送装置包括伸出状态和收回状态,当所述传送装置处于所述伸出状态时,所述加热器的至少部分区域通过单晶炉的炉壁进料口进入所述单晶炉;当所述传送装置处于收回状态时,所述加热器位于所述容置腔中。
[0015]可选地,其中:
[0016]所述加热器包括加热管,所述加热管的管径为D,16mm≤D≤60mm。
[0017]可选地,其中:
[0018]所述加热器中心与所述单晶炉的坩埚上沿之间的距离为H,150mm≤H≤300mm。
[0019]可选地,其中:
[0020]所述容置腔包括连接口,所述加热器通过所述连接口和所述单晶炉的炉壁进料口进入所述单晶炉。
[0021]第二方面,本申请提供的一种单晶炉,所述单晶炉包括主加热器以及上述第一方面所提供的的单晶炉辅助加热装置。
[0022]可选地,其中:
[0023]包括保温桶,所述保温桶靠近所述单晶炉辅助加热装置的一侧包括加料口,所述单晶炉辅助加热装置或硅料通过所述加料口进入所述单晶炉内。
[0024]可选地,其中:所述单晶炉还包括底加热器。
[0025]与现有技术相比,本技术提供的一种单晶炉辅助加热装置和单晶炉,至少实现了如下的有益效果:
[0026]本申请提供的一种单晶炉辅助加热装置和单晶炉,包括:加热组件,加热组件通过单晶炉的炉壁进料口进入或离开单晶炉,当加热组件进入单晶炉时,加热组件的至少部分区域位于单晶炉的坩埚上方。采用本申请的结构后,无需进行结构拆清,因而不会引起热场结构的变化,从而减少了拆清时人员误操作导致加热器损坏的情况;本申请可以取代单晶炉中的底加热器,也可以和主加热器及底加热器一起加热,不仅可以通过增加热交换面积,来加快熔料效率,节省熔料工时,还可以减轻现有加热器的负担,使得现有的加热器更加耐用。
[0027]当然,实施本技术的任一产品必不特定需要同时达到以上所述的所有技术效果。
[0028]通过以下参照附图对本技术的示例性实施例的详细描述,本技术的其它特征及其优点将会变得清楚。
附图说明
[0029]被结合在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本技术的实施例,并且连同其说明一起用于解释本技术的原理。
[0030]图1所示为单晶炉辅助加热装置的结构示意图;
[0031]图2所示为单晶炉的结构示意图。
具体实施方式
[0032]现在将参照附图来详细描述本技术的各种示例性实施例。应注意到:除非另外具体说明,否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本技术的范围。
[0033]以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的,决不作为对本技术及其应用或使用的任何限制。
[0034]对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论,但在适当情况下,所述技术、方法和设备应当被视为说明书的一部分。
[0035]在这里示出和讨论的所有例子中,任何具体值应被解释为仅仅是示例性的,而不是作为限制。因此,示例性实施例的其它例子可以具有不同的值。
[0036]应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一
个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
[0037]现有技术中,拉制单晶硅的工艺包括直拉法单晶拉制和连续拉晶工艺。目前在直拉法单晶拉制中,通过主加热器和底加热器加热熔料,现有结构拆清时容易引起热场结构变化;人员误操作导致加热器损坏;加热效率低,熔料工时较长。
[0038]因此,如何克服上述问题,成为现阶段亟待解决的技术问题之一。
[0039]有鉴于此,本技术提供了一种单晶炉辅助加热装置和单晶炉,用以改善上述的问题。
[0040]以下将结合附图和具体实施例进行详细说明。
[0041]图1所示为单晶炉辅助加热装置的结构示意图,图2所示为单晶炉的结构示意图,请参考图1和图2,本申请提供的一种单晶炉辅助加热装置100,包括:加热组件10,加热组件10通过单晶炉的炉壁进料口330进入或离开单晶炉300,当加热组件10进入单晶炉300时,加热组件10的至少部分区域位于单晶炉300的坩埚320上方。
[0042]具体地,本申请提供一种实施例为,采用单晶炉辅助加热装置100辅助加热,待预加料完成后,加热组件10通过单晶炉300的炉壁进料口330进入单晶炉,加热组件10位于单晶炉的坩埚320上方,在坩埚320上方保持水平状态对坩埚320内的固体硅料进行辅助加热,可以取代单晶炉300中的底加热器,也可以和主加热器及底加热器一起加热,不仅可以通过增加热交换面积,来加快熔料效率,节省熔料工时,还可以减轻现有加热器的负担,使得现有的加热器更加耐用。
[0043]可选地,请参考图1,加热组件10包括加热器11、第一电极头121、第二电极头122、第一电极柱131和第二电极柱132;加热器11包括第一端111和第二端112,第一端111通过第一电极柱131与第一电极头121电连接,第二端112通过第二电极柱132与第二电极头122电连接。
[0044]具体地,本申请本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉辅助加热装置,其特征在于,包括:加热组件,所述加热组件通过单晶炉的炉壁进料口进入或离开所述单晶炉,当所述加热组件进入所述单晶炉时,所述加热组件的至少部分区域位于所述单晶炉的坩埚上方。2.根据权利要求1所述的单晶炉辅助加热装置,其特征在于,所述加热组件包括加热器、第一电极头、第二电极头、第一电极柱和第二电极柱;所述加热器包括第一端和第二端,所述第一端通过所述第一电极柱与所述第一电极头电连接,所述第二端通过所述第二电极柱与所述第二电极头电连接。3.根据权利要求2所述的单晶炉辅助加热装置,其特征在于,所述加热器为螺旋结构。4.根据权利要求2所述的单晶炉辅助加热装置,其特征在于,还包括支撑组件;所述支撑组件包括容置腔和传送装置,所述传送装置包括尾部固定板,所述第一电极头和所述第二电极头固定于所述尾部固定板,所述传送装置位于所述容置腔内,所述加热器位于所述第一电极头背离所述尾部固定板的一侧;所述加热器与所述传送装置固定,可在所述传送装置的带动下移动;所述传送装置包括伸出状态和收回状态,当所述传送装置处于...

【专利技术属性】
技术研发人员:李旭帆李永辉向鹏
申请(专利权)人:四川晶科能源有限公司
类型:新型
国别省市:

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