碳化硅外延工艺尾气处理设备用旋流溢流气体降温装置制造方法及图纸

本申请涉及碳化硅外延工艺尾气处理设备用旋流溢流气体降温装置，其包括外筒以及内筒，内筒位于外筒内，内筒的外筒壁与外筒的内筒壁围设出空腔，外筒上设置有进水管，内筒侧壁上连接有出气管，内筒以及出气管用于供气体流经。本申请具有可对高温气体进行降温的效果。果。果。

【技术实现步骤摘要】
碳化硅外延工艺尾气处理设备用旋流溢流气体降温装置


[0001]本申请涉及气体降温的领域，尤其是涉及碳化硅外延工艺尾气处理设备用旋流溢流气体降温装置。

技术介绍

[0002]碳化硅外延工艺是指在碳化硅衬底的上表面生长一层与衬底同质的单晶材料4H
‑
SiC，其中，在导电型碳化硅衬底上生长碳化硅外延层，可制成功率器件，主要应用于电动车、光伏等领域。在碳化硅外延过程中会产生有害尾气。
[0003]在相关技术中，有害尾气通常需要在高温燃烧装置中进行高温燃烧处理。
[0004]针对上述中的相关技术，专利技术人认为经过高温燃烧后的气体直接排出会对人体健康以及周围环境造成不良影响。

技术实现思路

[0005]为了降低气体的排出温度，本申请提供碳化硅外延工艺尾气处理设备用旋流溢流气体降温装置。
[0006]本申请提供的碳化硅外延工艺尾气处理设备用旋流溢流气体降温装置采用如下的技术方案：
[0007]碳化硅外延工艺尾气处理设备用旋流溢流气体降温装置，包括外筒以及内筒，所述内筒位于外筒内，所述内筒外筒壁与本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.碳化硅外延工艺尾气处理设备用旋流溢流气体降温装置，其特征在于：包括外筒(1)以及内筒(2)，所述内筒(2)位于外筒(1)内，所述内筒(2)的外筒壁与外筒(1)的内筒壁围设出空腔(3)，所述外筒(1)上设置有进水管(4)，所述内筒(2)侧壁上连接有出气管(5)，所述内筒(2)以及出气管(5)用于供气体流经。2.根据权利要求1所述的碳化硅外延工艺尾气处理设备用旋流溢流气体降温装置，其特征在于：所述内筒(2)的高度低于外筒(1)的高度，所述内筒(2)上设置有出水管(6)，所述出水管(6)远离内筒(2)的一端连接有水箱(7)，所述水箱(7)远离出水管(6)的一端与进水管(4)相连，所述进水管(4)上设置有输送泵(8)。3.根据权利要求2所述的碳化硅外延工艺尾气处理设备用旋流溢流气体降温装置，其特征在于：所述水箱(7)上连接有换热器(15)，所述换热器(15)远离水箱(7)的一端与进水管(4)相连。4.根据权利要求1所述的碳化硅外延工艺尾气处理设备用旋流溢流气体降温装置，其特征在于：所述进水管(4)呈弧形设置，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈逵，周育呈，金大正，
申请(专利权)人：常州诚鉺正环保技术有限公司，
类型：新型
国别省市：