碳化硅外延工艺尾气处理设备用旋流溢流气体降温装置制造方法及图纸

本申请涉及碳化硅外延工艺尾气处理设备用旋流溢流气体降温装置，其包括外筒以及内筒，内筒位于外筒内，内筒的外筒壁与外筒的内筒壁围设出空腔，外筒上设置有进水管，内筒侧壁上连接有出气管，内筒以及出气管用于供气体流经。本申请具有可对高温气体进行降温的效果。果。果。

【技术实现步骤摘要】
碳化硅外延工艺尾气处理设备用旋流溢流气体降温装置


[0001]本申请涉及气体降温的领域，尤其是涉及碳化硅外延工艺尾气处理设备用旋流溢流气体降温装置。

技术介绍

[0002]碳化硅外延工艺是指在碳化硅衬底的上表面生长一层与衬底同质的单晶材料4H
‑
SiC，其中，在导电型碳化硅衬底上生长碳化硅外延层，可制成功率器件，主要应用于电动车、光伏等领域。在碳化硅外延过程中会产生有害尾气。
[0003]在相关技术中，有害尾气通常需要在高温燃烧装置中进行高温燃烧处理。
[0004]针对上述中的相关技术，专利技术人认为经过高温燃烧后的气体直接排出会对人体健康以及周围环境造成不良影响。

技术实现思路

[0005]为了降低气体的排出温度，本申请提供碳化硅外延工艺尾气处理设备用旋流溢流气体降温装置。
[0006]本申请提供的碳化硅外延工艺尾气处理设备用旋流溢流气体降温装置采用如下的技术方案：
[0007]碳化硅外延工艺尾气处理设备用旋流溢流气体降温装置，包括外筒以及内筒，所述内筒位于外筒内，所述内筒外筒壁与外筒内筒壁围设出空腔，所述外筒上设置有进水管，所述内筒侧壁上连接有出气管，所述内筒以及出气管用于供气体流经。
[0008]通过采用上述技术方案，当需要对气体进行降温时，通过进水管将水排入空腔内，水进入空腔后可对内筒侧壁进行降温，进而降低流经内筒的气体的温度，经降温后的气体流入出气管内。
[0009]可选的，所述内筒的高度低于外筒的高度，所述内筒上设置有出水管，所述出水管远离内筒的一端连接有水箱，所述水箱远离出水管的一端与进水管相连，所述进水管上设置有输送泵。
[0010]通过采用上述技术方案，由于内筒的高度低于外筒的高度，在一定时间后，由于水量的增加，水将从空腔流入内筒内，进一步对流经内筒的气体进行降温处理，与气体换热后的水再通过出水管排入水箱中，水箱中的水再通过输送泵进入进水管，如此循环，提高水的利用效率。
[0011]可选的，所述水箱上连接有换热器，所述换热器远离水箱的一端与进水管相连。
[0012]通过采用上述技术方案，通过换热器的设置，由于水在内筒中与气体进行换热，气体温度降低，则水温升高，换热器可对从水箱内流出的水进行降温处理，经过降温后的水再通过进水管流入空腔内。
[0013]可选的，所述进水管呈弧形设置，所述进水管的出水口朝向外筒内壁设置。
[0014]通过采用上述技术方案，弧形进水管可使得从进水管流出的水呈旋流状，增加了
水的流动性，使得水与内筒外壁换热效果更佳，水可以更好地将内筒筒壁上的热量带走，内筒筒壁温度降低，进而降低从内筒中流经的气体的温度。
[0015]可选的，所述外筒内壁上设置有导向板，所述导向板用于导向气体朝向内筒输送。
[0016]通过采用上述技术方案，通过导向板的设置，使得气体能够更为精准的流入内筒中，降低了气体流入空腔的可能性；同时，导向板可导向水进入内筒中，降低了水涡旋上升时溅出外筒的可能性。
[0017]可选的，所述外筒内壁上设置有接受平台，所述接受平台与外筒内壁围设出搭接槽，所述接受平台位于内筒上方，所述导向板上设置有搭接平台，所述搭接槽用于供搭接平台嵌合。
[0018]通过采用上述技术方案，当需要安装导向板时，将搭接平台放置于搭接槽内即可，导向板安装过程极为简便。
[0019]可选的，所述搭接平台上设置有石墨垫片。
[0020]通过采用上述技术方案，通过石墨垫片的设置，石墨垫片可在一定程度上减少高温燃烧装置的热量传输至降温装置内，即降温装置的降温效果更佳。
[0021]可选的，所述接受平台上设置有第一吸引块，所述搭接平台上设置有第二吸引块，所述第一吸引块与第二吸引块相互吸引。
[0022]通过采用上述技术方案，通过第一吸引块以及第二吸引块的设置，降低了搭接平台与接受平台分离的可能性，即固定了导向板与内筒之间的相对位置关系，使得导向板可稳定导向气体流入内筒。
[0023]综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
[0024]1.通过进水管将水排入空腔内，水进入空腔后可对内筒侧壁进行降温，进而降低流经内筒的气体的温度；
[0025]2.在一定时间后水从空腔流入内筒内，进一步对流经内筒的气体进行降温处理；
[0026]3.导向板可使气体能够更为精准的流入内筒中，降低了气体流入空腔的可能性；同时，导向板可导向水进入内筒中，降低了水涡旋上升时溅出外筒的可能性。
附图说明
[0027]图1是本申请实施例中降温装置的整体示意图。
[0028]图2是本申请实施例中显示导向板部分的示意图。
[0029]图3是本申请实施例中显示进水管部分的示意图。
[0030]附图标记说明：1、外筒；2、内筒；3、空腔；4、进水管；5、出气管；6、出水管；7、水箱；8、输送泵；9、导向板；10、接受平台；101、搭接槽；11、搭接平台；12、石墨垫片；13、第一吸引块；14、第二吸引块；15、换热器；16、连接管。
具体实施方式
[0031]以下结合附图1
‑
3对本申请作进一步详细说明。
[0032]本申请实施例公开碳化硅外延工艺尾气处理设备用旋流溢流气体降温装置。
[0033]实施例1：
[0034]参照图1和图2，碳化硅外延工艺尾气处理设备用旋流溢流气体降温装置包括内筒
2以及外筒1，内筒2位于外筒1内部，内筒2的高度低于外筒1的高度，内筒2与外筒1同轴设置，内筒2外筒壁与外筒1内筒壁围设出空腔3。外筒1内筒壁上一体成型有接受平台10，接受平台10水平设置且高于内筒2，接受平台10与外筒1内筒壁围设出搭接槽101。搭接槽101底面上搭接有搭接平台11，搭接平台11远离外筒1筒壁的一端上一体成型有导向板9，导向板9倾斜设置，导向板9远离搭接平台11的一端延伸至内筒2内筒壁处，导向板9远离搭接平台11的一端远离内筒2筒壁设置，导向板9靠近搭接平台11的一端靠近外筒1筒壁设置。
[0035]当气体在高温燃烧装置中进行高温燃烧后，经过导向板9的导向作用进入内筒2内，导向板9降低了气体流入空腔3的可能性。
[0036]参照图1和3，外筒1筒壁上设置有进水管4，进水管4呈圆弧形设置，进水管4的出水口朝向外筒1内侧壁。内筒2底部连接有出水管6，本申请实施例中，出水管6的直径等于内筒2的直径，出水管6侧壁与内筒2筒壁一体成型。出水管6远离内筒2的一端焊接有水箱7，水箱7侧壁上焊接有连接管16，连接管16远离水箱7的一端连接有换热器15，进水管4远离外筒1的一端与换热器15相连。连接管16以及进水管4上均设置有输送泵8。内筒2侧壁上焊接有出气管5，出气管5远离内筒2的一端延伸至外筒1筒壁外。
[0037]当需要对内筒2内的气体进行降温时，通过输送泵8将换热器15内的水抽送至进水管4内，并通过进水管4流入空腔3内，弧形进水本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.碳化硅外延工艺尾气处理设备用旋流溢流气体降温装置，其特征在于：包括外筒(1)以及内筒(2)，所述内筒(2)位于外筒(1)内，所述内筒(2)的外筒壁与外筒(1)的内筒壁围设出空腔(3)，所述外筒(1)上设置有进水管(4)，所述内筒(2)侧壁上连接有出气管(5)，所述内筒(2)以及出气管(5)用于供气体流经。2.根据权利要求1所述的碳化硅外延工艺尾气处理设备用旋流溢流气体降温装置，其特征在于：所述内筒(2)的高度低于外筒(1)的高度，所述内筒(2)上设置有出水管(6)，所述出水管(6)远离内筒(2)的一端连接有水箱(7)，所述水箱(7)远离出水管(6)的一端与进水管(4)相连，所述进水管(4)上设置有输送泵(8)。3.根据权利要求2所述的碳化硅外延工艺尾气处理设备用旋流溢流气体降温装置，其特征在于：所述水箱(7)上连接有换热器(15)，所述换热器(15)远离水箱(7)的一端与进水管(4)相连。4.根据权利要求1所述的碳化硅外延工艺尾气处理设备用旋流溢流气体降温装置，其特征在于：所述进水管(4)呈弧形设置，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈逵，周育呈，金大正，
申请(专利权)人：常州诚鉺正环保技术有限公司，
类型：新型
国别省市：