一种中低功率半导体激光器的封装制作方法技术

技术编号:3312095 阅读:292 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供了一种中低功率半导体激光器的封装制作方法,该封装制作方法是利用热沉作为中间载体,在热沉上以整片的方式蒸镀焊料,然后在每个热沉单位上粘结半导体激光器管芯芯片,一起进行烧结,将烧结后的粘有芯片的热沉单位从整片热沉片上切割下来,利用银浆粘结到T05管座的舌头上,在半导体激光器管芯芯片的N面电极上键合金线,将金线连接到T05管座的阴极管脚上。本发明专利技术可以对焊料厚度进行精确控制,解决了由于焊料过厚或者过薄造成的焊料气泡或烧结不牢等问题,满足了批量生产的需要,相比C-mount具有更好的通用性,提高了材料利用率,降低了生产成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体二极管激光器的制作方法,属于半导体光电子
技术背景半导体激光器具有体积小、重量轻、转换效率高、易于调制和价格低廉等优点,近年来 在照明、医疗、工业等方面得到了广泛的应用,如光纤通信、激光测距、目标指示、照明、 美容等行业。随着半导体激光器输出功率的不断提高,应用范围越来越广,需求量也越来越 大。中低功率的半导体激光器, 一般采用C-mount和T05封装,但是由于生产设备和封装治 具的限制,生产效率低下,难以满足批量生产的需求。因此,在不影响激光器性能和可靠性 的前提下,如何提高生产效率就成为急需在生产中解决的问题和技术瓶颈。从半导体激光器 器件封装的角度来看,传统的C-mount和T05封装的半导体激光器在制作工艺上都存在明显 的缺点,如焊料制备困难、手工工步较多等,都是影响生产效率的因素。而且传统的C-mount 和T05的封装过程,也存在以下一系列的问题,影响最终的成品率1. 焊料的厚度一致性差,难以做到精确控制;2. 只能做成器件后进行扎测,缺少优选过程,芯片失效则导致器件失效,影响合格率;3. 失效后的器件底座,因为焊接表面的平整受到破坏难本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种中低功率半导体激光器的封装制作方法,其特征是:是利用一种厚度在0.2mm-0.3mm之间的长方体热沉作为中间载体,首先以整片的方式在热沉上蒸镀焊料,然后利用焊料在每个热沉单位上粘结半导体激光器管芯芯片,粘结完毕后一起放入合金炉,采用铟焊料时,在200℃-300℃及通氮气保护条件下烧结10分钟-20分钟,采用金锡焊料时,在280℃-300℃及通氮气保护条件下烧结10秒-60秒,将烧结后粘有芯片的热沉单位从整片热沉片上切割下来,利用银浆粘结到TO5管座的舌头上,在半导体激光器管芯芯片的N面电极上键合金线,将金线连接到TO5管座的阴极管脚上,半导体激光器管芯芯片通过TO5管壳的舌头作为正电极,阴...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:王海卫汤庆敏徐现刚夏伟苏建李沛旭
申请(专利权)人:山东华光光电子有限公司
类型:发明
国别省市:88[中国|济南]

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