一种量具制造技术

本申请公开了一种量具，用于对晶圆传送盒的前门的卡槽结构进行测量，量具包括：主体，沿第一预设方向延伸；测量结构，包括设置于主体的一侧面上的多个第一标识，多个第一标识沿第一预设方向间隔排布；第一标识的数量大于或等于卡槽结构中支撑块的数量，第一标识沿第一预设方向的宽度等于8毫米，且相邻两第一标识之间的间距等于3毫米。使用量具对卡槽结构进行测量时，量具的主体沿第一预设方向延伸，此时第一预设方向即为支撑块的排布方向，此时可通过调整量具的位置，使得支撑块与第一标识一一对应，当存在支撑块与对应的第一标识出现对位偏差时，即表明相邻两支撑块之间的间距出现偏差，从而可以通过量具对卡槽结构进行测量。从而可以通过量具对卡槽结构进行测量。从而可以通过量具对卡槽结构进行测量。

【技术实现步骤摘要】
一种量具


[0001]本申请涉及半导体
，尤其涉及一种量具。

技术介绍

[0002]前开式晶圆传送盒(Front Opening Unified Pod，FOUP)是半导体制造过程中用来保护、运送以及储存晶圆的一种容器。FOUP的前侧具有用于取放晶圆的开口，开口处设置有控制开口启闭的前门，前门上设置有用于对晶圆进行限位和固定的卡槽结构，卡槽结构包括多个间隔排布的支撑块，相邻两个支撑块之间形成卡槽，晶圆放置于卡槽中。
[0003]然而，随着使用时间的增长导致卡槽结构产生疲劳形变，或者因为卡槽结构本身的制造公差等因素，导致卡槽的尺寸发生变化，将晶圆放置于卡槽中时，可能会出现晶圆靠近前门的一端下压，而晶圆远离前门的一端翘起的情况，此时晶圆处于倾斜状态，从而导致在进行下一步工序时会发生对位错误，因此，需要对卡槽结构进行测量。

技术实现思路

[0004]本申请提供一种量具，能够对晶圆传送盒的前门的卡槽结构进行测量。
[0005]具体的，本申请提供一种量具，用于对晶圆传送盒的前门的卡槽结构进行测量，所述卡槽结构包括多个间隔排布的支撑块，所述量具包括：主体，沿第一预设方向延伸；测量结构，包括多个第一标识，多个所述第一标识设置于所述主体的一侧面上，多个所述第一标识沿所述第一预设方向间隔排布；其中，所述第一标识的数量大于或等于所述支撑块的数量，所述第一标识沿所述第一预设方向的宽度等于8毫米，且相邻两所述第一标识之间的间距等于3毫米。
[0006]在本申请一些实施例中，所述主体包括沿所述第一预设方向延伸的主体侧边；所述测量结构还包括第二标识，所述第二标识设置于所述主体的一侧面上，所述第二标识沿所述第一预设方向延伸；所述第二标识与所述主体侧边沿所述第二预设方向的间距等于11毫米，所述第二预设方向与所述第一预设方向垂直设置。
[0007]基于上述实施例，当支撑块在垂直于可视窗的内侧面的方向上出现偏差时，同样会导致晶圆发生倾斜，而基于晶圆的尺寸等因素，当卡槽结构的尺寸为标准规格尺寸时，此时支撑块的底侧与可视窗之间的垂直间距为11毫米。使用量具对卡槽结构进行测量时，此时量具的主体与可视窗的内侧接触且与可视窗垂直设置，此时第二预设方向即为与可视窗的内侧面垂直的方向，当存在支撑块的底侧与第二标识不齐平时，即表明该支撑块在垂直于可视窗的内侧面的方向上发生偏差，从而可以通过第二标识对支撑块在垂直于可视窗的内侧面的方向上的偏差进行测量。
[0008]在本申请一些实施例中，所述第二标识沿所述第一预设方向的长度为L1，所述主体侧边沿所述第一预设方向的长度为L2，所述L1等于L2。
[0009]基于上述实施例，第二标识在第一预设方向上具有较大的长度，从而使得第二标识可以同时对所有支撑块进行测量。
[0010]在本申请一些实施例中，所述第一标识以及所述第二标识位于所述主体的同一侧面上。
[0011]基于上述实施例，可以防止利用第一标识和第二标识中的一者对卡槽结构进行测量时，第一标识和第二标识中的另一者与支撑块发生摩擦导致标识磨损。
[0012]在本申请一些实施例中，所述第一标识位于所述第二标识远离所述主体侧边的一侧。
[0013]基于上述实施例，通过第二标识对卡槽结构进行检测时，支撑块的底侧与第二标识齐平，此时可以通过第一标识与支撑块的重合度，来判断支撑块与对应的第一标识是否出现对位偏差，从而可以同时利用第一标识和第二标识对卡槽结构进行测量，以提升测量效率，缩短测量时间。
[0014]在本申请一些实施例中，所述第一标识包括靠近所述第二标识的标识侧边，所述标识侧边与所述第二标识重叠。
[0015]基于上述实施例，同时利用第一标识和第二标识进行测量时，支撑块的底侧与第二标识齐平，并且支撑块的底侧与第一标识的标识侧边齐平，可以更加直观的观察到第一标识与支撑块的重合度，从而可以进一步提升测量准确度和测量效率。
[0016]在本申请一些实施例中，所述第一标识和所述第二标识均为黑色标识。
[0017]基于上述实施例，使得测量人员更容易观察到第一标识和第二标识。
[0018]在本申请一些实施例中，所述主体为透明主体。
[0019]基于上述实施例，通过量具对卡槽结构进行测量时，可以将第一标识以及第二标识与支撑块背向设置，可以更加清楚的观察支撑块是否与第一标识以及第二标识对应，并且可以防止第一标识以及第二标识与支撑块发生摩擦导致标识磨损。
[0020]在本申请一些实施例中，所述主体大致呈长板状。
[0021]基于上述实施例，可以减小量具的整体体积，方面测量人员对量具的使用。
[0022]在本申请一些实施例中，所述第一标识的数量为26个。
[0023]基于上述实施例，将第一标识的数量设置为26个，可以在保证能够同时对所有支撑块进行测量的前提下，缩短主体的长度。
[0024]本申请的有益效果为：使用量具对卡槽结构进行测量时，量具的主体沿第一预设方向延伸，此时第一预设方向即为支撑块的排布方向，此时可通过调整量具的位置，使得支撑块与第一标识一一对应，当存在支撑块与对应的第一标识出现对位偏差时，即表明相邻两支撑块之间的间距出现偏差。从而可以在卡槽结构出现异常时可以及时发现异常，而当晶圆在后续工序发生对位错误时，通过量具可以快速确定错误的根本原因为晶圆生产设备或晶圆传送盒，并且量具的结构简单，利用量具可以在较短时间内完成对卡槽结构的测量，可以大量缩短测量时间，从而可以缩短因晶圆传送盒故障导致的晶圆生产设备停机的时间，从而可以提升产能。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本申请实施例或相关技术中的技术方案，下面将对实施例或相关技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据
这些附图获得其他的附图。
[0026]图1为本申请一实施方式中晶圆传送盒的结构示意图；
[0027]图2为图1中前门的俯视示意图；
[0028]图3为图2中沿剖面线X
‑
X的剖视示意图；
[0029]图4为本申请一实施方式中量具的结构示意图；
[0030]图5为本申请一实施方式中使用量具对卡槽结构进行测量时的示意图；
[0031]图6为本申请一实施方式中使用量具对卡槽结构进行测量时的示意图。
[0032]附图标记：
[0033]10、晶圆传送盒；11、壳体；111、容纳腔；112、开口；12、限位结构；121、固定块；13、前门；14、卡槽结构；141、支撑块；141a、第一端面；142、卡槽；143、支撑杆；15、可视窗；20、晶圆；30、量具；31、主体；311、主体侧边；32、测量结构；321、第一标识；321a、标识侧边；322、第二标识。
具体实施方式
[0034]为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种量具，用于对晶圆传送盒的前门的卡槽结构进行测量，所述卡槽结构包括多个间隔排布的支撑块，其特征在于，所述量具包括：主体，沿第一预设方向延伸；测量结构，包括多个第一标识，多个所述第一标识设置于所述主体的一侧面上，多个所述第一标识沿所述第一预设方向间隔排布；其中，所述第一标识的数量大于或等于所述支撑块的数量，所述第一标识沿所述第一预设方向的宽度等于8毫米，且相邻两所述第一标识之间的间距等于3毫米。2.根据权利要求1所述的量具，其特征在于，所述主体包括沿所述第一预设方向延伸的主体侧边；所述测量结构还包括第二标识，所述第二标识设置于所述主体的一侧面上，所述第二标识沿所述第一预设方向延伸；所述第二标识与所述主体侧边沿第二预设方向的间距等于11毫米，所述第二预设方向与所述第一预设方向垂直设置。3.根据权利要求2所述的量...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓徐鎏，
申请(专利权)人：长江存储科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：