本发明专利技术提供一种能够抑制成形不良的发生的压力监视装置、树脂密封装置及压力监视方法。压力监视装置(100)包括：吸附压力传感器(122)，检测使隔离膜(RF)吸附到模腔(201)的排气孔(322)的吸附压；脱气压力传感器(111)，检测对模腔(201)内的空气进行排气的排气孔(311)的脱气压；以及监视部(110)，与吸附压力传感器(122)及脱气压力传感器(111)连接，监视部(110)监视吸附压及脱气压中的至少一者的每单位期间的变化量，当在吸附压及脱气压的每单位期间的变化量增大的减压期之后且吸附压及脱气压的每单位期间的变化量逐渐接近0的均衡期变化量超过规定量的情况下，判断为错误。判断为错误。判断为错误。
【技术实现步骤摘要】
压力监视装置、树脂密封装置及压力监视方法
[0001]本专利技术涉及一种压力监视装置、树脂密封装置及压力监视方法。
技术介绍
[0002]在树脂密封装置的树脂密封模具，设置有用于吸附隔离膜或对内部空间进行脱气的排气孔。
[0003]例如专利文献1中公开了一种树脂密封模具，所述树脂密封模具具有：下模，设置有用于对内部空间进行脱气的排气孔及用于固定工件的排气孔；以及上模，设置有用于固定隔离膜的排气孔。
[0004][现有技术文献][0005][专利文献][0006][专利文献1]日本专利特开2018
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51841号公报
技术实现思路
[0007][专利技术所要解决的问题][0008]在专利文献1中记载的树脂密封装置的情况下，若发生隔离膜的脱落或脱气不良等现象，则有可能发生成形不良。
[0009]本专利技术是鉴于此种情况而成，本专利技术的目的在于提供一种能够抑制成形不良的发生的压力监视装置、树脂密封装置及压力监视方法。
[0010][解决问题的技术手段][0011]本专利技术的一实施例的压力监视装置是监视来自树脂密封模具的排气压的树脂密封模具的压力监视装置，树脂密封模具具有其中一个模具及另一个模具，包括：吸附压力传感器，检测使隔离膜吸附到设置于树脂密封模具的其中一个模具的模腔的排气孔的吸附压；脱气压力传感器，检测对设置于树脂密封模具的另一个模具的模腔进行脱气的排气孔的脱气压；以及监视部，与吸附压力传感器及脱气压力传感器连接，监视部监视吸附压及脱气压中的至少一者的每单位期间的变化量，当在吸附压及脱气压的每单位期间的变化量增大的减压期之后且吸附压及脱气压的每单位期间的变化量逐渐接近0的均衡期变化量超过规定量的情况下，判断为错误。
[0012]根据所述实施例，可检出伴随吸附压或脱气压的微小的压力变化的不良情况。例如通过检出隔离膜暂时离开模具并警告隔离膜与工件的接触，可抑制工件的元件特性发生变动的不良品的流出。另外，通过检出由树脂密封模具的劣化引起的真空泄漏并促进维护，可抑制密封用树脂中混入空气而产生的孔隙。
[0013]所述实施例中，监视部可在吸附压及脱气压中的至少一者的每单位期间的变化量连续两次以上超过规定量的情况下，判断为错误。
[0014]所述实施例中，监视部可在吸附压及脱气压中的至少一者的压力值超过规定值的情况下，判断为错误。
[0015]所述实施例中，监视部可在吸附压及脱气压中的至少一者的压力值为规定值以下时，监视吸附压及脱气压中的至少一者的每单位期间的变化量。
[0016]所述实施例中，树脂密封模具的其中一个模具可为上模，树脂密封模具的另一个模具可为下模。
[0017]所述实施例中，监视部可在模腔的脱气过程中监视吸附压的每单位期间的变化量。
[0018]所述实施例中，监视部可在模腔的脱气后监视脱气压的每单位期间的变化量。
[0019]本专利技术的一实施例的树脂密封装置包括：所述实施例中的任一实施例的压力监视装置；树脂密封模具；吸附泵，与树脂密封模具的其中一个模具连接；脱气泵，与树脂密封模具的另一个模具连接；以及控制部，控制吸附泵及脱气泵。
[0020]根据所述实施例，可检出伴随吸附压或脱气压的微小的压力变化的不良情况。例如通过检出隔离膜暂时离开模具并警告隔离膜与工件的接触，可抑制工件的元件特性发生变动的不良品的流出。另外，通过检出由树脂密封模具的劣化引起的真空泄漏并促进维护，可抑制密封用树脂中混入空气而产生的孔隙。
[0021]本专利技术的一实施例的压力监视方法是监视来自树脂密封模具的排气压的树脂密封模具的压力监视方法，树脂密封模具具有其中一个模具及另一个模具，包括：检测使隔离膜吸附到设置于树脂密封模具的其中一个模具的模腔的排气孔的吸附压；检测对设置于树脂密封模具的另一个模具的模腔内的空气进行排气的排气孔的脱气压；以及监视吸附压及脱气压中的至少一者的每单位期间的变化量，当在吸附压及脱气压的每单位期间的变化量增大的减压期之后且吸附压及脱气压的每单位期间的变化量逐渐接近0的均衡期变化量超过规定量的情况下，判断为错误。
[0022]根据所述实施例，可检出伴随吸附压或脱气压的微小的压力变化的不良情况。例如通过检出隔离膜暂时离开模具并警告隔离膜与工件的接触，可抑制工件的元件特性发生变动的不良品的流出。另外，通过检出由树脂密封模具的劣化引起的真空泄漏并促进维护，可抑制密封用树脂中混入空气而产生的孔隙。
[0023]所述实施例中，判断为错误是可在吸附压及脱气压中的至少一者的每单位期间的变化量连续两次以上超过规定量的情况下，判断为错误。
[0024][专利技术的效果][0025]根据本专利技术，可提供一种能够抑制成形不良的发生的压力监视装置、树脂密封装置及压力监视方法。
附图说明
[0026]图1是概略性地表示实施方式的树脂密封装置的结构的图。
[0027]图2是表示正常的吸附压、脱气压及夹紧位置的变化的曲线图。
[0028]图3是表示在隔离膜发生剥离时的吸附压及脱气压的变化的曲线图。
[0029]图4是表示在树脂密封模具发生真空泄漏时的吸附压及脱气压的变化的曲线图。
[0030]图5是表示实施方式的树脂密封品的制造方法的流程图。
[0031][附图标记说明][0032]1：树脂密封装置
[0033]100：压力监视装置
[0034]110：监视部
[0035]111、112、121、122：压力计
[0036]130：控制部
[0037]200：树脂密封模具
[0038]201：模腔
[0039]203：封闭环
[0040]210：下模
[0041]220：上模
[0042]221：模套区块
[0043]223：模腔块
[0044]225：夹具
[0045]227：腔室区块
[0046]311、312、321、322：排气孔
[0047]411、412、421、422：真空泵
[0048]J：柱塞
[0049]RF：隔离膜
[0050]P：树脂
[0051]W：工件
[0052]S1：均衡期
[0053]S2：前期
[0054]S3：后期
[0055]S11～S14、S21～S24、S31～S35：工序
具体实施方式
[0056]以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。各实施方式的附图是例示，各部分的尺寸或形状为示意性，不应理解为将本申请专利技术的技术范围限定为所述实施方式。
[0057]＜实施方式＞
[0058]参照图1，对本专利技术的实施方式的树脂密封装置1的结构进行说明。图1是概略性地表示实施方式的树脂密封装置的结构的图。
[0059]树脂密封装置1是用于利用树脂P对工件W进行树脂密封(模塑成形)的装置。树脂密封装置1包括树脂密封模具200、真空泵411、本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种压力监视装置，是监视来自树脂密封模具的排气压的所述树脂密封模具的压力监视装置，所述树脂密封模具具有其中一个模具及另一个模具，包括：吸附压力传感器，检测使隔离膜吸附到设置于所述树脂密封模具的所述其中一个模具的模腔的排气孔的吸附压；脱气压力传感器，检测对设置于所述树脂密封模具的所述另一个模具的所述模腔进行脱气的排气孔的脱气压；以及监视部，与所述吸附压力传感器及所述脱气压力传感器连接，所述监视部监视所述吸附压及所述脱气压中的至少一者的每单位期间的变化量，当在所述吸附压及所述脱气压的每单位期间的变化量增大的减压期之后且所述吸附压及所述脱气压的每单位期间的变化量逐渐接近0的均衡期所述变化量超过规定量的情况下，判断为错误。2.根据权利要求1所述的压力监视装置，其中所述监视部在所述吸附压及所述脱气压中的至少一者的每单位期间的变化量连续两次以上超过规定量的情况下，判断为错误。3.根据权利要求1或2所述的压力监视装置，其中所述监视部在所述吸附压及所述脱气压中的至少一者的压力值超过规定值的情况下，判断为错误。4.根据权利要求3所述的压力监视装置，其中所述监视部在所述吸附压及所述脱气压中的至少一者的压力值为规定值以下时，监视所述吸附压及所述脱气压中的至少一者的每单位期间的变化量。5.根据权利要求1或2所述的压力监视装置，其中所述树脂密封模具的所述其中一个模具为上模，所述树脂密封模具的所...
【专利技术属性】
技术研发人员：中山栄二，福岛英彦，
申请(专利权)人：山田尖端科技株式会社，
类型：发明
国别省市：
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