【技术实现步骤摘要】
一种单片湿法刻蚀机晶圆干燥装置
[0001]本技术涉及一种晶圆干燥装置，尤其涉及一种单片湿法刻蚀机晶圆干燥装置。
技术介绍
[0002]湿法刻蚀机是采用湿法刻蚀的传统方法，把晶圆浸泡在一定的化学试剂或试剂溶液中，使没有被抗蚀剂掩蔽的那一部分薄膜表面与试剂发生化学反应而被除去，例如，用一种含有氢氟酸的溶液刻蚀二氧化硅薄膜，用磷酸刻蚀铝薄膜等，这种在液态环境中进行刻蚀的工艺称为“湿法”工艺，刻蚀完成后需要将晶圆进行干燥处理，传统的干燥方式是等待25片晶圆全部出来再去甩干机或干燥箱干燥，这样的后果会导致先出来的晶圆因表面有水会造成腐蚀，由于去离子水呈现弱酸性，必须在短时间内完成干燥，而且在晶圆干燥时候都是接触到了其他东西，在接触的地方会存在干燥死角，就目前的研究现状来看，在干燥工序中最容易产生“水痕”和干燥死角，为了解决“水痕”和干燥死角的问题，因此如何将晶圆进行彻底的干燥、防止水痕产生、本专利要解决关键问题之一，为此，本技术设计了晶圆干燥装置。
技术实现思路
[0003]本技术所要解决的技术问题是：提供一种单片湿法刻...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种单片湿法刻蚀机晶圆干燥装置，其特征在于：该晶圆干燥装置安装于上游输送装置和下游输送装置之间，包括机架，所述机架上转动安装有若干个干燥输送辊，所述干燥输送辊的输送平面与上游输送装置和下游输送装置的输送平面衔接，每个干燥输送辊上均套装固定有吸水套，所述干燥输送辊由输送动力装置驱动，所述机架上位于干燥输送辊的上方安装有气吹干燥装置。2.如权利要求1所述的一种单片湿法刻蚀机晶圆干燥装置，其特征在于：所述气吹干燥装置包括至少一个喷吹管，所述喷吹管与供气系统连通，所述喷吹管的管身上设置有条形出风口，所述喷吹管的喷吹方向与晶圆表面成一锐角。3.如权利要求2所述的一种单片湿法刻蚀机晶圆干燥装置，其特征在于：所述喷吹方向与晶圆表面的夹角为60
°
且喷吹方向具有一个与晶圆输送方向相对的反方向。4.如权利要求3所述的一种单片湿法刻蚀机晶圆干燥装置，其特征在于：所述条形出风口的喷吹位置处于干燥输送辊与晶圆相接触的接触点上...
【专利技术属性】
技术研发人员：张雪奎，牛立久，刘增增，周一雷，徐金鑫，
申请(专利权)人：山东华楷微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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