一种半导体厚度检测对比装置制造方法及图纸

技术编号:33795500 阅读:26 留言:0更新日期:2022-06-12 14:58
本发明专利技术公开的属于半导体检测领域,具体为一种半导体厚度检测对比装置,包括工作台、固定框和透光板,所述工作台的底端面上焊接固定有支撑底座,所述工作台上安装有夹持组件,所述工作台内固定连接有固定管,所述固定管上安装有防翘组件,所述工作台的顶端面上焊接固定有支撑杆,所述支撑杆的顶端焊接固定有固定顶板,所述固定顶板上安装有除尘组件,所述固定框内转动连接有螺纹杆,所述螺纹杆上螺纹连接有调节框,解决了现有的厚度检测装置不能够对同一半导体同时进行不同方向的无接触式对比检测工作,且不能够对不同规格大小的半导体进行便捷稳定的夹持定位,同时不能够有效避免半导体在放置过程中发生翘边现象的问题。导体在放置过程中发生翘边现象的问题。导体在放置过程中发生翘边现象的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体厚度检测对比装置


[0001]本专利技术涉及半导体检测领域,具体为一种半导体厚度检测对比装置。

技术介绍

[0002]随着科技的进步,半导体在人们日常生活中已经获得广泛应用,由于半导体片材对表面要求高,因此半导体在生产加工后,需要结合使用检测装置对半导体的厚度和平整度进行检测,并及时进行后续处理,提高半导体片材性能与效率,为工艺改善提供技术支持,而一些半导体厚度检测装置在使用时存在一些问题。
[0003]由于半导体片材的检测不宜采用直接接触,半导体端面极易受到划伤或污染,而常规的厚度检测装置在工作过程中,不能够对半导体的厚度和平整度进行便捷稳定的无接触式检测工作,进而不能够保证半导体厚度检测工作的稳定和安全,且常规的检测装置在工作过程中,不能够对同一半导体同时进行不同方向的对比检测工作,因此其需要对同一半导体进行多次检测,并对其结果进行对比分析,避免检测结果出现误差,并且常规的检测装置在工作过程中,不能够对不同规格大小的半导体进行便捷稳定的夹持定位,同时不能够有效避免半导体在放置过程中发生翘边现象,进而不能够保证后续检测结果的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体厚度检测对比装置,包括工作台(1)、固定框(7)和透光板(11),其特征在于;所述工作台(1)的底端面上焊接固定有支撑底座(2),所述工作台(1)上安装有夹持组件(3),所述工作台(1)内固定连接有固定管(4),所述固定管(4)上安装有防翘组件(6),所述工作台(1)的顶端面上焊接固定有支撑杆(13),所述支撑杆(13)的顶端焊接固定有固定顶板(14),所述固定顶板(14)上安装有除尘组件(15),所述固定框(7)内转动连接有螺纹杆(8),所述螺纹杆(8)上螺纹连接有调节框(9),所述调节框(9)限位滑动连接在固定框(7)上,所述调节框(9)上安装有激光灯(10),所述透光板(11)上设置有刻度(12)。2.根据权利要求1所述一种半导体厚度检测对比装置,其特征在于:所述夹持组件(3)包括蜗杆(301),所述蜗杆(301)转动连接在工作台(1)内,所述蜗杆(301)上啮合连接有蜗轮(302),所述蜗轮(302)转动连接在固定管(4)上,所述蜗轮(302)上贯穿开设有导向槽(303),所述蜗轮(302)内限位滑动连接有导向杆(304),所述导向杆(304)的顶端焊接固定有限位板(305),所述限位板(305)限位滑动连接在工作台(1)上,所述限位板(305)与固定框(7)的底端面和透光板(11)的底端面之间均为固定连接,所述限位板(305)的顶端面上焊接固定有夹持板(306),所述夹持板(306)上螺钉连接有橡胶板(307)。3.根据权利要求2所述一种半导体厚度检测对比装置,其特征在于:所述蜗轮(302)的中心轴线与工作台(1)的中心轴线位于同一竖直中心线上,所述导向槽(303)等角度分布在蜗轮(302)上,所述导向槽(303)呈圆弧状,所述导向槽(303)通过导向杆(304)与限位板(305)一一对应,所述固定框(7)和透光板(11)均对称分布在相邻两侧的限位板(305)上,所述固定框(7)与透光板(11)之间呈平行分布。4.根据权利要求2所述一种半导体厚度检测对比装置,其特征在于:所述防翘组件(6)包括安装板(601),所述安装板(601)活动连接在衔接杆(5)的底部,所述衔接杆(5)的顶部活动连接在限位板(305)的底端面上,所述安装板(601)的顶端面上焊接固定有连接推杆(602),所述连接推杆(602)的顶端焊接固定有橡胶活塞(603),所述橡胶活塞(603...

【专利技术属性】
技术研发人员:杜朝辉张峰寿浙琼周建军张羽丰顾凯峰陈浩
申请(专利权)人:浙江晶睿电子科技有限公司
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1