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本申请涉及碳化硅外延工艺尾气处理设备用旋流溢流气体降温装置，其包括外筒以及内筒，内筒位于外筒内，内筒的外筒壁与外筒的内筒壁围设出空腔，外筒上设置有进水管，内筒侧壁上连接有出气管，内筒以及出气管用于供气体流经。本申请具有可对高温气体进行降温的...
该专利属于常州诚鉺正环保技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州诚鉺正环保技术有限公司授权不得商用。

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