温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供一种研磨及供应装置，包括：旋转平台、机械手臂、超声射频混匀单元和驱动装置；其中，所述驱动装置位于所述旋转平台下方；所述旋转平台上表面设有数个周向分布的容纳部，每个所述容纳部对应放置一个所述超声射频混匀单元；所述超声射频混匀单元...
该专利属于广州粤芯半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州粤芯半导体技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。