一种激光阵列器件制造技术

一种激光阵列器件，涉及一种半导体激光阵列器件。该器件含有多个激光发光单元，并通过采用紧凑的光学转向结构和补偿结构，实现多个激光发光单元的功率密排输出。本发明专利技术能够在小体积内进行光程补偿，实现光束等光程输出，克服了现有技术的体积庞大、结构复杂等缺点；本发明专利技术中的激光发光单元无需紧密排布，经过光学系统可以直接进行快轴方向的叠加、慢轴方向的叠加和其它光束变换，从而克服了现有技术中的半导体激光条在两个方向上的长度、发散角差异大的缺点，有利于固体增益介质的激光泵浦和后续光束耦合，因此具有散热性能良好、各发光单元的光束变换灵活，系统体积小，结构紧凑，可靠性高等优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种半导体激光阵列器件，属于光电子

技术介绍
半导体激光阵列器件是激光器领域的重要基础，具有广阔的应用领域和巨大的市场。由于半导体激光器技术的限制，半导体激光发光单元的输出功率有限，因此，为了获得高功率半导体激光输出，必须将一定数量的激光发光单元组合排列在一起，构成半导体激光器阵列，达到几十瓦甚至百瓦左右功率输出。在这种激光器阵列中，激光发光单元在同一水平底座上沿线性紧密排布，发光单元正极与底座相连，发光单元负极相互连通，各发光单元并联工作。由于多个发光单元沿慢轴方向线性紧密排布，激光输出线形长条光斑，典型参数为快轴方向长度1um，发散角30度，慢轴方向长度10mm，发散角10度。两个方向上的长度、发散角差异很大，不利于固体增益介质的激光泵浦和后续光束耦合。为了提高耦合效率，国内外有很多针对性的整形耦合技术，通过将光束切割、旋转、组合等技术手段(美国专利6377401，图1～图16；美国专利6044096；美国专利6700709；美国专利6504650)，实现高效率的泵浦与耦合。同时，由于多个发光单元紧密排布，因此各发光单元的热量分布紧密、集中，散热困难，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光阵列器件，包括基座热沉（１），分别通过激光发光单元热沉（３）设置在所述基座热沉上的至少２个激光发光单元（２），以及将所述激光发光单元发出的激光转向的转向光学系统（６），所述激光发光单元发出的激光相互平行，所述相互平行的激光经转向光学系统输出到激光出射面（８），其特征在于：所述每一个激光发光单元发出的激光光束依次垂直穿过ｎ－１个激光发光单元发出的经转向后输出的激光光束。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：巩马理，黄磊，何发红，柳强，闫平，张海涛，李晨，陈刚，殷聪，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]