本发明专利技术公开了一种圆裂片移膜、圆切、贴膜机构，包括移膜机构、圆切机构和贴膜机构，复合膜经移膜机构移动至圆切机构进行圆切，贴膜机构将经圆切后的圆形PE膜，移动至晶圆上方并对晶圆进行贴附。一种晶圆裂片圆切机构，在放膜机构中，在防静电驱动辊和与气涨轴连接的电磁制动器的共同作用下，使得复合膜在放膜机构中始终处于一个张紧的状态，移膜机构在工作时，保证复合膜在移动过程中始终受到上吸附装置或下移动吸盘控制，放膜机构中的驱动下压机构，能够调节贴膜机构和移膜机构之间的复合膜始终处于张紧的状态。始终处于张紧的状态。始终处于张紧的状态。
【技术实现步骤摘要】
晶圆裂片移膜、圆切、贴膜机构
[0001]本专利技术属于碳化硅晶圆裂片
，特别是涉及一种晶圆裂片移膜、圆切、贴膜机构。
技术介绍
[0002]碳化硅晶圆经过激光隐切加工，激光束聚焦在晶圆内部，对焦点位置晶圆形成瞬间高温，在晶圆内部形成一系列纵横交错的破坏层，碳化硅晶圆硬度较高无法通过扩膜方式使晶圆裂开，需要适合设备沿晶圆切割道一条一条破开，芯片表面对碎屑敏感，裂片过程中在晶圆表面贴一层PE膜，防止裂片机构的劈刀和晶圆表面直接接触，也防止劈裂过程中产生的碎屑溅污染芯片。
[0003]目前在贴膜时，用到的膜为复合膜。复合膜经过放膜机构、移膜机构、贴膜机构和圆切机构。在晶圆上贴附的膜为PE膜。切割后的PE膜的面积往往大于晶圆盘，就会造成不方便将晶圆盘放回料仓盒中。利用手工切割，将PE膜裁出一定的长度，并进行修剪。对人工操作能力要求高，劳动强度大。
技术实现思路
[0004]为解决上述技术问题，本专利技术提供一种能够对复合膜进行精密切割的晶圆裂片移膜、圆切、贴膜机构。
[0005]具体方案如下：圆裂片移膜、圆切、贴膜机构，包括移膜机构、圆切机构和贴膜机构，复合膜经移膜机构移动至圆切机构进行圆切，贴膜机构将经圆切后的圆形PE膜，移动至晶圆上方并对晶圆进行贴附。
[0006]所述移膜机构包括上下移动的上吸附装置和水平移动的下移动吸盘，下移动吸盘沿着复合膜的移动方向往复运动，使得下移动吸盘带着复合膜移动。上吸附装置和下移动吸盘不间断地控制复合膜移动。
[0007]所述上吸附装置通过可调压力式移动座由垂直伺服模组带动上下移动，下移动吸盘带动复合膜移动到切膜位，上吸附装置下移，使上吸附装置与下移动吸盘同时对复合膜吸附，切膜完成后，上吸附装置上移，下移动吸盘复位，上吸附装置下移，使得上吸附装置与下移动吸盘重新同时对复合膜进行吸附。
[0008]所述上吸附装置包括：上负压源、吸附直线轴承和固定位吸盘，上负压源设置在可调压力式移动座上，吸附直线轴承包括吸附直线轴承套和吸附直线轴承轴，吸附直线轴承套固定在可调压力式移动座顶部，吸附直线轴承轴穿过吸附直线轴承套，吸附直线轴承轴顶部设置有吸附直线轴承轴限位块，吸附直线轴承的方向和可调压力式移动座的移动方向一致；底部设置有吸盘浮动安装板，吸盘浮动安装板与可调压力式移动座之间设置有弹簧，固定位吸盘连接在吸盘浮动安装板底部，固定位吸盘通过上气道与上负压源连接。
[0009]所述圆切机构包括精密滚珠丝杠组件，滚珠丝杠组件的螺母外侧下部通过轴承旋
转固定在切割架上，滚珠丝杠组件的螺母外侧上部套接齿环，齿环与固定在圆切刀架上的螺杆移动伺服电机的输出端的第一齿轮啮合；螺杆上端部同轴固定圆柱齿轮，圆柱齿轮与固定在圆切刀架上的螺杆转动伺服电机输出端固定的第二齿轮啮合，使得滚珠丝杆组件的螺母中转动，当螺杆移动伺服电机与螺杆转动伺服电机同时转动时，使螺杆转动；螺杆下端径向固定有旋转臂，旋转臂的端部均固定有刀轮安装座，刀轮安装座端部通过摆动装置连接有刀轮。
[0010]上吸附装置还包括移动吸附辊压机构，移动吸附辊压机构包括：浮动压辊气缸、浮动板、浮动压辊门型固定座、浮动直线轴承和浮动压辊；浮动压辊气缸固定连接在可调压力式移动座上，浮动板固定在浮动压辊气缸的活塞杆末端，移动方向与可调压力式移动座的移动方向一致，在浮动板两侧均设置有浮动直线轴承，浮动直线轴承包括浮动直线轴承套和浮动直线轴承轴，浮动直线轴承套固定在浮动板上，浮动直线轴承轴穿过浮动直线轴承套，浮动直线轴承轴顶部设置有浮动直线轴承轴限位块，底部与浮动压辊门型固定座连接，浮动压辊转动连接在浮动压辊门型固定座上。浮动气缸控制浮动板上下移动，通过浮动直线轴承轴的限位块带动整个浮动压辊门型座与浮动压辊上下移动，浮动压辊对复合膜的压力为浮动压辊门型固定座和浮动压辊的重力。
[0011]所述下移动吸盘中设有下负压源，下移动吸盘顶部分为放料位与取料位，放料位与取料位顶部均均布有气孔，气孔均通过下吸附气道与下负压源连接，放料位与取料位的气孔与不同下负压源连接。
[0012]贴膜机构包括：安装在机架上的移动伺服模组、移动吸附底座和移动吸附装置，移动吸附底座安装在移动伺服模组上下移动的组件中，移动吸附装置安装在移动吸附底座上，移动吸附装置包括移动吸附直线轴承、移动吸附负压源和移动吸附固定位吸盘，移动吸附直线轴承包括移动吸附直线轴承套和移动吸附直线轴承轴，移动吸附直线轴承套固定在移动吸附底座上，移动吸附直线轴承轴穿过移动吸附直线轴承套，移动吸附直线轴承轴顶部设置有移动吸附限位块，底部连接有移动吸附固定位吸盘，移动吸附负压源通过移动吸附气道与移动吸附固定位吸盘连接。
[0013]移动吸附底座上设有辊压机构，辊压机构包括辊压气缸、辊压浮动板、辊压直线轴承、滚轴门型座和滚轴，辊压气缸固定在移动吸附底座上，辊压浮动板连接在辊压气缸活塞杆的末端；辊压直线轴承包括辊压直线轴承套和辊压直线轴承轴，辊压直线轴承套固定在辊压浮动板顶部，辊压直线轴承轴穿过辊压直线轴承套，辊压直线轴承轴顶部设有辊压限位块，底部与滚轴座连接，滚轴转动连接在滚轴门型座内；辊压气缸控制辊压浮动板上下移动，通过辊压直线轴承轴的辊压限位块带动整个滚轴门型座与滚轴上下移动，滚轴对PE膜的压力为滚轴门型固定座和滚轴的重力。
[0014]本专利技术公开了一种晶圆裂片移膜、圆切、贴膜机构，在贴膜机构中，在防静电驱动辊和与气涨轴连接的电磁制动器的共同作用下，使得复合膜在贴膜机构中始终处于一个张紧的状态，移膜机构在工作时，保证复合膜在移动过程中始终受到上吸附装置或下移动吸盘控制，贴膜机构中的驱动下压机构，能够调节贴膜机构和移膜机构之间的复合膜始终处于张紧的状态。移膜机构保证复合膜在输送过程中，始终处于张紧状态，圆切机构将PE膜切割成需要的大小，能够保证晶圆在放回料仓的时候，不会产生阻挡，切割完成后的复合膜依然稳固的处于下移动吸盘上。将圆形PE膜取走后，剩余的复合膜被下移动吸盘带动继续向
前移动，使得剩余的复合膜能够别回收机构进行复卷，有助于对剩余的复合膜进行处理。
附图说明
[0015]图1是本专利技术的结构示意图；图2是本专利技术的侧视图；图3是放卷机构的结构示意图；图4是放卷机构的俯视图；图5是驱动下压机构的结构示意图；图6是驱动下压机构的侧视图；图7是移膜机构的结构示意图；图8是移膜机构的侧视图；图9是上吸附装置的结构示意图；图10是上吸附装置的侧视图图；图11是上吸附装置的实施例一的仰视图；图12是上吸附装置的实施例二的仰视图；图13是下移动吸盘的实施例一俯视图；图14是下移动吸盘的实施例二俯视图；图15是贴膜机构的结构示意图；图16是圆切机构的结构示意图；图17是图16的A放大图；图18是图16的俯视图。
[0016]100、放膜机构，110、放膜固定架，120、放膜辊系，121、防静电驱动辊，1211、电磁制动器，122、第一从动换向辊，123,、第二从动换向辊，124、气涨轴，130、驱动下压机构，131、下压气缸座，132，驱动下压本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.晶圆裂片移膜、圆切、贴膜机构，包括移膜机构、圆切机构和贴膜机构，其特征在于，复合膜经移膜机构移动至圆切机构进行圆切，贴膜机构将经圆切后的圆形PE膜，移动至晶圆上方并对晶圆进行贴附。2.根据权利要求1所述的晶圆裂片移膜、圆切、贴膜机构，其特征在于，所述移膜机构包括上下移动的上吸附装置和水平移动的下移动吸盘，下移动吸盘沿着复合膜的移动方向往复运动，使得下移动吸盘带着复合膜移动，上吸附装置和下移动吸盘不间断地控制复合膜移动。3.根据权利要求2所述的晶圆裂片移膜、圆切、贴膜机构，其特征在于，所述上吸附装置通过可调压力式移动座由垂直伺服模组带动上下移动，下移动吸盘带动复合膜移动到切膜位，上吸附装置下移，使上吸附装置与下移动吸盘同时对复合膜吸附，切膜完成后，上吸附装置上移，下移动吸盘复位，上吸附装置下移，使得上吸附装置与下移动吸盘重新同时对复合膜进行吸附。4.根据权利要求3所述的晶圆裂片移膜、圆切、贴膜机构，其特征在于，所述上吸附装置包括：上负压源、吸附直线轴承和固定位吸盘，上负压源设置在可调压力式移动座上，吸附直线轴承包括吸附直线轴承套和吸附直线轴承轴，吸附直线轴承套固定在可调压力式移动座顶部，吸附直线轴承轴穿过吸附直线轴承套，吸附直线轴承轴顶部设置有吸附直线轴承轴限位块，吸附直线轴承的方向和可调压力式移动座的移动方向一致；底部设置有吸盘浮动安装板，吸盘浮动安装板与可调压力式移动座之间设置有弹簧，固定位吸盘连接在吸盘浮动安装板底部，固定位吸盘通过上气道与上负压源连接。5.根据权利要求4所述的晶圆裂片移膜、圆切、贴膜机构，其特征在于，所述圆切机构包括精密滚珠丝杠组件，滚珠丝杠组件的螺母外侧下部通过轴承旋转固定在切割架上，滚珠丝杠组件的螺母外侧上部套接齿环，齿环与固定在圆切刀架上的螺杆移动伺服电机的输出端的第一齿轮啮合；螺杆上端部同轴固定圆柱齿轮，圆柱齿轮与固定在圆切刀架上的螺杆转动伺服电机输出端固定的第二齿轮啮合，使得滚珠丝杆组件的螺母中转动，当螺杆移动伺服电机与螺杆转动伺服电机同时转动时，使螺杆转动；螺杆下端径向固定有旋转臂，旋转臂的端部均固定有刀轮安装座，刀轮安装座端部通过摆动装置连接有刀轮。6.根据权利要求5所述的晶圆裂片移膜、圆切、贴膜机构，其特征在于，上吸附装置还包括移动吸附辊压机构，移动吸附辊压机构包括：浮动压辊气缸、浮动板、浮动压辊...
【专利技术属性】
技术研发人员：闫兴，陶为银，巩铁建，蔡正道，乔赛赛，张伟，鲍占林，王鹏，杜磊，
申请(专利权)人：河南通用智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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