本申请涉及吸附剂技术领域，具体公开了一种含有碱式碳酸铜的砷烷磷烷特气吸附剂及其制备方法。所述含有碱式碳酸铜的砷烷磷烷特气吸附剂由混合料经过挤出造粒和干燥后得到，所述混合料由A料和B料混合而成；所述A料的组分包括纳米碱式碳酸铜和活性氧化铝...

本申请涉及一种EPI工艺用可燃气体燃烧处理前置净化设备，属于尾气处理技术领域，其包括机架、分离组件和进料组件，分离组件设于机架内，分离组件包括水解箱和分离箱，水解箱内设有清水,且水解箱与分离箱二者连通，分离箱上设有输送管，输送管用于排出...

本申请涉及一种具有气幕结构的

本申请涉及一种适用于尾气处理设备的水解装置，属于尾气处理技术领域，其包括尾气通入管和水解组件，水解组件包括水解箱

本申请涉及一种适用于尾气处理设备的导流装置，属于尾气处理技术领域，其包括尾气通入管

本申请涉及一种具有冲洗结构的尾气处理设备，属于尾气处理领域，其包括机架

本申请涉及一种EPI外延工艺燃烧一体化尾气净化处理设备，属于尾气净化技术领域，其包括进料管、冲洗组件、水解箱、水解喷淋组件、加热塔、冷却水箱和冷却塔，进料管用于通入尾气，冲洗组件用于对管内壁进行冲洗；进料管与水解箱连通，水解箱内设有清水...

本申请涉及一种EPI外延工艺用尾气净化设备，属于硅外延工艺技术领域，其包括机架、一级水解箱、第一出水管、回水管、进料管、连接管和冲洗组件，机架上设有循环泵；一级水解箱内充满清水，一级水解箱上连通有出气管，净化后的尾气通过出气管排出；第一...

本申请涉及一种碳化硅外延工艺尾气处理设备用循环换热系统，属于尾气处理领域，其包括设置在机架上并与燃烧箱体体和喷淋箱体相连通的循环水箱，机架上设有循环换热组件，循环换热组件包括循环件和换热件，换热件设置在机架上，循环件的一端与换热件相连通...

本申请涉及一种碳化硅外延工艺尾气处理设备用预热点火装置，属于碳化硅外延工艺领域，其包括预热炉和燃烧炉，所述燃烧炉设置于所述预热炉底部并与预热炉相连通，所述预热炉与所述燃烧炉的连接处设置有点火组件；所述预热炉内设置有温控机构，所述温控机构...

本申请涉及一种EPI外延工艺尾气处理设备用管道清理装置，属于硅外延设备的领域，其包括进料管、反应管和水解箱，进料管供三氯硅烷进入，进料管与反应管连通，反应管与水解箱连通，水解箱上设有出料管和出气管，出料管供二氧化硅粉末排出，出气管供氢气...

本申请涉及碳化硅外延工艺尾气处理设备用旋流溢流气体降温装置，其包括外筒以及内筒，内筒位于外筒内，内筒的外筒壁与外筒的内筒壁围设出空腔，外筒上设置有进水管，内筒侧壁上连接有出气管，内筒以及出气管用于供气体流经。本申请具有可对高温气体进行降...

本申请涉及碳化硅外延的领域，尤其是涉及一种碳化硅外延工艺尾气处理加热设备用燃烧装置，其包括处理筒，处理筒的顶部连通有尾气进入管和助燃气体进入管，助燃气体进入管位于处理筒的侧边，处理筒的底部连通有排气管，处理筒内为负压状态，处理筒的筒壁内...

本申请涉及碳化硅外延工艺的领域，尤其是涉及一种碳化硅外延工艺用尾气处理设备，其包括加热筒、水箱和喷淋塔，水箱一侧的顶部和加热筒连通，水箱另一侧的顶部和喷淋塔连通，加热筒的进气口到喷淋塔的排气口之间为负压状态，加热筒包括预热筒体、过渡筒体...

本申请涉及硅外延工艺的领域，尤其是涉及一种EPI外延工艺用尾气净化设备，其包括加热筒、水箱和喷淋塔，水箱一侧的顶部和加热筒连通，水箱另一侧的顶部和喷淋塔连通，加热筒的进气口到喷淋塔的排气口之间为负压状态，还包括水解装置，水解装置包括水解...

本申请涉及吸附剂的领域，具体公开了一种含氟气体用吸附剂及其制备方法。一种含氟气体用吸附剂，包括以下重量份物质：40

本申请涉及废气吸附剂技术领域，具体公开了一种砷烷磷烷特气吸附剂及其制备方法，其包括组分A和组分B，所述组分A与组分B的体积比为1：（0.1

本申请涉及一种MOCVD尾气净化处理装置的二次水箱循环冷却结构，涉及废气处理技术领域，为了解决氨气处理时，排出的高温氮气，易与空气中的氢气发生反应再次产生氨气的问题，其包括两个箱体，两个所述箱体连通，其中一个所述箱体一侧设置有废气处理装...

本申请涉及MOCVD尾气净化处理装置，涉及废气处理技术领域，为了解决电子设备生产剩余废气无法直接排放，污染性强的问题。其包括处理台，所述处理台内开设有容纳腔，所述处理台侧壁设置有控制板，所述容纳腔内设置有用于对废气进行分段处理的燃烧组件...

本申请涉及一种高温裂解吸附一体净化设备，涉及废气处理技术领域，为了解决气瓶内残存气体会对环境造成破坏，影响人体健康的问题。其包括工作箱，所述工作箱转动连接有开合门，所述开合门上设置有控制板，所述工作箱内放置有气瓶，所述气瓶下端连接有输气...