本实用新型专利技术公开了一种单片湿法刻蚀机晶圆干燥装置，该晶圆干燥装置安装于上游输送装置和下游输送装置之间，包括机架，所述机架上转动安装有若干个干燥输送辊，所述干燥输送辊的输送平面与上游输送装置和下游输送装置的输送平面衔接，每个干燥输送辊上均套装固定有吸水套，所述干燥输送辊由输送动力装置驱动，所述机架上位于干燥输送辊的上方安装有气吹干燥装置，该装置能够短时间内逐个将去胶好的晶圆彻底的干燥、防止水痕产生，有效减少对晶圆表面的腐蚀，提高生产质量。提高生产质量。提高生产质量。
【技术实现步骤摘要】
一种单片湿法刻蚀机晶圆干燥装置
[0001]本技术涉及一种晶圆干燥装置，尤其涉及一种单片湿法刻蚀机晶圆干燥装置。
技术介绍
[0002]湿法刻蚀机是采用湿法刻蚀的传统方法，把晶圆浸泡在一定的化学试剂或试剂溶液中，使没有被抗蚀剂掩蔽的那一部分薄膜表面与试剂发生化学反应而被除去，例如，用一种含有氢氟酸的溶液刻蚀二氧化硅薄膜，用磷酸刻蚀铝薄膜等，这种在液态环境中进行刻蚀的工艺称为“湿法”工艺，刻蚀完成后需要将晶圆进行干燥处理，传统的干燥方式是等待25片晶圆全部出来再去甩干机或干燥箱干燥，这样的后果会导致先出来的晶圆因表面有水会造成腐蚀，由于去离子水呈现弱酸性，必须在短时间内完成干燥，而且在晶圆干燥时候都是接触到了其他东西，在接触的地方会存在干燥死角，就目前的研究现状来看，在干燥工序中最容易产生“水痕”和干燥死角，为了解决“水痕”和干燥死角的问题，因此如何将晶圆进行彻底的干燥、防止水痕产生、本专利要解决关键问题之一，为此，本技术设计了晶圆干燥装置。
技术实现思路
[0003]本技术所要解决的技术问题是：提供一种单片湿法刻蚀机晶圆干燥装置，该装置能够短时间内逐个将去胶好的晶圆彻底的干燥、防止水痕产生，有效减少对晶圆表面的腐蚀，提高生产质量。
[0004]为解决上述技术问题，本技术的技术方案是：一种单片湿法刻蚀机晶圆干燥装置，该晶圆干燥装置安装于上游输送装置和下游输送装置之间，包括机架，所述机架上转动安装有若干个干燥输送辊，所述干燥输送辊的输送平面与上游输送装置和下游输送装置的输送平面衔接，每个干燥输送辊上均套装固定有吸水套，所述干燥输送辊由输送动力装置驱动，所述机架上位于干燥输送辊的上方安装有气吹干燥装置。
[0005]作为一种优选的方案，所述气吹干燥装置包括至少一个喷吹管，所述喷吹管与供气系统连通，所述喷吹管的管身上设置有条形出风口，所述喷吹管的喷吹方向与晶圆表面成一锐角。
[0006]作为一种优选的方案，所述条形出风口的喷吹位置处于干燥输送辊与晶圆相接触的接触点上方。
[0007]作为一种优选的方案，所述吸水套为由PVA吸水海绵构成的吸水套。
[0008]作为一种优选的方案，所述吸水套包括塑料筒体和由PVA吸水海绵构成的吸水套体，所述吸水套体套装在塑料筒体上且胶水粘结，所述塑料筒体套装固定在干燥输送辊上。
[0009]作为一种优选的方案，所述干燥输送辊的下方还安装有用于对吸水套体进行挤压的挤压机构。
[0010]作为一种优选的方案，所述挤压机构包括转动安装于机架上且与每个干燥输送辊
一一对应的挤压辊，该挤压辊处于干燥输送辊的下方且与吸水套体挤触，所述挤压辊与干燥输送辊之间传动连接。
[0011]作为一种优选的方案，所述输送动力装置包括电机，所述电机与其中一个干燥输送辊之间通过同步带传动，所述各干燥输送辊之间通过同步带传动。
[0012]采用了上述技术方案后，本技术的效果是：由于单片湿法刻蚀机晶圆干燥装置，该晶圆干燥装置安装于上游输送装置和下游输送装置之间，包括机架，所述机架上转动安装有若干个干燥输送辊，所述干燥输送辊的输送平面与上游输送装置和下游输送装置的输送平面衔接，每个干燥输送辊上均套装固定有吸水套，所述干燥输送辊由输送动力装置驱动，所述机架上位于干燥输送辊的上方安装有气吹干燥装置，因此通过上游输送装置就能够将晶圆输送至干燥输送辊上，由于每个干燥输送辊上均套装固定有吸水套，这样当晶圆在干燥输送辊上输送过去时，晶圆下表面就能被吸水套吸干，再由于干燥输送辊的上方安装有气吹干燥装置，晶圆上表面就被气吹干，该装置能够短时间内逐个将去胶好的晶圆彻底的干燥、防止水痕产生并有效减少对晶圆表面的腐蚀，提高生产质量。
[0013]又由于所述气吹干燥装置包括至少一个喷吹管，所述喷吹管与供气系统连通，所述喷吹管的管身上设置有条形出风口，所述喷吹管的喷吹方向与晶圆表面成一锐角，所述喷吹方向与晶圆表面的夹角为60
°
且喷吹方向具有一个与晶圆输送方向相对的反方向，所述条形出风口的喷吹位置处于干燥输送辊与晶圆相接触的接触点上方，条形出风口能够对晶圆整个上表面进行吹起，并且形成一定的斜度与晶圆输送方向相反，更有利于将晶圆上表面水分干燥，再因为条形出风口的喷吹位置处于干燥输送辊与晶圆相接触的接触点上方，这样在吹气时给晶圆一个下压力，使晶圆下表面与干燥输送辊贴合更紧，增加吸水性。
[0014]又由于所述吸水套为由PVA吸水海绵构成的吸水套，利用PVA吸水海绵极强的吸水力就能有效的完成晶圆下表面的干燥。
[0015]又由于所述干燥输送辊的下方还安装有用于对吸水套体进行挤压的挤压机构，所述挤压机构包括转动安装于机架上且与每个干燥输送辊一一对应的挤压辊，该挤压辊处于干燥输送辊的下方且与吸水套体挤触，所述挤压辊与干燥输送辊之间传动连接，因此就能够对吸水套有效排水，使该干燥装置能够循环有效的干燥晶圆。
附图说明
[0016]下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。
[0017]图1是本技术实施例的正向示图；
[0018]图2是本技术实施例的干燥输送辊和挤压辊的传动示意图；
[0019]图3是本技术实施例喷吹管的示意图；
[0020]图4是本技术实施例干燥输送辊的半剖图；
[0021]图中：1、上游输送装置；2、下游输送装置；3、机架；4、干燥输送辊；5、电机；6、吸水套；61、塑料筒体；62、吸水套体；7、挤压机构；71、挤压辊；8、漏斗；9、气吹干燥装置；91、喷吹管；92、条形出风口；10、第一主动齿轮轮；11、第一从动齿轮；12、第二主动齿轮；13、第二从动齿轮；14、同步带传动。
具体实施方式
[0022]下面通过具体实施例对本技术作进一步的详细描述。
[0023]如图1所示，一种单片湿法刻蚀机晶圆干燥装置，该晶圆干燥装置安装于上游输送装置1和下游输送装置2之间，包括机架3，所述机架3上转动安装有若干个干燥输送辊4，所述干燥输送辊4的输送平面与上游输送装置1和下游输送装置2的输送平面衔接，每个干燥输送辊4上均套装固定有吸水套6，所述干燥输送辊4由输送动力装置驱动，所述机架3上位于干燥输送辊4的上方安装有气吹干燥装置9，因此通过上游输送装置1就能够将晶圆输送至干燥输送辊4上，由于每个干燥输送辊4上均套装固定有吸水套6，这样当晶圆在干燥输送辊4上输送过去时，晶圆下表面就能被吸水套6吸干，再由于干燥输送辊4的上方安装有气吹干燥装置9，晶圆上表面就被气吹干，再由下游输送装置2输送至下一工序，该装置能够短时间内逐个将去胶好的晶圆彻底的干燥、防止水痕产生并有效减少对晶圆表面的腐蚀，提高生产质量。
[0024]如图1和图3中所示，所述气吹干燥装置9包括至少一个喷吹管91，所述喷吹管91与供气系统连通，所述喷吹管91的管身上设置有条形出风口92，所述喷吹管91的喷吹方向与晶圆表面成一锐角。
[0025]在本实施例中，所述喷吹方本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种单片湿法刻蚀机晶圆干燥装置，其特征在于：该晶圆干燥装置安装于上游输送装置和下游输送装置之间，包括机架，所述机架上转动安装有若干个干燥输送辊，所述干燥输送辊的输送平面与上游输送装置和下游输送装置的输送平面衔接，每个干燥输送辊上均套装固定有吸水套，所述干燥输送辊由输送动力装置驱动，所述机架上位于干燥输送辊的上方安装有气吹干燥装置。2.如权利要求1所述的一种单片湿法刻蚀机晶圆干燥装置，其特征在于：所述气吹干燥装置包括至少一个喷吹管，所述喷吹管与供气系统连通，所述喷吹管的管身上设置有条形出风口，所述喷吹管的喷吹方向与晶圆表面成一锐角。3.如权利要求2所述的一种单片湿法刻蚀机晶圆干燥装置，其特征在于：所述喷吹方向与晶圆表面的夹角为60
°
且喷吹方向具有一个与晶圆输送方向相对的反方向。4.如权利要求3所述的一种单片湿法刻蚀机晶圆干燥装置，其特征在于：所述条形出风口的喷吹位置处于干燥输送辊与晶圆相接触的接触点上...
【专利技术属性】
技术研发人员：张雪奎，牛立久，刘增增，周一雷，徐金鑫，
申请(专利权)人：山东华楷微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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