涂胶机及其涂胶方法技术

本发明专利技术公开了一种涂胶机及其涂胶方法，该涂胶机包多个括胶瓶、多个过滤器、多个供胶轨道、多个胶泵及涂胶控制系统；不同供胶轨道中对应同一种胶的胶泵连接至同一个过滤器，由涂胶控制模块控制对应每个胶泵提供胶水，进行涂胶处理。该涂胶机，在每组供胶轨道中，由于采用一个过滤器分别为多个胶泵提供胶水，这就可以大大节约过滤器的采购成本，同时也可以减小胶泵支架装置自身的安装空间尺寸；同时，不同供胶轨道中，涂胶同一种胶水时，可以连接同一个过滤器进行涂胶处理，这大大提升了涂胶效率即降低胶水损耗。降低胶水损耗。降低胶水损耗。

【技术实现步骤摘要】
涂胶机及其涂胶方法


[0001]本专利技术涉及点胶设备制备领域，尤其涉及一种涂胶机及其涂胶方法。

技术介绍

[0002]半导体光刻制造过程中，涂胶是一个关键工序。一般而言，涂胶机是通过胶泵支架装置对半导体产品进行点胶处理的。
[0003]通常，一个供胶轨道涂胶所用的胶水由涂胶机中的胶瓶提供。胶瓶中的胶水要通过一个过滤器过滤后，经一个胶泵打胶到供胶轨道，进行涂胶作业。
[0004]一个供胶轨道就需要一个胶瓶、一个过滤器、一个胶泵以及中间的管道这一整套供胶设备。一个涂胶机通常包括有多个供胶轨道，以对多个产品同时进行涂胶作业。那就需要多套供胶设备，设备成本较高，且同一种胶水也需要配置多份，对胶水这种耗材的消耗和浪费也较大。

技术实现思路

[0005]基于上述问题，本专利技术所要解决的问题在于提供一种成本低、外形尺寸小的涂胶机及其涂胶方法。
[0006]本专利技术所要解决的问题之一在于提供一种成本低、外形尺寸小的涂胶机，其技术方案如下：
[0007]一种涂胶机，包括至少一个胶瓶、至少一个过滤器、至少两个供胶轨道、至少两个胶泵以及涂胶控制模块；
[0008]所述过滤器与所述胶瓶数量一致，一一对应连接；
[0009]所述不同供胶轨道中对应同一种胶的胶泵连接至同一个过滤器，为对应的每个所述胶泵提供胶水；
[0010]所述涂胶控制模块与所述胶泵一一独立控制连接；控制对应的胶泵向指定的供胶轨道进行涂胶处理。
[0011]一实施例，所述涂胶机中，还包括矩阵控制阀，所述不同供胶轨道中对应同一种胶的胶泵连接至同一个过滤器时，通过所述矩阵控制阀为对应的每个所述胶泵提供胶水。
[0012]一实施例，所述涂胶机中，所述涂胶机还包括至少一个过滤缓冲容器，所述过滤缓冲容器的数量与所述过滤器的数量一致；
[0013]所述胶瓶中的胶水经过过滤器过滤后，盛放至所述的过滤缓冲容器中；
[0014]所述不同供胶轨道中对应同一种胶的胶泵连接至同一个过滤缓冲器，从过滤缓冲器中直接吸取过滤后的胶水，向指定的供胶轨道进行涂胶处理。
[0015]一实施例，所述涂胶机中，所述过滤缓冲器设置有阈值监控开关，当缓存的过滤后的胶水容量到达一预设的第一阈值时，控制对应的过滤器停止过滤；当缓存的过滤后的胶水容量小于一预设的第二阈值时，控制对应的过滤器开始过滤；所述第二阈值小于所述第一阈值。
[0016]一实施例，所述涂胶机中，所述过滤器根据其所连接的胶泵发出的供胶请求进行过滤工作；
[0017]所述不同供胶轨道中对应同一种胶的胶泵与所述同一个过滤器同时直接连接；
[0018]所述涂胶控制模块设置有等待控制模块，当胶泵发出供胶请求时，若当前对应的过滤器为其他胶泵工作尚未完成，所述等待控制模块控制所述胶泵等待，直至出请求的当前对应的过滤器工作完成后，再为所述胶泵工作。
[0019]一实施例，所述涂胶机中，还包括胶泵支架装置，该胶泵支架装置包括底座和安装板；所述过滤器和所述胶泵均安装在所述安装板上。
[0020]本专利技术所要解决的问题之二在于提供一种使用上述涂胶机及其涂胶方法包括如下步骤：
[0021]胶泵发起涂胶请求；
[0022]涂胶请求通过，控制对应的过滤器为当前胶泵提供胶水，控制当前胶泵工作，进行涂胶处理。
[0023]一实施例，所述涂胶方法中，所述涂胶机还包括至少一个过滤缓冲容器，所述过滤器直接将过滤后的胶水缓存在所述过滤缓冲容器中；
[0024]所述涂胶请求通过，控制对应的过滤器为当前胶泵提供胶水，控制当前胶泵工作，进行涂胶处理的步骤中，所述胶泵直接从所述过滤缓冲容器吸取过滤后的胶水，进行涂胶处理。
[0025]一实施例，所述涂胶方法中，所述涂胶机还执行以下步骤：
[0026]检测所述过滤缓冲容器中缓存的过滤后的胶水容量，若小于一预设的第二阈值时，控制对应的过滤器开始过滤；若未到达一预设的第一阈值，则控制对应的过滤器继续工作；若已到达一预设的第一阈值，则控制对应的过滤器停止过滤；其中所述第二阈值小于所述第一阈值。
[0027]一实施例，所述涂胶方法中，所述涂胶请求通过，控制对应的过滤器为当前胶泵提供胶水，控制当前胶泵工作，进行涂胶处理的步骤中，具体包括以下步骤：
[0028]检测当前对应的过滤器为其他胶泵工作是否完成：若当前对应的过滤器为其他胶泵工作已完成，直接控制所述过滤器为所述当前胶泵工作；若当前对应的过滤器为其他胶泵工作尚未完成，控制所述胶泵等待，直至出请求的当前对应的过滤器工作完成后，再为所述当前胶泵工作。
[0029]本专利技术提供的涂胶机，不同供胶轨道中对应同一种胶的胶泵连接至同一个过滤器，为对应的每个所述胶泵提供胶水，通过涂胶控制模块与所述胶泵一一独立控制连接；在每组供胶轨道中，控制对应的胶泵向指定的供胶轨道进行涂胶处理，使得多个供胶轨道对应同一种胶的胶泵可以共用一个胶瓶和过滤器，这就可以大大节约过滤器的采购成本。而且，胶水作为一种耗材，不论有多少个供胶轨道，同一种胶水都只需要配备一份即可，减少了对胶水的消耗和浪费，节省了涂胶成本。同时，也可以减小胶泵支架装置自身的安装空间尺寸。
附图说明
[0030]图1为本专利技术一实施例中的涂胶机的结构示意图；
[0031]图2a、2b为本专利技术涂胶机中胶泵支架装置的结构示意图；
[0032]图3a、3b为本专利技术一实施例中的胶泵支架装置中供胶轨道交叉使用的结构示意图；
[0033]图4为本专利技术另一实施例中的胶泵支架装置中供胶轨道交叉使用的结构示意图；
[0034]图5为涂胶机的涂胶工艺流程图。
具体实施方式
[0035]下面结合附图，对本专利技术的较佳实施例作进一步详细说明。
[0036]如图2所示，本专利技术提供的涂胶机，包括至少一个胶瓶、至少一个过滤器、至少两个供胶轨道、至少两个胶泵以及涂胶控制模块，且过滤器与胶瓶数量一致，一一对应连接。
[0037]本实施例中，该涂胶机包括两个胶瓶(81,82)、两个过滤器(41,42)、六个胶泵(511,512,513,521,522,523)、对应的六个涂胶出口(b11,b12,b13,b21,b22,b23)。所述涂胶机包括三个供胶轨道(图中未示出)。其中，所述的胶泵511、521对应同一个供胶轨道；所述的胶泵512、522对应同一个供胶轨道；所述的胶泵513、523对应同一个供胶轨道。所述涂胶机还包括一涂胶控制模块(图中未示出)；其中，过滤器41、胶泵(511,512，513)以及对应连接管道连接至胶瓶81组成一组供胶通路A1；过滤器42、胶泵(521,522，523)以及对应连接管道连接至胶瓶82组成另一组供胶通路A2。也就是说，本实施例中有两组供胶通路(A1，A2)，这两组供胶通路(A1，A2)分别对应于胶瓶81和胶瓶82；胶瓶81和胶瓶82内装有用于给半导体器件点胶用的胶水，两个胶瓶(81,82)中的胶水，可以相同，也可以不相同，根据本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种涂胶机，其特征在于，包括至少一个胶瓶、至少一个过滤器、至少两个供胶轨道、至少两个胶泵以及涂胶控制模块；所述过滤器与所述胶瓶数量一致，一一对应连接；所述不同供胶轨道中对应同一种胶的胶泵连接至同一个过滤器，为对应的每个所述胶泵提供胶水；所述涂胶控制模块与所述胶泵一一独立控制连接；控制对应的胶泵向指定的供胶轨道进行涂胶处理。2.根据权利要求1所述的涂胶机，其特征在于，所述涂胶机还包括至少一个过滤缓冲容器，所述过滤缓冲容器的数量与所述过滤器的数量一致；所述胶瓶中的胶水经过过滤器过滤后，盛放至所述的过滤缓冲容器中；所述不同供胶轨道中对应同一种胶的胶泵连接至同一个过滤缓冲器，从过滤缓冲器中直接吸取过滤后的胶水，向指定的供胶轨道进行涂胶处理。3.根据权利要求2所述的涂胶机，其特征在于，所述过滤缓冲器设置有阈值监控开关，当缓存的过滤后的胶水容量到达一预设的第一阈值时，控制对应的过滤器停止过滤；当缓存的过滤后的胶水容量小于一预设的第二阈值时，控制对应的过滤器开始过滤；所述第二阈值小于所述第一阈值。4.根据权利要求1所述的涂胶机，其特征在于，所述过滤器根据其所连接的胶泵发出的供胶请求进行过滤工作；所述不同供胶轨道中对应同一种胶的胶泵与所述同一个过滤器同时直接连接；所述涂胶控制模块设置有等待控制模块，当胶泵发出供胶请求时，若当前对应的过滤器为其他胶泵工作尚未完成，所述等待控制模块控制所述胶泵等待，直至出请求的当前对应的过滤器工作完成后，再为所述胶泵工作。5.根据权利要求1所述的涂胶机，其特征在于，还包括胶泵支架装置，该胶泵支架装置包括底座和安装板；所述过滤器和所述胶泵均安装在所述安装...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘钙，王国峰，杨忠武，徐伟康，
申请(专利权)人：青岛惠科微电子有限公司北海惠科半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：