一种电磁屏蔽八角盒制造技术

本申请涉及一种电磁屏蔽八角盒，设置在基板上，基板设置有与晶圆所在空间相连通的观测孔；包括侧板、盖板、第一密封件以及第二密封件，侧板与基板连接，侧板呈环状，侧板的内侧与观测孔相连通；侧板设置有供探针穿入的第一穿孔，在探针穿入第一穿孔时，第一密封件用于封闭第一穿孔；盖板连接在侧板远离基板的一端上，盖板设置有供镜头穿入的第二穿孔，在镜头穿入第二穿孔时，第二密封件用于封闭第二穿孔。本申请具有能提升晶圆测试的准确性的效果。果。果。

【技术实现步骤摘要】
一种电磁屏蔽八角盒


[0001]本申请涉及晶圆测试的领域，尤其是涉及一种电磁屏蔽八角盒。

技术介绍

[0002]晶圆测试是对晶片上的每个晶粒进行针测，在检测头装上以铍铜/钨制成细如毛发的探针，并让探针与晶粒上的pad点接触，以此来测试晶圆的电学特性。
[0003]相关技术中，晶圆测试设备包括机架、载晶盘、探针以及显微镜平台，机架包括有箱体，箱体具有屏蔽腔，屏蔽腔的上侧内壁设置有观测孔；载晶盘水平活动设置在屏蔽腔内；探针设置在机架上，并且探针的其中一端从观测孔处伸入屏蔽腔内，以和晶圆上的pad点接触；显微镜平台设置在机架上，并且显微镜平台位于箱体的上方，而且显微镜平台能从观测孔处观察探针是否与晶圆上的pad点接触，从而便能够进行晶圆测试的工作。
[0004]针对上述中的相关技术，存在有即使观测孔处有显微镜平台以及探针，但屏蔽腔在观测孔处直接与外部环境接触的区域仍然较大，从而导致晶圆测试的准确性会降低的缺陷。

技术实现思路

[0005]为了提升晶圆测试的准确性，本申请提供一种电磁屏蔽八角盒。
[0006]本申请提供的一种电磁屏蔽八角盒采用如下的技术方案：
[0007]一种电磁屏蔽八角盒，设置在基板上，所述基板设置有与晶圆所在空间相连通的观测孔；包括侧板、盖板、第一密封件以及第二密封件，所述侧板与所述基板连接，所述侧板呈环状，所述侧板的内侧与所述观测孔相连通；所述侧板设置有供探针穿入的第一穿孔，在探针穿入所述第一穿孔时，所述第一密封件用于封闭所述第一穿孔；所述盖板连接在所述侧板远离所述基板的一端上，所述盖板设置有供镜头穿入的第二穿孔，在镜头穿入所述第二穿孔时，所述第二密封件用于封闭所述第二穿孔。
[0008]通过采用上述技术方案，因第一穿孔、第二穿孔、第一密封件以及第二密封件的设置，则探针能穿入第一穿孔中来与晶圆上的pad点相接触，镜头能穿入第二穿孔来观测探针与晶圆上的pad点是否接触，同时第一密封件能封闭第一穿孔，第二密封件能封闭第二穿孔，所以使晶圆所在的空间与外部环境被分隔开，从而使外部环境中的干扰不易从观测孔处传递至晶圆所在的空间，进而能提升晶圆测试的准确性。
[0009]优选的，所述第一密封件包括两个能发生弹性形变的密封片，两个所述密封片分别设置在所述第一穿孔相对的两个竖向内壁上，所述密封片的一端与所述第一穿孔的内壁连接，另一端与另一个所述密封片抵接。
[0010]通过采用上述技术方案，因探针的体积较小，所以第一密封件包括两个能弹性形变的密封片的设置方式，则在探针穿入第一穿孔中时，两个密封片相互靠近的一端既能抵紧探针，也能相互抵接，从而在探针穿入第一穿孔内的同时达到封闭第一穿孔的目的。
[0011]优选的，两个所述密封片相互靠近的一端之间部分一体连接，两个所述密封片之
间的一体连接处位于所述密封片靠近所述基板的一端上。
[0012]通过采用上述技术方案，因探针穿入两个密封片之后会向下延伸，所以两个密封片之间部分一体连接，以及一体连接处位于密封片靠近基板的一端的方式，则使两个密封片与探针相抵接的一端之间的错位幅度会更小，从而两个密封片与探针之间的接触更加紧密，有助于进一步保持晶圆所在空间的密闭性。
[0013]优选的，所述第二密封件包括密封板以及滑杆，所述密封板通过所述滑杆用于与显微镜平台滑动连接，在显微镜平台向靠近或远离所述盖板的方向运动预定范围内时，所述密封板与所述盖板远离所述侧板的一侧表面抵接以封住所述第二穿孔。
[0014]通过采用上述技术方案，因镜头的体积较大，所以第二密封件包括密封板以及滑杆的方式，则在显微镜平台向靠近或远离盖板的方向运动预定距离时，密封板会一直与盖板远离侧板的一侧表面抵接，同时密封板会封住第二穿孔，从而在镜头穿入第二穿孔中的同时达到封闭第二穿孔的目的。
[0015]优选的，所述侧板的截面呈正多边形，所述第一穿孔设置有多个，多个所述第一穿孔分别位于所述侧板的多个侧表面上。
[0016]通过采用上述技术方案，因侧板的截面呈正多边形，以及多个第一穿孔与侧板的多个侧表面一一对应设置的方式，所以既使相邻两个第一穿孔在圆周方向上的偏移是一样的，也使得不同第一穿孔距离侧板中心处的距离也是一样的，则在安装探针时，便可通过探针与侧板外侧之间的距离比较容易地判断出多个探针处于侧板内的大致长度，从而使得便于完成测试工作的前期准备。
[0017]优选的，还包括有多个立柱，所述立柱位于所述侧板的外侧，所述立柱一端与所述基板固定连接；所述盖板的边缘处超出所述侧板的外侧，所述盖板的边缘处与所述立柱远离所述基板的一端固定连接，所述盖板与所述侧板抵接，所述侧板与所述基板抵接。
[0018]通过采用上述技术方案，先通过螺栓立柱安装在基板上，接着将侧板放入多个立柱之间，然后将盖板固定在立柱上，从而便完成了八角盒的安装工作，相比于直接通过螺栓在侧板固定在基板上的方式，此种设计方式，因在固定多个立柱时，不同立柱之间不会相互影响，只需要使多个立柱之间能有供侧板放入的空间即可，从而使得八角盒的安装更加方便。
[0019]优选的，所述立柱设置有四个，四个所述立柱所围图形的中心与所述侧板的中心重合。
[0020]通过采用上述技术方案，四个立柱各自对盖板的作用力所形成的合力能经过侧板的中心处，所以既使立柱数量不会过多，也使侧板能牢牢地被盖板抵紧在基板上，从而有助于提升八角盒的安装稳定性。
[0021]优选的，所述第二穿孔的内壁与镜头之间设置有调整区，所述调整区供镜头沿所述第二穿孔的直径方向发生偏移。
[0022]通过采用上述技术方案，因调整区的设置，则在镜头与侧板的中心处存在偏差时，镜头能在外部驱动源的作用下再进行微调，从而既不会影响第二穿孔处的密封性，也使得测试工作能更加方便。
[0023]综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
[0024]1.通过侧板、盖板、第一密封件以及第二密封件的设置，则探针能穿入第一穿孔中
来与晶圆上的pad点相接触，镜头能穿入第二穿孔来观测探针与晶圆上的pad点是否接触，同时第一密封件能封闭第一穿孔，第二密封件能封闭第二穿孔，所以使晶圆所在的空间与外部环境被分隔开，从而使外部环境中的干扰不易从观测孔处传递至晶圆所在的空间，进而能提升晶圆测试的准确性；
[0025]2.通过第一密封件包括两个能发生弹性形变的密封片的设置，则在探针穿入第一穿孔中时，两个密封片相互靠近的一端既能抵紧探针，也能相互抵接，从而在探针穿入第一穿孔内的同时达到封闭第一穿孔的目的；
[0026]3.通过两个密封片相互靠近的一端之间部分一体连接的方式，则使两个密封片与探针相抵接的一端之间的错位幅度会更小，从而两个密封片与探针之间的接触更加紧密，有助于进一步保持晶圆所在空间的密闭性。
附图说明
[0027]图1是本申请实施例中电磁屏蔽八角盒的结构示意图。
[0028]附图标记说明：1、基板；11、观测孔；2、侧板；21、第一穿孔；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电磁屏蔽八角盒，设置在基板(1)上，所述基板(1)设置有与晶圆所在空间相连通的观测孔(11)，其特征在于：包括侧板(2)、盖板(3)、第一密封件(4)以及第二密封件(5)，所述侧板(2)与所述基板(1)连接，所述侧板(2)呈环状，所述侧板(2)的内侧与所述观测孔(11)相连通；所述侧板(2)设置有供探针穿入的第一穿孔(21)，在探针穿入所述第一穿孔(21)时，所述第一密封件(4)用于封闭所述第一穿孔(21)；所述盖板(3)连接在所述侧板(2)远离所述基板(1)的一端上，所述盖板(3)设置有供镜头穿入的第二穿孔(31)，在镜头穿入所述第二穿孔(31)时，所述第二密封件(5)用于封闭所述第二穿孔(31)。2.根据权利要求1所述的电磁屏蔽八角盒，其特征在于：所述第一密封件(4)包括两个能发生弹性形变的密封片(41)，两个所述密封片(41)分别设置在所述第一穿孔(21)相对的两个竖向内壁上，所述密封片(41)的一端与所述第一穿孔(21)的内壁连接，另一端与另一个所述密封片(41)抵接。3.根据权利要求2所述的电磁屏蔽八角盒，其特征在于：两个所述密封片(41)相互靠近的一端之间部分一体连接，两个所述密封片(41)之间的一体连接处位于所述密封片(41)靠近所述基板(1)的一端上。4.根据权利要求1所述的电磁屏蔽八角盒，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘世文，欧晓永，陈亮，
申请(专利权)人：深圳市森美协尔科技有限公司，
类型：新型
国别省市：