一种适用于尾气处理设备的水解装置制造方法及图纸

本申请涉及一种适用于尾气处理设备的水解装置，属于尾气处理技术领域，其包括尾气通入管和水解组件，水解组件包括水解箱

【技术实现步骤摘要】
一种适用于尾气处理设备的水解装置


[0001]本申请涉及尾气处理
，尤其是涉及一种适用于尾气处理设备的水解装置
。

技术介绍

[0002]EPI
外延工艺即硅外延工艺，是指在适合的晶体底层上使单个晶体半导体薄膜生长
。
在硅外延工艺过程中，会使用到大量
TCS(
化学式为
SiHCl3)、HCl、H2
和
ppm
浓度级别的
PH3
或
B2H6
等气体，工艺实际反应率
<20
％，大量的
TCS
气体会被作为工艺尾气排出，这些有毒有害气体必须经过合适的尾气处理并处理达标后才能排入大气
。
[0003]相关技术中，尾气处理设备包括进气管和水解箱，进气管的一端与水解箱的顶部连通，尾气经过进气管进入水解箱内，由于
TCS
与水反应生成
SiO2
颗粒结晶物和
HCl
气体等，
HCl
能溶于水被有效吸收处理，
SiO2
颗粒结晶物在水解箱内形成悬浮液
。
[0004]上述相关技术中，
TCS
与水反应生成的
SiO2
颗粒结晶物较易沾附于水解箱内壁，长时间使用后易造成粉末堆积，进而对尾气处理设备的正常运行造成影响，导致对尾气处理效果不佳
。

技术实现思路

[0005]为了改善
SiO2/>颗粒结晶物较易沾附于水解箱内壁，进而造成堆积的问题，本申请提供一种适用于尾气处理设备的水解装置
。
[0006]本申请提供的一种适用于尾气处理设备的水解装置采用如下的技术方案：
[0007]一种适用于尾气处理设备的水解装置，包括：
[0008]尾气通入管；
[0009]水解组件，所述水解组件包括水解箱
、
连接板
、
连通管和喷淋管，所述连接板活动设于水解箱内，所述连接板将水解箱分为水解箱体和喷淋箱体，所述尾气通入管与喷淋箱体连通，所述喷淋管设于喷淋箱体内顶壁，所述喷淋管为文丘里管，所述连通管设于连接板上且与第二箱体连通，所述喷淋管与连通管连通
。
[0010]通过采用上述技术方案，当尾气通过尾气通入管进入喷淋箱体内，尾气立即与水发生反应，即产生二氧化硅粉末，由于喷淋管为文丘里管，当喷淋管向外喷淋时，周围形成高速负压，使得水流裹挟二氧化硅粉末迅速通过连通管，并进入水解箱体内进行下一步水解处理，缩短大量二氧化硅粉末在喷淋箱体内的停留时长，降低二氧化硅粉末沾附于箱内壁的可能性，减少二氧化硅粉末在喷淋箱体内的残留，降低由于二氧化硅粉末堆积，进而导致对尾气的处理效果不佳的情况，提高尾气处理设备运行的流畅程度，同时延长尾气处理设备的使用寿命
。
[0011]优选的，还包括储水管和补水管，所述储水管设于连接板上且位于喷淋箱体内，所述储水管的管壁一周开设有若干翻腾孔，所述储水管内与喷淋箱体通过翻腾孔连通，所述补水管用于向储水管内补水
。
[0012]通过采用上述技术方案，设备在运行时水解箱内始终有水，同时补水管持续向储水管内进行补水，进入到储水管内的水流通过翻腾孔向喷淋箱体内溢出，使喷淋箱体内的水流始终处于翻腾状态，便于使产生的二氧化硅粉末与水形成悬浊液，降低二氧化硅粉末沾附于喷淋箱体内壁的可能性，进而减少二氧化硅粉末在喷淋箱体内堆积
。
[0013]优选的，所述储水管内活动设置有分隔板，所述补水管与储水管连通，所述分隔板上开设有若干补水孔，所述储水管内壁
、
连通管以及分隔板之间形成有补水空腔，所述翻腾孔与补水空腔连通
。
[0014]通过采用上述技术方案，补水管内的水进入储水管后，通过补水孔进入补水空腔内，补水空腔内的水与尾气发生发应后产生二氧化硅粉末，在分隔板的阻挡下留存于补水空腔内，降低二氧化硅粉末无规则外溢的可能
。
[0015]优选的，所述分隔板内设有连接环，所述连通管外壁与连接环内壁螺纹连接，所述连接板上开设有连通孔，所述连通管的端部位于连通孔内
。
[0016]通过采用上述技术方案，连通管的端部位于连通孔内，使得喷淋管喷出的水流裹挟尾气进入喷淋箱体后，快速产生的大量二氧化硅粉末迅速通过连通管直接进入水解箱体内，降低大量二氧化硅粉末进入补水空腔的可能性；连通管与连接环螺纹连接，便于操作人员及时调节连通管伸入连通孔内的长度，进而调节连通管与连通孔之间的相对位置
。
[0017]优选的，所述连接板上还开设有加强孔，所述加强孔与补水空腔连通，所述加强孔与水解箱体连通
。
[0018]通过采用上述技术方案，进入到补水空腔内的水流可通过加强孔流入水解箱体内，并携带产生的二氧化硅粉末同步流入水解箱体内，降低补水空腔内二氧化硅粉末的残留
。
[0019]优选的，所述连通管外壁设有封堵板，所述封堵板位于补水空腔内且用于封堵加强孔
。
[0020]通过采用上述技术方案，设备开始运行时，封堵板封堵加强孔，补水空腔与水解箱体之间处于隔断状态；补水管通过补水孔持续向补水空腔内补充水流，其中一部分通过翻腾孔外溢，另一部分留存于补水空腔内，补水空腔内的水逐渐增多，在浮力作用下，分隔板
、
连通管以及封堵板上升移动，使得加强孔与补水空腔以及水解箱体均连通，此时由于水解箱内的负压环境，补水空腔内的水以及产生的二氧化硅粉末快速通过加强孔流入水解箱体内，降低二氧化硅粉末在补水空腔内的存留，降低二氧化硅粉末堵塞补水孔
、
翻腾孔以及加强孔的可能性，提设备运行的流畅程度
。
[0021]优选的，所述储水管内壁还设有限位块，当分隔板上升移动时，所述限位块与分隔板的板面相抵
。
[0022]通过采用上述技术方案，补水空腔的水位逐渐上升，使得分隔板携带连通管以及封堵板同步上升，但为了使连通管与连通孔不至于脱离，当分隔板移动至与限位块抵接时即停止上升，此时，既可以实现加强孔的连通，又可以保障连通管与连通孔的孔壁之间的相对位置稳定性，便于连通管和封堵板复位
。
[0023]优选的，所述水解箱内壁固定连接有支撑板，所述连接板的板面与支撑板的板面相抵
。
[0024]通过采用上述技术方案，支撑板依靠自身支撑力支撑连接板，使连接板与水解箱
实现活动连接，当操作人员对箱内零件检修或进行更换时，便于操作移动
。
[0025]综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
[0026]1.
当尾气通过尾气通入管进入喷淋箱体内，尾气立即与水发生反应，即产生二氧化硅粉末，由于喷淋管为文丘里管，当喷淋管向外喷淋时，周围形成高速负压，使得水流裹挟二氧化硅粉末迅速通过连通管，并进入水解箱体内进行下一步水本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种适用于尾气处理设备的水解装置，其特征在于，包括：尾气通入管
(1)
；水解组件
(2)
，所述水解组件
(2)
包括水解箱
(3)、
连接板
(5)、
连通管
(6)
和喷淋管
(4)
，所述连接板
(5)
活动设于水解箱
(3)
内，所述连接板
(5)
将水解箱
(3)
分为水解箱体
(32)
和喷淋箱体
(31)
，所述尾气通入管
(1)
与喷淋箱体
(31)
连通，所述喷淋管
(4)
设于喷淋箱体
(31)
内顶壁，所述喷淋管
(4)
为文丘里管，所述连通管
(6)
设于连接板
(5)
上且与水解箱体
(32)
连通，所述喷淋管
(4)
与连通管
(6)
连通
。2.
根据权利要求1所述的一种适用于尾气处理设备的水解装置，其特征在于：还包括储水管
(7)
和补水管
(8)
，所述储水管
(7)
设于连接板
(5)
上且位于喷淋箱体
(31)
内，所述储水管
(7)
的管壁一周开设有若干翻腾孔
(71)
，所述储水管
(7)
与喷淋箱体
(31)
通过翻腾孔
(71)
连通，所述补水管
(8)
用于向储水管
(7)
内补水
。3.
根据权利要求2所述的一种适用于尾气处理设备的水解装置，其特征在于：所述储水管
(7)
内活动设置有分隔板
(72)
，所述补水管
(8)
与储水管
(7)
连通，所述分隔板
(72)
上开设有若干补水孔
(721)

【专利技术属性】
技术研发人员：陈逵，金大正，
申请(专利权)人：常州诚鉺正环保技术有限公司，
类型：新型
国别省市：