一种晶圆投片方法、存储介质、仿真模组和光刻排产设备技术

本发明专利技术属于微电子技术领域，尤其涉及一种晶圆投片方法、存储介质、仿真模组和光刻排产设备；本发明专利技术实施例通过信息采集步骤（20）、模型构造步骤（30）、随机模拟步骤（40）和筛选优化步骤（50）实现了过平台排片的优化；通过随机模拟过程的过滤，将相对稳定或局部最优的排片方案筛选了出来。案筛选了出来。案筛选了出来。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆投片方法、存储介质、仿真模组和光刻排产设备


[0001]本专利技术属于微电子
，尤其涉及一种晶圆投片方法、存储介质、仿真模组和光刻排产设备。

技术介绍

[0002]生产设备的高效利用是微电子产品生产阶段的重要课题，避免闲置和超负荷运转是基本愿望。由于生产订单和原材料状态等存在众多的不确定性，使得生产计划的设定难度不断增加。此外，多个生产线之间的协调和同步也是一个亟待解决的课题，所有这些都增大了系统的复杂度，亟需有一套行之有效的方法或设备来解决这一技术问题。

技术实现思路

[0003]本专利技术实施例公开了一种晶圆投片方法，包括信息采集步骤、模型构造步骤、随机模拟步骤和筛选优化步骤。
[0004]其中，信息采集步骤获取生产平台的状态信息PS，从而跟踪或者刷新生产过程可利用的资源。该状态信息PS包括可用平台的数量PN、可用机时TT、等待时间的极值、各可用平台的产能信息等。
[0005]这里的等待时间的极值包括最大等待时间TMAX和最小等待时间TMIN，他们将用于约束等待作业区的设定过程。
[0006]进一步的模型构造步骤通过获取平台排片约束条件，来构建一套裁判机制，将符合要求的数据纳入备选方案。其中，平台排片约束条件可能有多个，包括第一约束条件、第二约束条件直至第N约束条件，N为大于或等于3的自然数。
[0007]此外，随机模拟步骤还通过构造一伪随机数集合或读取一随机数集合中的所有元素到指定的存储空间来驱动一个类蒙特卡洛方法的过程；其中，伪随机数集合与集合K对应，集合K由自然数1、2、直至P构成，P为自然数。
[0008]进一步地，随机模拟步骤再以伪随机数或随机数集合中的元素为驱动，求解目标函数的解，进而获得中间参考值；其中，目标函数由生产平台的状态信息构造；目标函数包括第一目标函数、第二目标函数、直至第N目标函数。
[0009]若所述伪随机数或所述随机数集合中的元素满足所述第一约束条件、所述第二约束条件直至所述第N约束条件，则保留所述伪随机数或所述随机数集合中的元素为所述目标函数的一个解，并依所述伪随机数或所述随机数集合中的元素获得满足所述约束条件的若干个解。
[0010]在筛选优化步骤，通过构造决策向量或决策集合，该决策向量或决策集合由目标函数的解或满足各约束条件的数组构成；其中，决策向量或决策集合中重复出现或符合约束条件的元素的个数为第一决策频率；通过比较这一个频率值，则可发现较优的解决方案。
[0011]进一步地，以决策向量或决策集合中第一决策频率最高的一组模拟量或符合各约束条件的一组模拟输出作为投片预测的输出量，填充生产平台的投片矩阵；其中，投片矩阵
每一列代表不同的生产平台，投片矩阵每一行代表投片周期内，不同工作日/运转日内投片的数量，这样就构造了投片矩阵，从而可以用来指导排片过程。
[0012]进一步地，本专利技术实施例公开的方法还包括获取伪随机数种子的步骤；其中，伪随机数的种子根据可用平台的数量或历史数据的预设统计量求取或选取。
[0013]在一些场景下，可以用一种绝对时间的量值来确定伪随机数的种子值，例如，可以将伪随机数的种子值由当前时钟距离1970年1月1日零点的秒数给出。
[0014]在其他的一些场景下，伪随机数的种子可以是一自然数M，且M大于或等于预设的整数值SEED，一般来说，这个SEED值可以设得足够大，从而使得仿真的结果收敛域较稳定或较小的范围，提高预判的精度。
[0015]进一步地，还可以包括一排片矩阵构造步骤；其中，排片矩阵的列数代表本次加工周期/过程的总天数；加工周期/过程内，以天为单位进行投片，并以订单或计划数值排满加工周期/过程，从而构造出该矩阵的各个元素。
[0016]具体地，加工周期/过程的总天数可以是28、29、30、31、120、365或任一指定的自然数中的任一数值；其中，总天数28与非闰年的2月对应，29与闰年的2月对应，30、31分别与小月和大月对应，120与一个季度的天数对应，365与一年对应。
[0017]为了对不同生成平台的信息进行综合，还引入了平台数量作为参考值；其中，可用平台的数量PN为2到R的任一自然数，其中，R为大于或等于2的自然数。
[0018]为了方便模型的求解，还需要获取一些初始条件数据；其中，在获取初始投片量的步骤；获取的初始投片量的默认初始值可以为0。
[0019]在随机模拟投产参数步骤，可获取各在产平台的最大投片数量；其中，在产平台包括第一平台、第二平台直至第S平台，S为大于等于3的自然数；第一平台的最大投片数为第一限值，第二平台的最大投片数为第二限值，直至第S平台的最大投片数为第S限值。
[0020]进一步地，以伪随机数为驱动量/输入量，在0和最大投片量之间获得对应平台的模拟投片数；其中，模拟投片数包括第一模拟值、第二模拟值直至第S模拟值，S为大于等于3的自然数。
[0021]进一步地，通过目标值处理步骤来获得优化的排片数据；根据平台排片约束条件计算模拟投片数对应的目标校验值；该目标校验值包括第一校验值Z1、第二校验值Z2直至第N校验值ZN；其中，N为大于或等于3的自然数。
[0022]在筛选优化步骤，根据平台排片约束条件选取最优或局部最优的排片方案；该排片方案包括每天的入选平台和入选平台对应的投片量。
[0023]在包括三个约束条件的典型场景中，约束条件包括第一约束条件、第二约束条件和第三约束条件；其中，第一约束条件获取时钟信息后求取目标时段的天数信息；以月为单位出具排片计划；第一约束条件选取第一模拟值、第二模拟值直至第S模拟值中波动最小的模拟值作为局部备选值。
[0024]进一步地，通过获取伪随机数或随机数集合驱动下的所有局部备选值，选取局部备选值中波动最小的模拟值为最终选定值。
[0025]其中，波动最小由一目标函数来定量，目标函数为模拟值的一个预设的统计量；该统计量在伪随机数或随机数集合驱动下产生备选量的集合构成优化量的样本空间。
[0026]具体地，
该统计量可以是；还可包括还可包括还可包括分别为第一目标统计量，第二目标统计量，第三目标统计量；为月份或排片周期内的某天，所述排片周期还包括周、年；为第天的投片数量；平均投片数量；为所在投片周期的总天数此外，还可受如下统计量约束来优化投片过程：包括包括 ；所述平台产品的月产能或对应排片周期的产能；为第天的投片数量；为月份或排片周期内的某天，所述排片周期还包括周、年。
[0027]与上述方法对应，可以在存储介质、仿真模组以及光刻设备中进行实施，其核心思路一致，在此不再赘述。
[0028]该方法的设计思想在于根据均衡原则，投片数量应尽可能趋于平缓；如果投片数量不能够完全均衡，应该使得较多和较少的投片数量形成互补以达到交错状态；基于此，可以形成三个典型的决策目标，即：目标一，自然月份内，每日投片波动最小；目标二，自然月份内，当出现较多和较少投片数量时，连续天数内的投片数量应尽可能交错投片；目标三本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆投片方法，其特征在于，包括：信息采集步骤（20）、模型构造步骤（30）、随机模拟步骤（40）、筛选优化步骤（50）；所述信息采集步骤（20）获取生产平台的状态信息PS，所述状态信息PS包括生产平台的技术节点信息TL、可用平台的数量PN、可用机时TT、等待时间的极值、各技术节点平台的产能信息；所述等待时间的极值包括最大等待时间TMAX和最小等待时间TMIN，所述等待时间的极值用于约束等待作业区；所述模型构造步骤（30）获取平台排片约束条件，所述平台排片约束条件包括第一约束条件、第二约束条件直至第N约束条件，其中，N为大于或等于3的自然数；所述随机模拟步骤（40）构造一伪随机数集合或读取一随机数集合中的所有元素到指定的存储空间，所述伪随机数集合与集合K对应，所述集合K由自然数1、2、直至P构成，P为自然数；所述随机模拟步骤（40）再以所述伪随机数或所述随机数集合中的元素为驱动，求解目标函数的解；其中，所述目标函数由所述生产平台的状态信息构造；所述目标函数包括第一目标函数、第二目标函数、直至第N目标函数；若所述伪随机数或所述随机数集合中的元素满足所述第一约束条件、所述第二约束条件直至所述第N约束条件，则保留所述伪随机数或所述随机数集合中的元素为所述目标函数的一个解，并依所述伪随机数或所述随机数集合中的元素获得满足所述约束条件的若干个解；所述筛选优化步骤（50）构造决策向量或决策集合，所述决策向量或所述决策集合由所述目标函数的解或满足所述各约束条件的数组构成；其中，所述决策向量或所述决策集合中重复出现或符合约束条件的元素的个数为第一决策频率；以所述决策向量或所述决策集合中所述第一决策频率最高的一组模拟量或符合所述各约束条件的一组模拟输出作为投片预测的输出量，填充所述生产平台的投片矩阵；所述投片矩阵每一列（302）代表不同的生产平台，所述投片矩阵每一行（303）代表所述投片周期内，不同工作日/运转日内投片的数量（333）。2.如权利要求1所述的方法，还包括：获取伪随机数种子的步骤（301）；其中，所述伪随机数的种子根据所述可用平台的数量或历史数据的预设统计量求取或选取。3.如权利要求2所述的方法，其中：所述伪随机数的种子由当前时钟距离1970年1月1日零点的秒数给出。4.如权利要求2所述的方法，其中：所述伪随机数的种子为一自然数M，且M大于或等于预设的整数值SEED。5.如权利要求1
‑
4所述的任一方法，还包括：排片矩阵构造步骤；其中，所述排片矩阵的列数代表本次加工周期/过程的总天数；所述加工周期/过程内，以天为单位进行投片，并以订单或计划数值排满所述加工周期/过程。6.如权利要求5所述的方法，其中：所述加工周期/过程的总天数为28、29、30、31、120、365或任一指定的自然数中的任一数值；其中，所述总天数28与非闰年的2月对应，29与闰年的2月对应，30、31分别与小月和大月对应，120与一个季度的天数对应，365与一年对应；
所述可用平台的数量PN为2到R的任一自然数，其中，R为大于或等于2的自然数。7.如权利要求6所述的方法，还包括：获取初始投片量的步骤；其中，所述初始投片量的默认初始值为0。8.如权利要求7所述的方法，还包括：随机模拟投产参数步骤：所述随机模拟投产参数步骤获取各在产平台的最大投片数量；其中，所述在产平台包括第一平台、第二平台直至第S平台，S为大于等于3的自然数；所述第一平台的最大投片数为第一限值，所述第二平台的最大投片数为第二限值，直至所述第S平台的最大投片数为第S限值；以所述伪随机数为驱动量/输入量，在0和所述最大投片量之间获得对应平台的模拟投片数；其中，所述模拟投片数包括第一模拟值、第二模拟值直至第S模拟值，S为大于等于3的自然数。9.如权利要求8所述的方法，还包括：目标值处理步骤；所述目标值处理步骤根据所述平台排片...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹锋，钱春霞，徐秋晨，周菁，郑小平，刘帆，
申请(专利权)人：上海华力集成电路制造有限公司，
类型：发明
国别省市：