一种表面清洁装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术是一种表面清洁装置，包括主机体，所述主机体一侧设有真空泵组，所述主机体底部还设有惰性气体箱及活性气体箱，所述惰性气体箱一侧设有高压电源，所述惰性气体箱与所述活性气体箱通过管道与所述主机体相通，所述主机体内部中空形成腔体，本实用新型专利技术中采用石墨作为电极对活性气体与惰性气体进行电离，石墨电极与活性气体及惰性气体反应后，不会对被清洗产品表面造成残留，设置有多组石墨电极，增加了对惰性气体与活性气体的电离速率。增加了对惰性气体与活性气体的电离速率。增加了对惰性气体与活性气体的电离速率。

【技术实现步骤摘要】
一种表面清洁装置


[0001]本技术涉及产品清洗
，特别涉及一种表面清洁装置。

技术介绍

[0002]生产的产品要求表面无污染杂质粒子，以及任何化学物质残留，现有的表面清洁装置多采用金属电极，金属电极溅射后，生成的金属及金属化合物对产品表面造成残留。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术旨在提出一种表面清洁装置，以解决现有的表面清洁装置多采用金属电极，金属电极溅射后，生成的金属及金属化合物对产品表面造成残留的问题。
[0004]为达到上述目的，本技术的技术方案是这样实现的：
[0005]一种表面清洁装置，包括主机体，所述主机体一侧设有真空泵组，所述主机体底部还设有惰性气体箱及活性气体箱，所述惰性气体箱一侧设有高压电源，所述惰性气体箱与所述活性气体箱通过管道与所述主机体相通，所述主机体内部中空形成腔体，所述腔体内部设有固定架及连接杆，所述固定架包覆有若干石墨电极，所述固定架一侧设有接线板，所述接线板与所述高压电源连接，所述连接杆设有转动杆，所述连接杆与所述转动杆控制连接，所述转动杆设有卡爪。
[0006]进一步的，所述固定架具有槽口，所述固定架还设有用于隔离所述石墨电极的隔板，所述隔板设于所述固定架的槽口内，并且所述石墨电极横向分布于所述隔板的两侧。
[0007]进一步的，所述接线架开设有若干接线孔，所述接线孔与所述石墨电极固定连接。
[0008]进一步的，所述腔体顶部设有真空度检测器。
[0009]进一步的，所述惰性气体箱、活性气体箱与所述主机体连接的管道上均设有电磁阀。
[0010]进一步的，所述主机体一侧设有电控箱，所述电控箱与所述电磁阀电连接。
[0011]进一步的，所述主机体上开设有观察窗。
[0012]相对于现有技术，本技术所述的一种表面清洁装置具有以下优势：
[0013]1、采用石墨作为电极对活性气体与惰性气体进行电离，石墨电极与活性气体及惰性气体反应后生成气体，不会对被清洗产品表面造成残留；
[0014]2、设置有多组石墨电极，增加了对惰性气体与活性气体的电离速率。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下文中将对本技术实施例的附图进行简单介绍。其中，附图仅仅用于展示本技术的一些实施例，而非将本技术的全部实施例限制于此。
[0016]图1为本技术第一结构示意图；
[0017]图2为本技术主机体结构示意图；
[0018]图3为本技术固定架结构示意图；
[0019]图4为本技术接线架第一结构示意图；
[0020]图5为本技术物质分布状态示意图；
[0021]附图标记：
[0022]1、真空泵组；2、主机体；201、观察窗；3、腔体；4、卡爪；5、转动杆； 6、连接杆；7、真空度检测器；8、固定架；801、接线架；802、接线孔；9、石墨电极；10、隔板；11、电控箱；12、高压电源；13、惰性气体箱；14、活性气体箱；15、电磁阀。
具体实施方式
[0023]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施例做详细的说明。
[0024]实施例一：
[0025]参见附图1，一种表面清洁装置，所述主机体2内部中空形成腔体3，所述腔体3内部设置有固定架8与石墨电极9，所述固定架8将所述石墨电极9覆盖，所述固定架8与高压电源12电连接，所述主机体2分别与惰性气体箱13、活性气体箱14、真空泵组1连通。
[0026]具体的，所述主机体2整体呈矩形，所述主机体2内部设置有耐压板，所述主机体2为中空结构，所述固定架8覆盖在所述石墨电极9上，对所述石墨电极9进行固定，所述固定架8与所述石墨电极9固定在所述腔体3底部，所述石墨电极9与所述高压电源12电连接，所述高压电源12为所述石墨电极9 供电，所述惰性气体箱13、所述活性气体箱14、所述真空泵组1均通过管道与所述主机体2连接，所述惰性气体箱13中储存有惰性气体，并向所述主机体2 的所述腔体3中提供惰性气体，所述活性气体箱14中储存活性气体，并向所述主机体2的所述腔体3中提供活性气体，所述真空泵组1对所述主机体2的所述腔体3内部进行抽真空，使整个清洗过程在真空状态下进行。
[0027]优选的，所述固定架8具有槽口，所述固定架8还设有用于隔离所述石墨电极9的隔板10，所述隔板10设于所述固定架8的槽口内，并且所述石墨电极 9横向分布于所述隔板10的两侧，并设置多组所述石墨电极9，在惰性气体遇上所述石墨电极9时能够更有效的进行电离。
[0028]优选的，参见附图3
‑
4所述固定架8一侧设置有接线架801，所述接线架801 开设有若干接线孔802，所述接线孔802与所述石墨电极9固定连接，所述石墨电极9插入所述接线孔802中，通过所述接线架801中的所述接线孔802对所述石墨电极9进行固定，同时所述接线架801采用绝缘材料制成，所述接线孔 802底部设置有连通所述高压电源12的导电片，所示石墨电极9端部与导电片接触。
[0029]优选的，所述腔体3顶部设置有真空度检测器7，所述真空度检测器7对所述腔体3内部真空度进行检测，使装置能够在不同真空度下对物体表面的清洗。
[0030]优选的，所述惰性气体箱13、所述活性气体箱14与所述主机体2连接的管道上均设置有电磁阀15，所述电磁阀15控制所述惰性气体箱13与所述活性气体箱14的开启与闭合，所述电磁阀15的型号为PHS530。
[0031]优选的，所述主机体2顶部内壁上设置有连接杆6，所述连接杆6下方设置有转动杆5，所述转动杆5下方设置有卡爪4，所述卡爪4对被清洗零件进行夹持，所述转动杆5带动所
述卡爪4转动，使被清洗零件以不同角度进行清洗，所述连接杆6对所述转动杆5固定。
[0032]实施例二：
[0033]在实施例一的基础上，对实施例一表面清洁装置进行进一步优化：
[0034]所述主机体2一侧设置有电控箱11，所述电控箱11与所述电磁阀15电连接。
[0035]具体的，通过所述电控箱11控制所述电磁阀15的开关，即通过所述电控箱11控制进入所述主机体2内部的气体。
[0036]实施例三：
[0037]在实施例一的基础上，对实施例一表面清洁装置进行进一步优化：
[0038]所述主机体2上开有观察窗201。
[0039]具体的，参见附图2，所述观察窗201能够将所述卡爪4暴露，将被清洗零件卡在所述卡爪4之间，能够通过所述观察窗201观察产品的清洗过程。
[0040]参见附图5，在具体使用过程中，所述真空泵组1先对装置的所述腔体3 进行抽真空，使所述腔体3为真空腔体3；所述真空度检测器7对所述腔体3内部真空度进行检测，可以根据零件不同在不同真空度下进行清洗，在真空腔内首先充入氩气和氧气，随之本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种表面清洁装置，其特征在于：包括主机体，所述主机体一侧设有真空泵组，所述主机体底部还设有惰性气体箱及活性气体箱，所述惰性气体箱一侧设有高压电源，所述惰性气体箱与所述活性气体箱通过管道与所述主机体相通，所述主机体内部中空形成腔体；所述腔体内部设有固定架及连接杆，所述固定架包覆有若干石墨电极，所述固定架一侧设有接线板，所述接线板与所述高压电源连接，所述连接杆设有转动杆，所述连接杆与所述转动杆控制连接，所述转动杆设有卡爪。2.根据权利要求1所述的一种表面清洁装置，其特征在于，所述固定架具有槽口，所述固定架还设有用于隔离所述石墨电极的隔板，所述隔板设于所述固定架的槽口内，并且所...

【专利技术属性】
技术研发人员：高佳，
申请(专利权)人：东莞市峰谷纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：