一种用于半导体清洗机的快速装夹机构制造技术

本发明专利技术公开了一种用于半导体清洗机的快速装夹机构，包括箱体，所述箱体的内部两侧均固定安装有支撑板，两侧所述支撑板相互靠近的一侧均通过伸缩机构与连接座固定连接。通过伸缩机构和夹持机构的配合使用，可实现对不同大小的半导体板进行夹持固定，通过移动机构和喷头机构进行喷洒清洗液，且喷洒角度可调，喷洒范围更广，对半导体板表面进行全面清洗，且清洗后的水掉落在箱体的内部底端，箱体的内部底端安装有过滤板，对清洗后的水进行过滤，又通过箱体左侧底端的水泵作用，可实现对水资源的循环利用；接着通过移动机构和升降机构的配合使用，实现了对清洗后的半导体板表面存留的水份擦去，方便快捷，满足了工作人员的需求。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体清洗，具体是涉及一种用于半导体清洗机的快速装夹机构。

技术介绍

1、半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。如二极管就是采用半导体制作的器件。半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。半导体生产包括清洗、氧化、化学气相淀积、金属化、光刻、刻蚀、掺杂等，半导体的清洗去除杂质，半导体清洗以及清洗后的甩干具有重要的意义。

2、中国专利cn201420190299.7公开了一种安装于用于清洗半导体芯片的清洗机的卡扣，包括支撑板和夹紧装置，支撑板上设置有盲孔和u型槽，盲孔内设置有磁铁，夹紧装置由旋转板和固定杆组成，旋转板通过转轴旋转安装于u型槽的两个侧壁上，旋转板与u型槽相对的侧壁的顶端设置有的凹槽，固定杆穿过u型槽且设置在旋转板上；支撑板上设置有两个u型槽，两个u型槽内均设置有夹紧装置。本技术的有益效果是：承载能力大、夹紧待清洗芯片固定环牢固、使用方便、能有效避免在高速旋转过程中芯片飞出，造成本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于半导体清洗机的快速装夹机构，其特征在于，包括箱体(1)，所述箱体(1)的内部两侧均固定安装有支撑板(101)，两侧所述支撑板(101)相互靠近的一侧均通过伸缩机构(2)与连接座(102)固定连接，所述连接座(102)的外侧设置有夹持机构(3)，所述箱体(1)的内部顶端通过移动机构(6)与框体(104)和活动板(105)连接，且所述框体(104)的内部设置有喷头机构(5)，所述活动板(105)的内部固定安装有第一筒件(106)，所述第一筒件(106)的内部滑动连接有第二筒件(107)，所述第二筒件(107)的内部滑动连接有第三筒件(108)，且所述第三筒件(108)的内部滑动连...

【技术特征摘要】

1.一种用于半导体清洗机的快速装夹机构，其特征在于，包括箱体(1)，所述箱体(1)的内部两侧均固定安装有支撑板(101)，两侧所述支撑板(101)相互靠近的一侧均通过伸缩机构(2)与连接座(102)固定连接，所述连接座(102)的外侧设置有夹持机构(3)，所述箱体(1)的内部顶端通过移动机构(6)与框体(104)和活动板(105)连接，且所述框体(104)的内部设置有喷头机构(5)，所述活动板(105)的内部固定安装有第一筒件(106)，所述第一筒件(106)的内部滑动连接有第二筒件(107)，所述第二筒件(107)的内部滑动连接有第三筒件(108)，且所述第三筒件(108)的内部滑动连接有第四筒件(109)，所述第一筒件(106)、第二筒件(107)、第三筒件(108)和第四筒件(109)之间通过升降机构(4)连接，所述第四筒件(109)的底端固定安装有清理板(110)。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体清洗机的快速装夹机构，其特征在于：所述伸缩机构(2)包括固定板(201)，所述固定板(201)固定安装在支撑板(101)的内侧，所述固定板(201)的周表面通过轴承(202)转动连接有端面齿轮(203)，且所述固定板(201)上固定连接有四组固定座(204)，所述固定座(204)的内部转动连接有转动杆(205)，所述转动杆(205)的一端固定连接有与端面齿轮(203)啮合的传动齿轮(206)，且所述转动杆(205)的另一端固定连接有第一连接臂(207)，所述第一连接臂(207)远离转动杆(205)的一端与第二连接臂(208)转动连接，所述第二连接臂(208)远离第一连接臂(207)的一端转动连接在连接座(102)的外侧。

3.根据权利要求2所述的一种用于半导体清洗机的快速装夹机构，其特征在于：所述支撑板(101)的内侧还固定连接有电机安装板，所述电机安装板上固定安装有传动电机(209)，所述传动电机(209)的输出端贯穿电机安装板的侧面，并与其中一个所述传动齿轮(206)的外侧中部固定连接。

4.根据权利要求2所述的一种用于半导体清洗机的快速装夹机构，其特征在于：所述夹持机构(3)包括第一固定块(301)、第一螺纹杆(305)和活动板(306)，所述连接座(102)外侧的上下对称位置处均固定连接有两组第一固定块(301)，且两组所述第一固定块(301)的内部均与导向杆(302)固定连接，所述导向杆(302)的两端均焊接有连接板(303)，所述连接座(102)的外侧中部转动连接有转动板(310)，所述导向杆(302)外表面的两端分别滑动连接有传动板(308)和活动板(306)，所述转动板(310)的两端均转动连接有连杆(311)，且两组所述连杆(311)远离转动板(310)的一端分别转动连接在传动板(308)和活动板(306)的外侧表面，且所述传动板(308)和活动板(306)的外侧均通过连接件与第一夹持板(309)固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种用于半导体清洗机的快速装夹机构，其特征在于：所述连接座(102)的外侧还固定连接有第二固定块(304)，所述第二固定块(304)和其中一个所述连接板(303)之间转动连接有第一螺纹杆(305)，所述活动板(306)螺纹连接于第一螺纹杆(305)的表面，且其中一个所述连接板(303)的外侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：寿浙琼，陈浩，张峰，顾凯峰，吴城垦，张羽丰，柴晓程，冯磊，
申请(专利权)人：浙江晶睿电子科技有限公司，
类型：发明
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