一种研磨及供应装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种研磨及供应装置，包括：旋转平台、机械手臂、超声射频混匀单元和驱动装置；其中，所述驱动装置位于所述旋转平台下方；所述旋转平台上表面设有数个周向分布的容纳部，每个所述容纳部对应放置一个所述超声射频混匀单元；所述超声射频混匀单元上放置有研磨桶，所述超声射频混匀单元通过超声将所述研磨桶内的液体混匀；所述机械手臂位于所述旋转平台上方，所述机械手臂面向所述旋转平台的一面设有取盖装置和可伸缩吸液管，所述可伸缩吸液管伸展后可伸入所述研磨桶内将混匀后的液体取出。本实用新型专利技术提供的研磨及供应装置自动化程度较高，同时，避免了因添加研磨液对工作人员健康的伤害。作人员健康的伤害。作人员健康的伤害。

【技术实现步骤摘要】
一种研磨及供应装置


[0001]本技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种研磨及供应装置。

技术介绍

[0002]在半导体的制造过程中，往往需要使用到研磨液，而研磨液很容易结块形成沉淀。为了防止研磨液沉淀，对于现有的研磨液供应装置，往往需要事先放入摇匀装置，随后采用人力将研磨桶推放至适当位置，利用工具将桶盖拧至松弛状态，随后将吸管插入桶中，手动拧紧固定装置，在更换过程中更需注意研磨液的飞溅，避免沾染皮肤。同时，一些研磨液长期吸入也会对人体健康造成巨大伤害，这一切由于都需要人力完成，对于工作人员健康，精力与耐心都具有一定的考验。
[0003]因此，如何提供一种研磨及供应装置，以克服现有技术中存在的上述缺陷，日益成为本领域技术人员亟待解决的技术问题之一。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种研磨及供应装置，以解决现有技术存在的整个研磨过程需要依靠人力完成，操作工序复杂且对操作人员的健康容易产生影响的问题。
[0005]为了达到上述目的，本技术提供了一种研磨及供应装置，用于对研磨桶内的液体进行研磨和取液，包括：旋转平台、机械手臂、数个超声射频混匀单元和驱动装置；
[0006]其中，所述驱动装置位于所述旋转平台下方，连接并带动所述旋转平台旋转；
[0007]所述旋转平台上表面设有数个周向分布的容纳部，每个所述容纳部对应放置一个所述超声射频混匀单元；
[0008]所述超声射频混匀单元上放置有所述研磨桶，所述超声射频混匀单元通过超声将所述研磨桶内的液体混匀；
[0009]所述机械手臂位于所述旋转平台上方，所述机械手臂面向所述旋转平台的一面设有取盖装置和可伸缩吸液管，所述可伸缩吸液管的一端连接所述取盖装置，所述可伸缩吸液管的另一端伸展后可伸入所述研磨桶内将混匀后的液体取出。
[0010]可选的，还包括保护壳，所述旋转平台、所述机械手臂、所述超声射频混匀单元和所述驱动装置位于所述保护壳内。
[0011]可选的，所述旋转平台为一圆盘，所述圆盘的中心设有一贯通的安装孔，所述驱动装置上设有一旋转轴，所述旋转轴插入所述安装孔内。
[0012]可选的，所述研磨桶位于所述超声射频混匀单元的超声发射范围内。
[0013]可选的，所述取盖装置为一圆柱体，所述圆柱体面向所述旋转平台的一面设有一固定孔，所述固定孔与所述研磨桶的桶盖连接以使得所述取盖装置能够将所述桶盖从所述研磨桶分离。
[0014]可选的，所述机械手臂上还包括推杆，所述推杆设置在所述取盖装置上方，所述取盖装置面设置有贯通的连接孔，所述推杆的一端能够插入所述连接孔内将所述固定孔内的
所述桶盖推出。
[0015]可选的，所述固定孔的形状与所述桶盖相匹配。
[0016]可选的，所述可伸缩吸液管的一端连接所述取盖装置包括：所述可伸缩吸液管的一端与所述固定孔的底部固定连接，且所述可伸缩吸液管的直径＜所述固定孔的孔径。
[0017]可选的，所述可伸缩吸液管收缩后的长度＜所述固定孔的深度。
[0018]可选的，所述可伸缩吸液管的伸展长度与所述固定孔的深度之和≥所述研磨桶的高度。
[0019]与现有技术相比，本技术提供的一种研磨及供应装置具有以下有益效果：
[0020]本技术提供了一种研磨及供应装置，用于对研磨桶内的液体进行研磨和取液，包括：旋转平台、机械手臂、数个超声射频混匀单元和驱动装置；其中，所述驱动装置位于所述旋转平台下方，连接并带动所述旋转平台旋转；所述旋转平台上表面设有数个周向分布的容纳部，每个所述容纳部对应放置一个所述超声射频混匀单元；所述超声射频混匀单元上放置有所述研磨桶，所述超声射频混匀单元通过超声将所述研磨桶内的液体混匀；所述机械手臂位于所述旋转平台上方，所述机械手臂面向所述旋转平台的一面设有取盖装置和可伸缩吸液管，所述可伸缩吸液管的一端连接所述取盖装置，所述可伸缩吸液管的另一端伸展后可伸入所述研磨桶内将混匀后的液体取出。本技术提供的研磨及供应装置，所述超声射频混匀单元上能够放置所述研磨桶，所述超声射频混匀单元利用超声将所述研磨桶内的液体混匀，防止沉淀。同时，所述旋转平台旋转将所述研磨桶旋转至所述机械手臂下方，所述可伸缩吸液管处于收缩状态，随后，所述机械手臂下降至所述取盖装置与所述研磨桶的桶盖连接，所述取盖装置将所述研磨桶的桶盖去除，最后，所述可伸缩吸液管伸展进入所述研磨桶内并将液体吸出。由此，所述研磨及供应装置的整个混匀和取液过程自动化程度较高，简单方便，不依赖于人力且用途广泛。同时解决了因添加研磨液对工作人员健康的伤害，以及精力与耐力消耗的问题。
附图说明
[0021]图1为本技术一实施例提供的研磨及供应装置的结构图；
[0022]图2为本技术一实施例提供的研磨及供应装置的正视图；
[0023]图3为本技术一实施例提供的研磨及供应装置的局部图；
[0024]其中，100
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机械手臂，101
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电机，102
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取盖装置，103
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可伸缩吸液管，104
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推杆，200
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旋转平台，201
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容纳部，300
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驱动装置，301
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旋转轴，400
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保护壳，500
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超声射频混匀单元。
具体实施方式
[0025]下面将结合示意图对本技术的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。应当了解，说明书附图并不一定按比例的显示本技术的具体结构，并且在说明书附图中用于说明本技术某些原理的图示性特征也会采取略微简化的画法。本文所公开的本技术的具体设计特征包括例如具体尺寸、方向、位置和外形将部分地由具体所要应用和使用的环境来确
定。以及，在以下说明的实施方式中，有时在不同的附图之间共同使用同一附图标记来表示相同部分或具有相同功能的部分，而省略其重复说明。在本说明书中，使用相似的标号和字母表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
[0026]本技术的其中一个实施例提供了一种研磨及供应装置，用于对研磨桶内的液体进行研磨和取液，具体地，请参见附图1
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附图3，图1
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图3分别为本技术一实施例提供的研磨及供应装置的结构图、正视图和局部图，结合图1
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图3可以明显看出，所述研磨及供应装置包括：旋转平台200、机械手臂100、数个超声射频混匀单元500和驱动装置300；其中，所述驱动装置300位于所述旋转平台200下方，连接并带动所述旋转平台200旋转；所述旋转平台200上表面设有数个周向分布的容纳部201，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种研磨及供应装置，用于对研磨桶内的液体进行研磨和取液，其特征在于，包括：旋转平台、机械手臂、数个超声射频混匀单元和驱动装置；其中，所述驱动装置位于所述旋转平台下方，连接并带动所述旋转平台旋转；所述旋转平台上表面设有数个周向分布的容纳部，每个所述容纳部对应放置一个所述超声射频混匀单元；所述超声射频混匀单元上放置有所述研磨桶，所述超声射频混匀单元通过超声将所述研磨桶内的液体混匀；所述机械手臂位于所述旋转平台上方，所述机械手臂面向所述旋转平台的一面设有取盖装置和可伸缩吸液管，所述可伸缩吸液管的一端连接所述取盖装置，所述可伸缩吸液管的另一端伸展后可伸入所述研磨桶内将混匀后的液体取出。2.如权利要求1所述的一种研磨及供应装置，其特征在于，还包括保护壳，所述旋转平台、所述机械手臂、所述超声射频混匀单元和所述驱动装置位于所述保护壳内。3.如权利要求1所述的一种研磨及供应装置，其特征在于，所述旋转平台为一圆盘，所述圆盘的中心设有一贯通的安装孔，所述驱动装置上设有一旋转轴，所述旋转轴插入所述安装孔内。4.如权利要求1所述的一种研磨及供应装置，其特征在于，所述研磨桶位于所...

【专利技术属性】
技术研发人员：邵辉，
申请(专利权)人：广州粤芯半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：