下载一种MOCVD尾气净化处理装置的内外燃烧结构的技术资料

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本申请涉及一种MOCVD尾气净化处理装置的内外燃烧结构,涉及废气处理技术领域,为了解决氨气分解时易产生氮氧化合物的问题,其包括外壳,所述外壳内设置有内壳;所述外壳与内壳之间形成第一腔体,所述第一腔体内设置为无氧气环境,所述内壳内部形成为第二...
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