一种适用于尾气处理设备的导流装置制造方法及图纸

本申请涉及一种适用于尾气处理设备的导流装置，属于尾气处理技术领域，其包括尾气通入管

【技术实现步骤摘要】
一种适用于尾气处理设备的导流装置


[0001]本申请涉及尾气处理
，尤其是涉及一种适用于尾气处理设备的导流装置
。

技术介绍

[0002]EPI
外延工艺即硅外延工艺，是指在适合的晶体底层上使单个晶体半导体薄膜生长
。
在硅外延工艺过程中，会使用到大量
TCS(
化学式为
SiHCl3)、HCl、H2
和
ppm
浓度级别的
PH3
或
B2H6
等气体，工艺实际反应率
<20
％，大量的
TCS
气体会被作为工艺尾气排出，这些有毒有害气体必须经过合适的尾气处理并处理达标后才能排入大气
。
[0003]相关技术中，尾气处理设备包括进气装置和反应装置，反应装置包括第一水解箱
、
第二水解箱和第三水解箱，第一水解箱
、
第二水解箱和第三水解箱三者底部均连通
。
第一水解箱底部连通有回水管，使反应装置内充满水，尾气通过进气装置首先由底部进入第一水解箱内发生反应，由于
TCS
与水反应生成
SiO2
颗粒结晶物和
HCl
气体等，
HCl
能溶于水被有效吸收处理，
SiO2
颗粒结晶物在第一水解箱内形成悬浮液；第二水解箱内设有喷淋管，剩余气体逐渐上升通过顶部进入第二水解箱内，尾气进入后重复反应，而后剩余尾气继续移动进入第三水解箱内
。
[0004]上述相关技术中，尾气通过顶部进入第二水解箱内，并在进入第二水解箱后发生反应后，使得第二水解箱内产生悬浮液，当第二水解箱内的喷淋管向下喷水时，带动水中的
SiO2
颗粒结晶物向下移动，由于第一水解箱
、
第二水解箱和第三水解箱三者底部均连通，悬浊液较易倒流至第一水解箱内并堵塞回水管，导致反应装置内水循环受阻，进而导致尾气处理设备使用较易产生故障
。

技术实现思路

[0005]为了改善悬浊液倒流至第一水解箱内并堵塞回水管的问题，本申请提供一种适用于尾气处理设备的导流装置
。
[0006]本申请提供的一种适用于尾气处理设备的导流装置采用如下的技术方案：
[0007]一种适用于尾气处理设备的导流装置，包括：
[0008]水解组件，所述水解组件包括第一水解箱
、
第二水解箱和第三水解箱，所述第一水解箱
、
第二水解箱和第三水解箱依次连通，所述第一水解箱上连通有回水管；
[0009]尾气通入管，所述尾气通入管与第一水解箱连通；
[0010]喷淋管，所述喷淋管设于第二水解箱的箱顶壁上，所述喷淋管为文丘里管；
[0011]导向组件，所述导向组件设于第二水解箱底部，所述导向组件用于将第二水解箱内的悬浊液引导至第三水解箱内
。
[0012]通过采用上述技术方案，尾气通过尾气通入管首先进入第一水解箱内，经过反应后产生二氧化硅粉末，剩余尾气进入第二水解箱内继续发生反应，由于喷淋管为文丘里管，当喷淋管向外喷淋时周围形成高速负压，使得水流裹挟二氧化硅粉末迅速流动至第二水解
箱底部，降低二氧化硅粉末沾附于第二水解箱箱壁的可能；而后在导向组件的导向作用下，进入第三水解箱内，降低二氧化硅粉末回流至第一水解箱内的可能性，进而降低堵塞回水管的可能性，提高设备运行流畅程度，进而延长设备使用寿命
。
[0013]优选的，所述导向组件包括承接管，所述承接管设于第二水解箱的底部，所述承接管内始终承装有水，所述承接管与喷淋管连通
。
[0014]通过采用上述技术方案，喷淋管内的水流朝向承接管喷涌时，携带二氧化硅粉末同步朝向承接管下落，由于承接管内始终有水，下落时可作为缓冲，减少喷淋出的水流以及二氧化硅粉末四处喷溅的可能性
。
[0015]优选的，所述承接管的侧壁开设有溢流孔
。
[0016]通过采用上述技术方案，进入到承接管内的水以及二氧化硅粉末通过溢流孔排出，使得承接管内不易存积过多的二氧化硅粉末，延长承接管的使用寿命
。
[0017]优选的，所述导向组件还包括导流板，所述导流板设于承接管侧壁且位于溢流孔的孔壁一侧，所述导流板呈弧形，所述导流板的弧面朝向第三水解箱的一侧
。
[0018]通过采用上述技术方案，二氧化硅粉末和水形成的悬浊液在导流板的引导作用下，朝向第三水解箱的一侧移动，降低悬浊液回流至第一水解箱的可能性，进而降低悬浊液堵塞回水管的可能性，提高设备使用稳定性，进而延长设备使用寿命
。
[0019]优选的，所述第一水解箱底部设有阻挡板，所述阻挡板设于回水管管口一周，所述阻挡板上开设有若干阻挡通孔
。
[0020]通过采用上述技术方案，若仍有部分悬浊液回流至第一水解箱内，阻挡板的设置可进一步对二氧化硅粉末进行阻挡，进一步降低对回水管造成堵塞的可能性；同时阻挡通孔的开设有利于第一水解箱内的水回流
。
[0021]优选的，所述第二水解箱内设有连接板，所述连接板将第二水解箱分为喷淋箱体和水解箱体，所述喷淋管设于喷淋箱体的箱壁，所述喷淋箱体上开设有供尾气移动的尾气通孔，所述连接板上开设有连通孔，所述连通孔与喷淋管以及承接管均连通
。
[0022]通过采用上述技术方案，尾气通过尾气通孔从第一水解箱进入喷淋箱体内，由于设备运行时，喷淋箱体内始终有水，当喷淋管高速向下喷淋时，使得尾气与水反应迅速产生大量二氧化硅粉末，连通孔的开设，有利于水流裹挟二氧化硅粉末集中且快速进入水解箱体内
。
[0023]优选的，所述连接板上设有连通管，所述连通管的一端与喷淋管连通，另一端伸入所述连通孔内且与承接管连通
。
[0024]通过采用上述技术方案，连通管的设置，当喷淋管喷淋时，使其周围形成负压，更加便于二氧化硅悬浊液快速通过，并移动至水解箱体内，缩短二氧化硅粉末在喷淋箱体内的存留时长，降低二氧化硅粉末在喷淋箱体内堆积的可能
。
[0025]优选的，所述第二水解箱的箱壁上开设有检修孔，所述第二水解箱的箱壁上可拆卸连接有封闭板，所述封闭板用于封闭检修孔
。
[0026]通过采用上述技术方案，使用一段时间后，承接管内壁若沾附有二氧化硅粉末，则可将封闭板与第二水解箱分离，操作人员通过检修孔对承接管内沾附甚至堆积的二氧化硅粉末进行清理，有利于保障设备运行流畅性，延长设备使用寿命
。
[0027]综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
[0028]1.
尾气通过尾气通入管首先进入第一水解箱内，经过反应后产生二氧化硅粉末，剩余尾气进入第二水解箱内，喷淋管持续喷淋，第二水解箱内的水处于翻腾状态，使得二氧化硅粉末与水形成悬浮液，降低二氧化硅粉末沾附于第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种适用于尾气处理设备的导流装置，其特征在于，包括：水解组件
(7)
，所述水解组件
(7)
包括第一水解箱
(1)、
第二水解箱
(2)
和第三水解箱
(3)
，所述第一水解箱
(1)、
第二水解箱
(2)
和第三水解箱
(3)
依次连通，所述第一水解箱
(1)
上连通有回水管
(12)
；尾气通入管
(11)
，所述尾气通入管
(11)
与第一水解箱
(1)
连通；喷淋管
(221)
，所述喷淋管
(221)
设于第二水解箱
(2)
的箱顶壁上，所述喷淋管
(221)
为文丘里管；导向组件
(4)
，所述导向组件
(4)
设于第二水解箱
(2)
底部，所述导向组件
(4)
用于将第二水解箱
(2)
内的悬浊液引导至第三水解箱
(3)
内
。2.
根据权利要求1所述的一种适用于尾气处理设备的导流装置，其特征在于：所述导向组件
(4)
包括承接管
(41)
，所述承接管
(41)
设于第二水解箱
(2)
的底部，所述承接管
(41)
内承装有水，所述承接管
(41)
与喷淋管
(221)
连通
。3.
根据权利要求2所述的一种适用于尾气处理设备的导流装置，其特征在于：所述承接管
(41)
的侧壁开设有溢流孔
(42)。4.
根据权利要求3所述的一种适用于尾气处理设备的导流装置，其特征在于：所述导向组件
(4)
还包括导流板
(43)
，所述导流板
(43)
设于承接管
(41)
侧壁且位于溢流孔
(42)
的孔壁一侧，所述导流...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈逵，金大正，
申请(专利权)人：常州诚鉺正环保技术有限公司，
类型：新型
国别省市：