本实用新型专利技术涉及晶圆划片机技术领域，具体涉及一种晶圆划片机表面除水装置，包括压缩空气气枪，所述压缩空气气枪与气管连通，所述气管在末端连接有不锈钢吹气管，所述不锈钢吹气管设置在设备划片舱内，所述不锈钢吹气管上的吹气孔朝向工作台方向。目的在于通过在压缩空气气枪上增加气管，并通过快速接头连接不锈钢吹气管，可以将不锈钢吹气管长期置于设备划片舱内，在使用时无需重复开启舱门将压缩空气气枪伸入，避免了额外作业成本，也避免了晶圆由于误操作而受损。于误操作而受损。于误操作而受损。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆划片机表面除水装置
[0001]本技术属于晶圆划片机
，具体涉及一种晶圆划片机表面除水装置。
技术介绍
[0002]在半导体封装工艺流程中，晶圆划片是非常重要的环节，划片进行时，需要在程序中设置自动暂停或者手动暂停划片，查看划片道的情况，是否存在偏移或者崩边较大的情况，如存在，则需要考虑停止划片，修正参数后重新进行划片。
[0003]由于在划片进行时需要使用去离子水冷却划片刀与晶圆，以及带走切屑残渣的介质，所以暂停划片后，会有大量去离子水残留在划片道上，此时，通过显微镜观察划片道情况，但由于去离子水的存在，无法清晰观察划片道的实际状况。现有的设备只能使用自带的压缩空气气枪，打开舱门，伸入到舱内，按压气枪气阀吹走晶圆表面残留在划片道内的多余水分；但是，打开舱门，并且伸入气枪这一动作既降低了作业效率，也加大了错误风险，气枪如若脱落掉落在晶圆上，会导致晶圆本身甚至划片机设备工作台都损坏的可能。
技术实现思路
[0004]本技术为了解决去离子水停留在划片道上，造成显微镜无法观有效察到划片道情况的问题，提供了一种晶圆划片机表面除水装置，该装置通过在压缩空气气枪上增加气管，并通过快速接头连接不锈钢吹气管，可以将不锈钢吹气管长期置于设备划片舱内，在使用时无需重复开启舱门将压缩空气气枪伸入，避免了额外作业成本，也避免了晶片由于误操作而受损。
[0005]本技术所采用的技术方案是：一种晶圆划片机表面除水装置，包括压缩空气气枪，所述压缩空气气枪与气管连通，所述气管上连接有不锈钢吹气管，所述不锈钢吹气管设置在设备划片舱内，所述不锈钢吹气管上的吹气孔朝向工作台方向。
[0006]优选的，所述不锈钢吹气管的长度与划片机内部划片舱的长度相匹配，所述不锈钢吹气管上设置有数个吹气孔，数个所述吹气孔沿不锈钢吹气管的长度方向均布，数个所述吹气孔并列布置。
[0007]优选的，所述压缩空气气枪与气管之间通过第一快速接头连接，所述气管与不锈钢吹气管之间通过第二快速接头连接，所述第一快速接头和所述第二快速接头均为两通快速接头。
[0008]优选的，所述不锈钢吹气管的管径为6
‑
10mm，所述不锈钢吹气管上设置的吹气孔数量为6
‑
10个，所述吹气孔的直径为1
‑
2mm。
[0009]优选的，所述吹气孔吹出气体的方向与工作台的夹角为45
‑
90
°
。
[0010]优选的，所述压缩空气气枪的出气口与气管连通，所述气管穿过设备划片舱上的气管进出孔进入到设备划片舱内；所述不锈钢吹气管设置在设备划片舱与上料舱之间的隔板上。
[0011]本技术的有益之处在于：通过末端不锈钢吹气管上均匀分布的出气孔，能够
最大程度吹走晶圆表面的多余水分，使得去离子水不会残留在划片道上，便于通过显微镜观察划片道情况；通过本技术的表面除水装置，在吹气的过程中，无须打开舱门，也无须将气枪伸入舱内，最大程度降低开舱门后气枪跌落至晶圆表面进而损毁晶圆的风险；本技术装置无需外加气源，利用气枪本身气源即可实现吹气功能，无需额外增加使用成本，且通过本技术表面除水装置的设计，随时都可以进行晶圆表面除水作业，观察划片道情况，从而保证划片作业更加精确。
附图说明
[0012]图1为本技术的结构连接原理图；
[0013]图2为不锈钢吹气管的结构示意图。
[0014]图中：1
‑
压缩空气气枪；2
‑
第一快速接头；3
‑
气管；4
‑
第二快速接头；5
‑
不锈钢吹气管；6
‑
吹气孔。
具体实施方式
[0015]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0016]如图1
‑
2所示，一种晶圆划片机表面除水装置，包括压缩空气气枪1，压缩空气气枪1的气源来自划片机的主气源，需要进行除水作业时，直接按压压缩空气气枪1上的开关即可。
[0017]所述压缩空气气枪1与气管3连通，所述气管3上连接有不锈钢吹气管5，所述不锈钢吹气管5设置在设备划片舱内，所述不锈钢吹气管5上的吹气孔6朝向工作台方向。
[0018]所述不锈钢吹气管5的长度与划片机内部划片舱的长度相匹配，所述不锈钢吹气管5上设置有数个吹气孔6，数个所述吹气孔6沿不锈钢吹气管5的长度方向均布，数个所述吹气孔6并列布置。
[0019]所述压缩空气气枪1与气管3之间通过第一快速接头2连接，所述气管3与不锈钢吹气管5之间通过第二快速接头4连接，所述第一快速接头2和所述第二快速接头4均为两通快速接头，第一快速接头2和第二快速接头4的管径均与气管3的直径相匹配。
[0020]所述不锈钢吹气管5的管径为6
‑
10mm，本实施例中优选不锈钢吹气管5的管径为8mm，所述不锈钢吹气管5上设置的吹气孔6数量为6
‑
10个，所述吹气孔6的直径为1
‑
2mm。
[0021]所述吹气孔6吹出气体的方向与工作台的夹角为45
‑
90
°
。
[0022]所述压缩空气气枪1的出气口与气管3连通，所述气管3穿过气管进出孔进入到设备划片舱内；所述不锈钢吹气管5设置在设备划片舱与上料舱之间的隔板上，以保证吹气同时不影响工作台在横向上的移动。设备划片舱与上料舱为并列排布的两个舱室，工作时，工作台从上料舱横向移动至设备划片舱内工作，设备划片舱与上料舱中间设置有分离两个舱室的隔板，所述不锈钢吹气管5即安装在此隔板上。
[0023]具体工作方式：在需要使用压缩空气吹走晶圆表面的的多余水分时，按压设备随带压缩空气气枪1的出气阀，气枪的气嘴顶部安装了晶圆划片机表面除水装置的第一快速接头2，压缩空气通过第一快速接头2经气管3管路到达划片舱内部，再次通过第二快速接头
4进入不锈钢吹气管5，不锈钢吹气管5的出气孔面向工作上的晶圆表面，此时压缩空气作用在晶圆表面，吹走多余水分。
[0024]上述实施方式是优选的实施方式，应当指出的是，上述优选实施方式不应视为对技术的限制，本技术的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术的精神和范围内，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆划片机表面除水装置，包括压缩空气气枪，其特征在于：所述压缩空气气枪(1)与气管(3)连通，所述气管(3)上连接不锈钢吹气管(5)，所述不锈钢吹气管(5)设置在设备划片舱内，所述不锈钢吹气管(5)上的吹气孔(6)朝向工作台方向。2.根据权利要求1所述的晶圆划片机表面除水装置，其特征在于：所述不锈钢吹气管(5)的长度与划片机内部划片舱的长度相匹配，所述不锈钢吹气管(5)上设置有数个吹气孔(6)，数个所述吹气孔(6)沿不锈钢吹气管(5)的长度方向均布，数个所述吹气孔(6)并列布置。3.根据权利要求2所述的晶圆划片机表面除水装置，其特征在于：所述压缩空气气枪(1)与气管(3)之间通过第一快速接头(2)连接，所述气管(3)与不锈钢吹气管(5)之间通过第二快速接头(4)连接，所述第一快速接头(2)和所述第二快速接头(...
【专利技术属性】
技术研发人员：武春风，赵天源，莫尚军，陈瑜，王文杰，刘晓，
申请(专利权)人：航天科工微电子系统研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：
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