【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体二极管激光器的制作方法,属于半导体光电子
技术背景半导体激光器具有体积小、重量轻、转换效率高、易于调制和价格低廉等优点,近年来 在照明、医疗、工业等方面得到了广泛的应用,如光纤通信、激光测距、目标指示、照明、 美容等行业。随着半导体激光器输出功率的不断提高,应用范围越来越广,需求量也越来越 大。中低功率的半导体激光器, 一般采用C-mount和T05封装,但是由于生产设备和封装治 具的限制,生产效率低下,难以满足批量生产的需求。因此,在不影响激光器性能和可靠性 的前提下,如何提高生产效率就成为急需在生产中解决的问题和技术瓶颈。从半导体激光器 器件封装的角度来看,传统的C-mount和T05封装的半导体激光器在制作工艺上都存在明显 的缺点,如焊料制备困难、手工工步较多等,都是影响生产效率的因素。而且传统的C-mount 和T05的封装过程,也存在以下一系列的问题,影响最终的成品率1. 焊料的厚度一致性差,难以做到精确控制;2. 只能做成器件后进行扎测,缺少优选过程,芯片失效则导致器件失效,影响合格率;3. 失效后的器件底座,因为焊接 ...
【技术保护点】
一种中低功率半导体激光器的封装制作方法,其特征是:是利用一种厚度在0.2mm-0.3mm之间的长方体热沉作为中间载体,首先以整片的方式在热沉上蒸镀焊料,然后利用焊料在每个热沉单位上粘结半导体激光器管芯芯片,粘结完毕后一起放入合金炉,采用铟焊料时,在200℃-300℃及通氮气保护条件下烧结10分钟-20分钟,采用金锡焊料时,在280℃-300℃及通氮气保护条件下烧结10秒-60秒,将烧结后粘有芯片的热沉单位从整片热沉片上切割下来,利用银浆粘结到TO5管座的舌头上,在半导体激光器管芯芯片的N面电极上键合金线,将金线连接到TO5管座的阴极管脚上,半导体激光器管芯芯片通过TO5管壳 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:王海卫,汤庆敏,徐现刚,夏伟,苏建,李沛旭,
申请(专利权)人:山东华光光电子有限公司,
类型:发明
国别省市:88[中国|济南]
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