一种晶圆试验方法、装置、电子设备以及存储介质制造方法及图纸

本公开提供了一种晶圆试验方法、装置、电子设备以及存储介质，其中，该方法包括：获取多个试验单，按照所述多个试验单中的各个试验项目，对所述多个试验单中的待试验晶圆进行划分，确定各个划分单元对应的待试验晶圆，基于各个试验单中试验项目的试验顺序条件和各个划分单元对应试验机台的试验条件，确定每个待试验晶圆所要进行的试验项目的试验顺序，按照任一所述待试验晶圆所要进行的试验项目的试验顺序，对所述待试验晶圆进行试验。这样，通过对各个待试验晶圆对应的试验项目排列出较优的试验顺序，可以提升对各个晶圆的试验效率。可以提升对各个晶圆的试验效率。可以提升对各个晶圆的试验效率。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆试验方法、装置、电子设备以及存储介质


[0001]本公开涉及半导体生产
，具体而言，涉及一种晶圆试验方法、装置、电子设备以及存储介质。

技术介绍

[0002]随着科技的发展，半导体作为科技发展的硬件基础原料，也逐渐变得越来越重要。而在制作半导体时首先需要对晶圆进行加工处理，在晶圆的加工处理过程中，包括清洁、氧化、光刻等处理过程，在这个加工处理过程中用户针对处于生产过程的晶圆生成Runcard试验单，使在生产过程中的晶圆跳出生产流程进行用户设定的试验过程，每个Runcard试验单中均有试验步骤，现有的是在对晶圆在进行试验时，是按照Runcard试验单上的试验顺序对每个晶圆进行试验的。
[0003]但是由于存在多个晶圆进行同一试验步骤试验的情况，Runcard试验单记录各个试验步骤，如果仅按照Runcard试验单上的试验顺序对晶圆进行试验，若一个晶圆就开启一个机台，不仅会导致试验机台的浪费，还导致试验时间较长，同时晶圆试验效率也较低。

技术实现思路

[0004]本公开实施例至少提供一种晶圆方法、装置、电子设备以及存储介质。这样，通过对各个待试验晶圆对应的试验项目排列出较优的试验顺序，可以提升对各个晶圆的试验效率。
[0005]本公开实施例提供了一种晶圆试验方法，所述方法包括：
[0006]获取多个试验单，其中，每个试验单对应至少一个待试验晶圆以及多个试验项目；
[0007]按照所述多个试验单中的各个试验项目，对所述多个试验单中的待试验晶圆进行划分，确定各个划分单元对应的待试验晶圆；其中，同一划分单元对应的待试验晶圆的试验项目相同；
[0008]基于各个试验单中试验项目的试验顺序条件和各个划分单元对应试验机台的试验条件，确定每个待试验晶圆所要进行的试验项目的试验顺序；
[0009]按照任一所述待试验晶圆所要进行的试验项目的试验顺序，对所述待试验晶圆进行试验。
[0010]一种可选的实施方式中，通过以下方式生成任一试验单：
[0011]获取任一生产批次对应的待试验晶圆的批次信息和试验主流程信息；
[0012]根据所述批次信息和所述试验主流程信息，获取用户设置的试验单的站点信息、试验单中待试验晶圆的晶圆标识和试验单的试验项目；
[0013]根据所述生产批次对应的所述站点信息、所述晶圆标识以及所述试验项目，生成所述生产批次对应的待试验晶圆的试验单。
[0014]一种可选的实施方式中，所述按照所述多个试验单中的各个试验项目，对所述多个试验单中的待试验晶圆进行划分，确定各个划分单元对应的待试验晶圆，包括：
[0015]根据任一试验项目的项目标识，确定与该项目标识对应的所述多个试验单中的待试验晶圆；
[0016]将每个试验项目对应的待试验晶圆划分至同一个单元中。
[0017]一种可选的实施方式中，所述试验顺序条件包括：试验项目的站点优先级、各个试验单的创建时间优先级，所述试验条件包括：机台数量、机台类型、机台空闲时间；所述基于各个试验单中试验项目的试验顺序条件和各个划分单元对应试验机台的试验条件，确定每个待试验晶圆所要进行的试验项目的试验顺序，包括：
[0018]根据各个试验单中的试验项目的站点优先级、各个试验单的创建时间优先级、各个批次对应试验机台的机台数量、机台类型和机台空闲时间，利用排序函数生成每个待试验晶圆的试验项目的试验顺序。
[0019]一种可选的实施方式中，所述按照任一所述待试验晶圆所要进行的试验项目的试验顺序，对所述待试验晶圆进行试验，包括：
[0020]按照任一所述待试验晶圆的试验项目的试验顺序，将所述待试验晶圆顺序布置至对应试验项目的试验机台进行试验。
[0021]一种可选的实施方式中，所述方法还包括：
[0022]若任一待试验晶圆完成试验，将所述待试验晶圆合批至对应生成批次的晶圆组中。
[0023]本公开实施例还提供一种晶圆试验装置，所述装置包括：
[0024]获取模块，用于获取多个试验单，其中，每个试验单对应至少一个待试验晶圆以及多个试验项目；
[0025]划分模块，用于按照所述多个试验单中的各个试验项目，对所述多个试验单中的待试验晶圆进行划分，确定各个划分单元对应的待试验晶圆；其中，同一划分单元对应的待试验晶圆的试验项目相同；
[0026]确定模块，用于基于各个试验单中试验项目的试验顺序条件和各个划分单元对应试验机台的试验条件，确定每个待试验晶圆所要进行的试验项目的试验顺序；
[0027]试验模块，用于按照任一所述待试验晶圆所要进行的试验项目的试验顺序，对所述待试验晶圆进行试验。
[0028]一种可选的实施方式中，所述获取模块以下方式生成任一试验单：
[0029]获取任一生产批次对应的待试验晶圆的批次信息和试验主流程信息；
[0030]根据所述批次信息和所述试验主流程信息，获取用户设置的试验单的站点信息、试验单中待试验晶圆的晶圆标识和试验单的试验项目；
[0031]根据所述生产批次对应的所述站点信息、所述晶圆标识以及所述试验项目，生成所述生产批次对应的待试验晶圆的试验单。
[0032]一种可选的实施方式中，所述划分模块，具体用于：
[0033]根据任一试验项目的项目标识，确定与该项目标识对应的所述多个试验单中的待试验晶圆；
[0034]将每个试验项目对应的待试验晶圆划分至同一个单元中。
[0035]一种可选的实施方式中，所述试验顺序条件包括：试验项目的站点优先级、各个试验单的创建时间优先级，所述试验条件包括：机台数量、机台类型、机台空闲时间；所述确定
模块，具体用于：
[0036]根据各个试验单中的试验项目的站点优先级、各个试验单的创建时间优先级、各个批次对应试验机台的机台数量、机台类型和机台空闲时间，利用排序函数生成每个待试验晶圆的试验项目的试验顺序。
[0037]一种可选的实施方式中，所述试验模块，具体用于：
[0038]按照任一所述待试验晶圆的试验项目的试验顺序，将所述待试验晶圆顺序布置至对应试验项目的试验机台进行试验。
[0039]一种可选的实施方式中，所述装置还包括合批模块，所述合批模块，用于：
[0040]若任一待试验晶圆完成试验，将所述待试验晶圆合批至对应生成批次的晶圆组中。
[0041]本公开实施例还提供一种电子设备，包括：处理器、存储器和总线，所述存储器存储有所述处理器可执行的机器可读指令，当电子设备运行时，所述处理器与所述存储器之间通过总线通信，所述机器可读指令被所述处理器执行时执行上述实施方式中的步骤。
[0042]本公开实施例还提供一种计算机存储介质，该计算机存储介质上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器运行时执行上述实施方式中的步骤。
[0043]本公开实施例提供的一种晶圆试验方法、装置、电子设备以及存储介质，其中，该方法包括：获取多个试验单，按照所述多个试验单本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆试验方法，其特征在于，所述方法包括：获取多个试验单，其中，每个试验单对应至少一个待试验晶圆以及多个试验项目；按照所述多个试验单中的各个试验项目，对所述多个试验单中的待试验晶圆进行划分，确定各个划分单元对应的待试验晶圆；其中，同一划分单元对应的待试验晶圆的试验项目相同；基于各个试验单中试验项目的试验顺序条件和各个划分单元对应试验机台的试验条件，确定每个待试验晶圆所要进行的试验项目的试验顺序；按照任一所述待试验晶圆所要进行的试验项目的试验顺序，对所述待试验晶圆进行试验。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，通过以下方式生成任一试验单：获取任一生产批次对应的待试验晶圆的批次信息和试验主流程信息；根据所述批次信息和所述试验主流程信息，获取用户设置的试验单的站点信息、试验单中待试验晶圆的晶圆标识和试验单的试验项目；根据所述生产批次对应的所述站点信息、所述晶圆标识以及所述试验项目，生成所述生产批次对应的待试验晶圆的试验单。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述按照所述多个试验单中的各个试验项目，对所述多个试验单中的待试验晶圆进行划分，确定各个划分单元对应的待试验晶圆，包括：根据任一试验项目的项目标识，确定与该项目标识对应的所述多个试验单中的待试验晶圆；将每个试验项目对应的待试验晶圆划分至同一个单元中。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述试验顺序条件包括：试验项目的站点优先级、各个试验单的创建时间优先级，所述试验条件包括：机台数量、机台类型、机台空闲时间；所述基于各个试验单中试验项目的试验顺序条件和各个划分单元对应试验机台的试验条件，确定每个待试验晶圆所要进行的试验项目的试验顺序，包括：根据各个试验单中的试验项目的站点优先级、各个试验单的创建时间优先级、各个批次对应试验机台的机台数量、机台类型和机台空闲时间，利用排序函数生成每个待试验晶圆的试验项目的试验顺序。5.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩林成，
申请(专利权)人：上海赛美特软件科技有限公司，
类型：发明
国别省市：