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本发明公开了一种晶圆的匀胶装置，匀胶箱体设置有进料口和出料口，匀胶箱体上设置有进料门和出料门；晶圆进料机构将晶圆从进料口送入；晶圆出料机构从出料口导出；匀胶箱体内固定有底板，底板上升降安装有主轴升降架，主轴升降架上转动安装有主轴，底板上设置...
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