一种MOCVD尾气净化处理装置的内外燃烧结构制造方法及图纸

本申请涉及一种MOCVD尾气净化处理装置的内外燃烧结构，涉及废气处理技术领域，为了解决氨气分解时易产生氮氧化合物的问题，其包括外壳，所述外壳内设置有内壳；所述外壳与内壳之间形成第一腔体，所述第一腔体内设置为无氧气环境，所述内壳内部形成为第二腔体；所述外壳外侧壁上设置有进气管，所述进气管与第一腔体连通，所述外壳底壁连通设置有出气管；所述外壳顶壁还设置有加气管，所述加气管穿过外壳与第二腔体连通；所述外壳下方设置有重水箱，所述内壳上连通设置有出水管，所述出水管穿过外壳壳壁与重水箱连通；所述外壳上还设置有加热装置。本申请具有减少氨气分解时产生的氮氧化合物的效果。化合物的效果。化合物的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种MOCVD尾气净化处理装置的内外燃烧结构


[0001]本申请涉及废气处理
，尤其是涉及一种MOCVD尾气净化处理装置的内外燃烧结构。

技术介绍

[0002]电子设备的工业生产中，经常会大量使用氨气对芯片进行喷洗，而使用过后的氨气由于浓度较高，不能直接排放，从而需对其进行处理。
[0003]相关技术中对于氨气的处理方法，是通过在密闭空间内直接加热点燃氨气，令氨气在高温下燃烧分解，分解后产生氮气和水，由于氮气和水均为无毒化合物，即可对氮气和水进行排放。
[0004]针对上述中的相关技术，专利技术人认为氨气燃烧分解时，易产生氮氧化合物，氮氧化合物为有害气体，排放后易被人体吸入对人体健康造成危害。

技术实现思路

[0005]为了减少氨气分解时产生的氮氧化合物，本申请提供一种MOCVD尾气净化处理装置的内外燃烧结构。
[0006]本申请提供的一种MOCVD尾气净化处理装置的内外燃烧结构采用如下的技术方案：
[0007]一种MOCVD尾气净化处理装置的内外燃烧结构，包括外壳，所述外壳内设置有内壳；所述外本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MOCVD尾气净化处理装置的内外燃烧结构，其特征在于：包括外壳(1)，所述外壳(1)内设置有内壳(2)；所述外壳(1)与内壳(2)之间形成第一腔体(11)，所述第一腔体(11)内设置为无氧气环境，所述内壳(2)内部形成为第二腔体(21)；所述外壳(1)外侧壁上设置有进气管(12)，所述进气管(12)与第一腔体(11)连通，所述外壳(1)底壁连通设置有出气管(13)；所述外壳(1)顶壁还设置有加气管(22)，所述加气管(22)穿过外壳(1)伸入第二腔体(21)；所述外壳(1)下方设置有重水箱(3)，所述内壳(2)上连通设置有出水管(31)，所述出水管(31)穿过外壳(1)壳壁与重水箱(3)连通；所述第一腔体(11)内设置有加热装置(14)。2.根据权利要求1所述的一种MOCVD尾气净化处理装置的内外燃烧结构，其特征在于：所述进气管(12)连通设置在外壳(1)底壁上。3.根据权利要求1所述的一种MOCVD尾气净化处理装置的内外燃烧结构，其特征在于：所述加热装置(14)对第一腔体(11)内加热的温度范围为900度
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950度。4.根据权利要求3所述的一种MOCVD尾气净化处理装置的内外燃烧...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈逵，金大正，周育呈，
申请(专利权)人：常州诚鉺正环保技术有限公司，
类型：新型
国别省市：