一种半导体废气处理设备新型水箱液位装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种半导体废气处理设备新型水箱液位装置，包括液位管、上液位传感器、下液位传感器以及安装板，液位管的两端分别固定连接有安装板，安装板的中心开设有与液位管相连通的通孔，液位管的外表面固定连接有纵向分布的上液位传感器和下液位传感器，上液位传感器、下液位传感器与液位管的连接处均设有调节座，调节座套接连接在液位管的表面且与液位管滑动连接，调节座的边缘处设有锁紧螺栓，液位管的下端内嵌有过滤机构。本实用新型专利技术通过在水槽的侧壁固定连接有带上液位传感器、下液位传感器的液位管，利用U型管的原理更加直观的展示水槽内的液位高度，同时非接触的传感器能够避免与废液直接接触，提高传感器工作的稳定性。的稳定性。的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体废气处理设备新型水箱液位装置


[0001]本技术涉及废气处理设备
，具体为一种半导体废气处理设备新型水箱液位装置。

技术介绍

[0002]半导体废气处理设备大部分制程都要用到自来水将废气稀释或溶于水中，就会用到水箱存储循环水，水位高时会将废水排走，水位低时会进行补水，水槽就会用到水位的控制。
[0003]目前，行业内都为安装塑料鸭嘴式侧装浮球开关，此开关需要机械上下浮动，水箱内废气生成物容易使其卡顿，或不动作，造成水位无法控制，水位极高或极低造成设备停机、水泵损坏等问题。为此，需要设计一种新的技术方案给予解决。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种半导体废气处理设备新型水箱液位装置，解决了现有技术中水槽内的用于控制水位的水位开关容易受到废液中杂质影响而导致工作失常的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体废气处理设备新型水箱液位装置，包括液位管、上液位传感器、下液位传感器以及安装板，所述液位管的两端分别固定连接有安装板，所述安装板的中心开设有与液位管相连通的通孔，所述液位管的外表面固定连接有纵向分布的上液位传感器和下液位传感器，所述上液位传感器、下液位传感器与液位管的连接处均设有调节座，所述调节座套接连接在液位管的表面且与液位管滑动连接，所述调节座的边缘处设有锁紧螺栓，所述液位管的下端内嵌有过滤机构。
[0006]作为上述技术方案的改进，所述液位管采用透明的聚四氟乙烯材料一体挤塑成型，所述液位管与安装板热熔焊接连接。/>[0007]作为上述技术方案的改进，所述安装板的内表面开设有沉槽，所述沉槽的内部嵌入连接有密封胶垫。
[0008]作为上述技术方案的改进，所述上液位传感器、下液位传感器均采用非接触式液位传感器，所述上液位传感器和下液位传感器的后端连接有水泵。
[0009]作为上述技术方案的改进，所述过滤机构包括内衬套、过滤板和过滤网，所述内衬套内嵌于液位管内且的端部固定连接有过滤板，所述过滤板的表面粘接连接有过滤网。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0011]1、本技术通过在水槽的侧壁固定连接有带上液位传感器、下液位传感器的液位管，利用U型管的原理更加直观的展示水槽内的液位高度，同时非接触的传感器能够避免与废液直接接触，便于对液位进行监测的同时，提高传感器工作的稳定性。
[0012]2、本技术通过在液位管的下端设有插接连接的过滤机构，方便对废液中的杂质进行过滤，避免对传感器的检测精度造成影响，同时便于对液位管进行清洁。
附图说明
[0013]图1为本技术所述半导体废气处理设备新型水箱液位装置结构示意图；
[0014]图2为本技术所述过滤机构结构示意图。
[0015]图中：液位管
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1，上液位传感器
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2，下液位传感器
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3，安装板
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4，通孔
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5，调节座
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6，锁紧螺栓
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7，过滤机构
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8，沉槽
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9，密封胶垫
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10，水泵
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11，内衬套
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12，过滤板
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13，过滤网
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14。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0017]请参阅图1
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2，本技术提供一种技术方案：一种半导体废气处理设备新型水箱液位装置，包括液位管1、上液位传感器2、下液位传感器3以及安装板4，所述液位管1的两端分别固定连接有安装板4，所述安装板4的中心开设有与液位管1相连通的通孔5，所述液位管1的外表面固定连接有纵向分布的上液位传感器2和下液位传感器3，所述上液位传感器2、下液位传感器3与液位管1的连接处均设有调节座6，所述调节座6套接连接在液位管1的表面且与液位管1滑动连接，所述调节座6的边缘处设有锁紧螺栓7，所述液位管1的下端内嵌有过滤机构8。
[0018]进一步改进地，所述液位管1采用透明的聚四氟乙烯材料一体挤塑成型，所述液位管1与安装板4热熔焊接连接，通过采用透明的聚四氟乙烯材料制成液位管1，方便传感器对器内部液体的水位高度进行检测，同时便于工作人员进行观察，使用上更加直观。
[0019]进一步改进地，所述安装板4的内表面开设有沉槽9，所述沉槽9的内部嵌入连接有密封胶垫10，通过在安装板4的内表面开设有带密封胶垫10的沉槽9，提高安装板4与水槽之间连接的密封性，避免连接处发生漏水。
[0020]进一步改进地，所述上液位传感器2、下液位传感器3均采用非接触式液位传感器，所述上液位传感器2和下液位传感器3的后端连接有水泵11，通过采用非接触式的液位传感器，避免传感器直接与液体接触，防止废液中的杂质对传感器造成影响，提高传感器工作的稳定性。
[0021]具体改进地，所述过滤机构8包括内衬套12、过滤板13和过滤网14，所述内衬套12内嵌于液位管1内且的端部固定连接有过滤板13，所述过滤板13的表面粘接连接有过滤网14，通过在液位管1的内部设有插接连接的内衬套12，方便对过滤网14进行拆装，同时避免废液中的杂质对传感器的工作造成影响。
[0022]本技术的液位管
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1、上液位传感器
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2、下液位传感器
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3、安装板
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4、通孔
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5、调节座
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6、锁紧螺栓
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7、过滤机构
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8、沉槽
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9、密封胶垫
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10、水泵
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11、内衬套
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12、过滤板
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13、过滤网
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14，部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件、其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知，本技术通过在水槽的侧壁固定连接有带上液位传感器2、下液位传感器3的液位管1，利用U型管的原理更加直观的展示水槽内的液位高度，同时非接触的传感器能够避免与废液直接接触，便于对液位进行监测的同时，提高传感器工作的稳定性。
[0023]本技术在使用时，将液位管1安装在水槽的侧壁，利用U型管的原理，水槽内部
水位与液位管1中高度一致，通过调节上液位传感器2和下液位传感器3的位置，方便对水槽内液位高度进行监控，利用液位管1外侧壁的上液位传感器2和下液位传感器3无接触式的检测，使水位开关动作不需要接触到内部水，达到了安全可靠的效果，且液位管1下端安装的过滤机构8能够避免废液中的杂质进入液位管1中，一方面提高传感器检测的精准度，另一方面避免杂质附着在液位管1的表面，提高清洁的方便性。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体废气处理设备新型水箱液位装置，包括液位管(1)、上液位传感器(2)、下液位传感器(3)以及安装板(4)，其特征在于：所述液位管(1)的两端分别固定连接有安装板(4)，所述安装板(4)的中心开设有与液位管(1)相连通的通孔(5)，所述液位管(1)的外表面固定连接有纵向分布的上液位传感器(2)和下液位传感器(3)，所述上液位传感器(2)、下液位传感器(3)与液位管(1)的连接处均设有调节座(6)，所述调节座(6)套接连接在液位管(1)的表面且与液位管(1)滑动连接，所述调节座(6)的边缘处设有锁紧螺栓(7)，所述液位管(1)的下端内嵌有过滤机构(8)。2.根据权利要求1所述的一种半导体废气处理设备新型水箱液位装置，其特征在于：所述液位管(1)采用透明的聚四氟乙烯材料一体挤塑成型，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔汉博，崔汉宽，
申请(专利权)人：上海高生集成电路设备有限公司，
类型：新型
国别省市：