【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆匀胶生产领域，尤其涉及一种晶圆的匀胶装置。
技术介绍
1、晶圆在生产过程中需要进行加热、冷却以及滴胶匀胶处理，在进行加热冷却后，需要对晶圆表面涂覆有光刻胶才能进行进行刻蚀处理，通过光刻胶喷嘴向晶圆表面滴胶，接着晶圆通过高速转动使光刻胶均匀覆盖在表面上，而每次滴胶过程中所滴光刻胶是定量的，保证后续刻蚀时能通过对应的定量刻蚀液刚好刻蚀完成，目前在滴胶时往往在滴入所需定量的光刻胶后，光刻胶喷内还会有一定的压力以及重力原因导致依然会有较少的光刻胶滴下来，导致滴在晶圆上的光刻胶变多，影响刻蚀效果，导致晶圆生产质量不达标；并且在旋转过程中，飞溅出来的光刻胶经过周围的挡板反弹会飞溅至晶圆底部，影响后续加工质量，在晶圆加工完成后，需要将晶圆取出放置于晶圆储存盒内，而晶圆的外边缘覆盖有光刻胶后，影响晶圆的放入，也会影响后续加工质量。
技术实现思路
1、本专利技术所要解决的技术问题是：提供一种晶圆的匀胶装置，该装置能将晶圆表面均匀覆盖有光刻胶，且有效去除晶圆外边缘和底部的光刻胶，保证生产质量
2、本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种晶圆的匀胶装置，包括匀胶箱体、晶圆进料机构和晶圆出料机构，其特征在于：所述匀胶箱体的一侧设置有进料口，另一侧设置有出料口，所述匀胶箱体上设置有可升降的进料门和出料门，所述进料门和出料门分别由进料门开闭动力装置和出料门开闭动力装置驱动升降将进料口和出料口开启或关闭；晶圆进料机构用于将晶圆从进料口送入；晶圆出料机构用于将匀胶箱体内的晶圆从出料口导出；
2.如权利要求1所述的一种晶圆的匀胶装置，其特征在于：所述滴胶系统包括储胶桶和胶泵，所述胶泵包括胶泵筒身、上端盖和下端盖，所述胶泵筒身内设有储胶腔室，所述储胶桶上设有与胶泵筒身连接的进胶管和回胶管，所述胶...
【技术特征摘要】
1.一种晶圆的匀胶装置，包括匀胶箱体、晶圆进料机构和晶圆出料机构，其特征在于：所述匀胶箱体的一侧设置有进料口，另一侧设置有出料口，所述匀胶箱体上设置有可升降的进料门和出料门，所述进料门和出料门分别由进料门开闭动力装置和出料门开闭动力装置驱动升降将进料口和出料口开启或关闭；晶圆进料机构用于将晶圆从进料口送入；晶圆出料机构用于将匀胶箱体内的晶圆从出料口导出；
2.如权利要求1所述的一种晶圆的匀胶装置，其特征在于：所述滴胶系统包括储胶桶和胶泵，所述胶泵包括胶泵筒身、上端盖和下端盖，所述胶泵筒身内设有储胶腔室，所述储胶桶上设有与胶泵筒身连接的进胶管和回胶管，所述胶泵筒身上还设有出胶管，所述胶泵筒身与下端盖形成下部压力腔室，所述下部压力腔室内设有覆盖整个下部压力腔室的主压力隔膜，所述下端盖上连接有对主压力隔膜施压的主通气管，所述上端盖和胶泵筒身形成相互独立的第一压力腔室、第二压力腔室和第三压力腔室，所述进胶管和储胶腔室之间设有经过第一压力腔室的第一联通道，所述出胶管和储胶腔室之间设有经过第二压力腔室的第二联通道，所述回胶管和储胶腔室之间设有经过第三压力腔室的第三联通道，所述第一压力腔室、第二压力腔室和第三压力腔室内设有开启或封堵对应第一联通道、第二联通道和第三联通道的第一压力隔膜、第二压力隔膜和第三压力隔膜，所述上端盖上设有连通第一压力腔室、第二压力腔室和第三压力腔室的第一通气管、第二通气管和第三通气管。
3.如权利要求2所述的一种晶圆的匀胶装置，其特征在于：所述储胶腔室内设有由若干块过滤片上下叠置形成的过滤滤芯，各过滤片之间形成了安装间隙，所述过滤滤芯的中心设置有圆柱孔，所述过滤滤芯上位于圆柱孔的上端设置有上密封套，所述上密封套与储胶腔室的所述第二联通道之间密封连通，所述过滤滤芯上圆周...
【专利技术属性】
技术研发人员：牛立久，张雪奎，刘增增，黄晶晶，葛衍成，徐金鑫，
申请(专利权)人：山东华楷微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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