下载压力监视装置、树脂密封装置及压力监视方法的技术资料

文档序号:33763875

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本发明提供一种能够抑制成形不良的发生的压力监视装置、树脂密封装置及压力监视方法。压力监视装置(100)包括:吸附压力传感器(122),检测使隔离膜(RF)吸附到模腔(201)的排气孔(322)的吸附压;脱气压力传感器(111),检测对模腔(...
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