本申请提供了一种发光二极管驱动装置和检测装置，通过非接触方式实现晶圆上巨量发光二极管的驱动与检测，不仅提高了驱动与检测的效率和精度，且避免对发光二极管的焊盘或表面造成损坏。驱动装置可以包括电源、第一极板和第二极板。电源的第一端连接第一极板，电源的第二端连接第二极板，第一极板和第二极板平行设置，第一极板与晶圆之间具有预设的距离，第二极板与晶圆接触，用于放置晶圆。用于放置晶圆。用于放置晶圆。
【技术实现步骤摘要】
发光二极管驱动装置和检测装置
[0001]本申请涉及半导体
，更具体地，涉及一种发光二极管驱动装置和检测装置。
技术介绍
[0002]随着科技的飞速发展，发光二极管(light emitting diode，LED)已广泛应用于手机、平板电脑等电子设备的显示屏幕上。巨量(如百万个)发光二极管可以集成于同一个晶圆上，在巨量转移之前，需要对发光二极管进行巨量检测。
[0003]相关技术通常用探针与发光二极管的电极(即正极和负极)接触，并通过电源提供直流电以实现发光二极管的驱动与检测。但是，通过探针的接触方式驱动与检测往往效率非常低，且一旦探针损伤，不仅会影响驱动与检测精度，也会损坏发光二极管的焊盘或表面。
[0004]因此，需要一种能够提高效率和精度，且不会对发光二极管的焊盘或表面造成损坏的技术方案。
技术实现思路
[0005]本申请提供了一种发光二极管驱动装置和检测装置，集成有发光二极管的晶圆放置于第二极板，且与第一极板之间具有预设的距离(即晶圆与第一极板不接触)，通过非接触方式实现晶圆上巨量发光二极管的驱动与检测，不仅提高了驱动与检测的效率和精度，且避免对发光二极管的焊盘或表面造成损坏。
[0006]第一方面，本申请提供了一种发光二极管驱动装置，发光二极管可以集成于晶圆上，驱动装置可以包括电源、第一极板和第二极板。
[0007]其中，电源的第一端(可以为正极端)可以连接第一极板，电源的第二端(可以为负极端)可以连接第二极板，第一极板和第二极板可以平行设置，第一极板与晶圆之间可以具有预设的距离(即第一极板与晶圆不接触)，第二极板与晶圆可以接触，第二极板用于放置晶圆。
[0008]可以想到的是，电源可以通过正极端和负极端提供高压(如20kV)直流电(可以为高压脉冲等)。加在第一极板和第二极板上的直流电可以使第一极板和第二极板之间可以形成电离场，被电离场激发的电子可以注入到晶圆上每个发光二极管的有源发光层，使晶圆上的每个发光二极管发光(即点亮每个发光二极管)，也就是实现了每个发光二极管的驱动。
[0009]可以看出，本申请提供的驱动装置通过加在两个极板上的直流电形成电离场，并激发电致发光(electro luminescent，EL)，最终实现发光二极管的驱动。
[0010]本申请提供的技术方案中，第二极板与晶圆接触，且第一极板与晶圆不接触，通过非接触方式实现晶圆上巨量发光二极管的驱动，不仅提高了驱动效率和驱动精度(即提高了巨量发光二极管的可靠驱动)，且非接触方式驱动避免对发光二极管的焊盘或表面造成
损坏，保护了发光二极管。
[0011]在一种可能的实现方式中，第一极板可以为呈回字形的中空扁平结构。
[0012]可选地，第一极板的中空部分可以位于第一极板的中心位置。中空部分可以使第一极板整体可以呈回字形开窗结构。
[0013]示例性的，第一极板在与第二极板平行方向上的截面可以为长方形、正方形等，本申请不做限定。
[0014]进一步地，第一极板的多个边缘中相邻两个边缘的连接处设有倒角。可以想到的是，倒角可以防止第一极板产生尖端放电，提高了驱动装置的安全性。
[0015]在一种可能的实现方式中，第二极板的形状可以与晶圆的形状相同。
[0016]可选地，第二极板和晶圆可以都为圆形。当然，第二极板和晶圆可以分别为除圆形以外的其他形状，本申请不做限定。
[0017]进一步地，为了实现晶圆上所有发光二级管的可靠驱动，第二极板的尺寸可以大于晶圆的尺寸。
[0018]可以理解的，第二极板的形状与晶圆的形状可以不是绝对的相同。
[0019]例如，第二极板和晶圆可以都为正方形等，只要第二极板的尺寸大于晶圆的尺寸即可。
[0020]还例如，第二极板可以为正方形，晶圆可以为圆形，只要第二极板的边长大于晶圆的直径即可。
[0021]在一种可能的实现方式中，第二极板的第一表面(用于指示第二极板接触晶圆的表面)电镀有金属层(可以采用铜、金、银等金属材质)。
[0022]可选地，为了增加电子的逸出数量，也就是使更多的电子逸出，金属层可以覆盖第一表面的全部区域。
[0023]进一步地，金属层覆盖有绝缘层，且绝缘层覆盖金属层的全部区域。
[0024]可以理解的，绝缘层可以降低电子的逸出速度，避免空气击穿导致空气拉弧，提高了安全性，且增加第二极板上表面的绝缘性，防止第二极板的尖端放电。
[0025]可以看出，通过在第二极板的上表面设置金属层和绝缘层，不仅能保证电子的逸出数量，实现电子的可靠逸出，且提高第一极板与第二极板之间电离场的稳定性和均匀性。
[0026]更进一步地，第二极板的第二表面(指示第二极板背离晶圆的表面)可以与电源的第二端连接，实现第二极板的背面出线。背面出线可以提高第二极板的绝缘性，并增加电离场的均匀性。
[0027]在一种可能的实现方式中，第一极板和第二极板可以分别采用金属材质(如铜、铝等)。当然，第一极板和第二极板还可以采用除铜和铝以外的其他金属材质，本申请不做限定。
[0028]需要说明的是，第一极板和第二极板所采用的金属材质可以相同，也可以不同。
[0029]在一种可能的实现方式中，本申请提供的驱动装置还可以包括第一固定件，第一固定件可以用于固定第一极板。
[0030]需要说明的是，为了保证第一极板和极板第二之间形成稳定且均匀的电离场，第一固定件固定第一极板的一侧需要靠近第二极板，第一固定件的另一侧可以背离第二极板。
[0031]在另一种可能的实现方式中，本申请提供的驱动装置还可以包括第二固定件，第二固定件可以用于固定第二极板。
[0032]可选地，第一固定件和第二固定件可以分别采用绝缘材质(如玻璃纤维或者赛钢等)。
[0033]在一种可能的实现方式中，电源可以为脉冲发生器。脉冲发生器可以控制高压脉冲的上升沿，以避免空气因击穿而产生拉弧，提高了驱动装置的可靠性。
[0034]第二方面，本申请提供了一种发光二极管检测装置，可以包括检测平台、捕获设备和上述第一方面及其可能的实现方式提供的驱动装置。捕获设备和检测装置可以分别与检测平台连接。
[0035]可选地，检测平台可以用于：固定捕获设备和驱动装置。
[0036]可以理解的，检测平台是通过固定第一固定件和第二固定件实现对驱动装置的整体固定。
[0037]驱动装置可以用于：驱动晶圆上的每个发光二极管。
[0038]捕获设备可以用于：获取发光二极管的信息。
[0039]本申请提供的检测装置可以通过驱动装置实现晶圆上每个发光二极管的可靠驱动，提高了检测效率和检测精度，且非接触方式驱动和检测可以避免对发光二极管的焊盘或表面造成损坏，保护了发光二极管。
[0040]可选地，发光二极管的信息包括位置信息(可以用坐标信息指示)、亮度信息和光谱信息(可以包括波长和半峰宽等)中的至少一项。
[0041]可以想到本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种发光二极管驱动装置，其特征在于，发光二极管集成于晶圆上；所述驱动装置包括电源、第一极板和第二极板；所述电源的第一端连接所述第一极板，所述电源的第二端连接所述第二极板，所述第一极板和所述第二极板平行设置，所述第一极板与所述晶圆之间具有预设的距离，所述第二极板与所述晶圆接触，用于放置所述晶圆。2.根据权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，所述第一极板为呈回字形的中空扁平结构。3.根据权利要求2所述的驱动装置，其特征在于，所述第一极板的多个边缘中相邻两个边缘的连接处设有倒角。4.根据权利要求1至3中任一项所述的驱动装置，其特征在于，所述第二极板的形状与所述晶圆的形状相同，且所述第二极板的尺寸大于所述晶圆的尺寸。5.根据权利要求1至4中任一项所述的驱动装置，其特征在于，所述第二极板的第一表面电镀有金属层，所述金属层覆盖所述第一表面的全部区域；所述第一表面用于指示所述第二极板接触所述晶圆的表面。6.根据权利要求5所述的驱动装置，其特征在于，所述金属层覆盖有绝缘层，且所述绝缘层覆盖所述金属层的全部区域。7.根据权利要求5或6所述的驱动装置，其特征在于，所述第二极板的第二表面与所述电源的第二端连接，...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄志臻，孙成，杨德操，华志强，
申请(专利权)人：华为技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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