一种表面清洁装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术是一种表面清洁装置，包括主机体，所述主机体一侧设有真空泵组，所述主机体底部还设有惰性气体箱及活性气体箱，所述惰性气体箱一侧设有高压电源，所述惰性气体箱与所述活性气体箱通过管道与所述主机体相通，所述主机体内部中空形成腔体，本实用新型专利技术中采用石墨作为电极对活性气体与惰性气体进行电离，石墨电极与活性气体及惰性气体反应后，不会对被清洗产品表面造成残留，设置有多组石墨电极，增加了对惰性气体与活性气体的电离速率。增加了对惰性气体与活性气体的电离速率。增加了对惰性气体与活性气体的电离速率。

【技术实现步骤摘要】
一种表面清洁装置


[0001]本技术涉及产品清洗
，特别涉及一种表面清洁装置。

技术介绍

[0002]生产的产品要求表面无污染杂质粒子，以及任何化学物质残留，现有的表面清洁装置多采用金属电极，金属电极溅射后，生成的金属及金属化合物对产品表面造成残留。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术旨在提出一种表面清洁装置，以解决现有的表面清洁装置多采用金属电极，金属电极溅射后，生成的金属及金属化合物对产品表面造成残留的问题。
[0004]为达到上述目的，本技术的技术方案是这样实现的：
[0005]一种表面清洁装置，包括主机体，所述主机体一侧设有真空泵组，所述主机体底部还设有惰性气体箱及活性气体箱，所述惰性气体箱一侧设有高压电源，所述惰性气体箱与所述活性气体箱通过管道与所述主机体相通，所述主机体内部中空形成腔体，所述腔体内部设有固定架及连接杆，所述固定架包覆有若干石墨电极，所述固定架一侧设有接线板，所述接线板与所述高压电源连接，所述连接杆设有转动杆，所述连接杆与所述转动杆控制连接，所述转动杆设有卡爪。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种表面清洁装置，其特征在于：包括主机体，所述主机体一侧设有真空泵组，所述主机体底部还设有惰性气体箱及活性气体箱，所述惰性气体箱一侧设有高压电源，所述惰性气体箱与所述活性气体箱通过管道与所述主机体相通，所述主机体内部中空形成腔体；所述腔体内部设有固定架及连接杆，所述固定架包覆有若干石墨电极，所述固定架一侧设有接线板，所述接线板与所述高压电源连接，所述连接杆设有转动杆，所述连接杆与所述转动杆控制连接，所述转动杆设有卡爪。2.根据权利要求1所述的一种表面清洁装置，其特征在于，所述固定架具有槽口，所述固定架还设有用于隔离所述石墨电极的隔板，所述隔板设于所述固定架的槽口内，并且所...

【专利技术属性】
技术研发人员：高佳，
申请(专利权)人：东莞市峰谷纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：