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压力监视装置、树脂密封装置及压力监视方法制造方法及图纸
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文档序号:33763875
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本发明提供一种能够抑制成形不良的发生的压力监视装置、树脂密封装置及压力监视方法。压力监视装置(100)包括:吸附压力传感器(122),检测使隔离膜(RF)吸附到模腔(201)的排气孔(322)的吸附压;脱气压力传感器(111),检测对模腔(...
该专利属于山田尖端科技株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过山田尖端科技株式会社授权不得商用。
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