一种用于单晶炉裁剪碳毡的简易工装制造技术

技术编号:32848318 阅读:15 留言:0更新日期:2022-03-30 18:46
本实用新型专利技术公开一种用于单晶炉裁剪碳毡的简易工装,包括基座、轴承和套管,所述基座的顶端设置有测量支架,所述测量支架的内部底端开设有贯穿槽,所述测量支架的前方设置有切割槽,且切割槽开设在基座的顶端内部,所述切割槽的内部安装有滑轨,所述滑轨的顶端通过滑块滑动连接有刀片固定环,所述刀片固定环的内部固定安装有刀片本体,所述刀片固定环的两侧均通过安装两个定位螺栓与刀片本体固定连接,所述测量支架的后方两侧均通过固定螺栓安装有套管;本实用新型专利技术使用裁剪碳毡的工具,减少石墨软毡浪费,并可以很好统一石墨软毡包裹的高度,改善热场的保温性,有助于单晶稳定生长,降低运行成本。低运行成本。低运行成本。

【技术实现步骤摘要】
一种用于单晶炉裁剪碳毡的简易工装


[0001]本技术涉及单晶硅制造
,尤其涉及一种用于单晶炉裁剪碳毡的简易工装。

技术介绍

[0002]单晶硅作为一种半导体材料,一般用于制造集成电路和其他电子元件,目前单晶硅的生长技术有两种,区熔法和直拉法,其中直拉法是目前普遍的采用的方法,在直拉法制造单晶硅时,要将多晶硅置于石英坩埚中,经过高温使其熔化,然后籽晶由顶部降至熔化的多晶硅中,通过控制液面的温度,使熔化的籽晶在周围重新结晶,生成排列整齐的单晶硅棒。目前普遍采用单晶炉在多晶熔化时挥发出一种一氧化硅颗粒,高温状态下一氧化硅颗粒会与石墨加热器、石墨坩埚等配件发生反应,并且高温环境会腐蚀保温筒外沿的碳毡,从而降低了碳毡的使用寿命。另外硅单晶体从溶液中生长结晶时会释放出热量,此部分热量会减慢硅单晶的结晶速度,影响硅单晶的生产效率;
[0003]现有的热场系统一般包含顶部保温,上、中、下保温以及底部保温,上、中、下保温由内部石墨或碳保温筒包裹石墨软毡组成,目前,保温筒包裹石墨软毡时,以地面滚动的方式包裹与保温筒外侧,但在包裹过程中,石墨软毡易被拉伸,故大多采用尺寸大于保温筒的石墨软毡包裹,最后将多余石墨软毡切除,造成不必要浪费,并且在裹毡过程中,石墨软毡松紧度差别较大,导致热场保温性能不一,在一定程度影响拉晶,增加从而增加功耗,增加了生产成本,因此本技术提出一种用于单晶炉裁剪碳毡的简易工装以解决现有技术中存在的问题。

技术实现思路

[0004]针对上述问题,本技术的目的在于提出一种用于单晶炉裁剪碳毡的简易工装,该用于单晶炉裁剪碳毡的简易工装解决了造成不必要浪费、在一定程度影响拉晶、增加从而增加功耗和增加了生产成本的问题。
[0005]为实现本技术的目的,本技术通过以下技术方案实现:一种用于单晶炉裁剪碳毡的简易工装,包括基座、轴承和套管,所述基座的顶端设置有测量支架,所述测量支架的内部底端开设有贯穿槽,所述测量支架的前方设置有切割槽,且切割槽开设在基座的顶端内部,所述切割槽的内部安装有滑轨,所述滑轨的顶端通过滑块滑动连接有刀片固定环,所述刀片固定环的内部固定安装有刀片本体,所述刀片固定环的两侧均通过安装两个定位螺栓与刀片本体固定连接,所述测量支架的后方两侧均通过固定螺栓安装有套管,所述套管的后方通过支撑架安装有轴承,所述轴承的外侧壁固定连接有保温筒。
[0006]进一步改进在于:两个所述套管的内部均套设有套杆,所述套杆的一侧均开设有两个安装孔,两个所述套杆开设的安装孔均通过转轴相连接,两个所述转轴的外侧壁均安装有辅助滚轮。
[0007]进一步改进在于:所述套杆的安装孔下方开设有限位孔,所述套管通过安装限位
螺栓与套杆固定连接。
[0008]进一步改进在于:所述轴承的外侧壁均安装有限位套,所述限位套均设置在支撑架的一侧,且限位套的直径大于支撑架开设安装轴承的孔直径。
[0009]进一步改进在于:所述轴承的一侧固定连接有转动齿轮,所述转动齿轮的外侧壁固定连接有电机连接口。
[0010]本技术的有益效果为:本技术使用裁剪碳毡的工具,减少石墨软毡浪费,并可以很好统一石墨软毡包裹的高度,改善热场的保温性,有助于单晶稳定生长,降低运行成本。
附图说明
[0011]图1为本技术的主视剖面结构示意图。
[0012]图2为本技术的切割槽内部辅助结构示意图。
[0013]图3为本技术的套管、套杆和辅助滚轮组合零件结构示意图。
[0014]图4为本技术的固定夹和防滑硅胶套组合零件示意图。
[0015]其中:1、基座;2、测量支架;3、贯穿槽;4、切割槽;5、滑轨;6、滑块;7、刀片固定环;8、刀片本体;9、定位螺栓;10、支撑架;11、轴承;12、保温筒;13、限位套;14、转动齿轮;15、电机连接口;16、固定螺栓;17、套管;18、套杆;19、转轴;20、辅助滚轮;21、限位螺栓;22、固定夹;23、防滑硅胶套。
具体实施方式
[0016]为了加深对本技术的理解,下面将结合实施例对本技术做进一步详述,本实施例仅用于解释本技术,并不构成对本技术保护范围的限定。
[0017]实施例一
[0018]根据图1

图3所示,本实施例提供了一种用于单晶炉裁剪碳毡的简易工装,包括基座1、轴承11和套管17,基座1的顶端设置有测量支架2,测量支架2的内部底端开设有贯穿槽3,测量支架2的前方设置有切割槽4,且切割槽4开设在基座1的顶端内部,切割槽4的内部安装有滑轨5,滑轨5的顶端通过滑块6滑动连接有刀片固定环7,刀片固定环7的内部固定安装有刀片本体8,刀片固定环7的两侧均通过安装两个定位螺栓9与刀片本体8固定连接,测量支架2的后方两侧均通过固定螺栓16安装有套管17,套管17的后方通过支撑架10安装有轴承11,轴承11的外侧壁固定连接有保温筒12,通过设置的测量支架2根据实际情况对碳毡的尺寸进行测量,然后通过滑块6在滑轨5上进行调节距离,使刀片本体8对碳毡进行切割工作。
[0019]两个套管17的内部均套设有套杆18,套杆18的一侧均开设有两个安装孔,两个套杆18开设的安装孔均通过转轴19相连接,两个转轴19的外侧壁均安装有辅助滚轮20,通过设置的辅助滚轮20在对碳毡进行辅助上料,避免了因拖拽导致碳毡的断裂。
[0020]套杆18的安装孔下方开设有限位孔,套管17通过安装限位螺栓21与套杆18固定连接,通过设置的限位螺栓21,这样将套杆18根据实际情况进行调节高度后通过套管17安装限位螺栓21对套杆18进行限位固定。
[0021]轴承11的外侧壁均安装有限位套13,限位套13均设置在支撑架10的一侧,且限位
套13的直径大于支撑架10开设安装轴承11的孔直径,通过设置的限位套13,这样有利于对轴承11中的保温筒12进行有效的固定,避免了保温筒12发生偏移。
[0022]轴承11的一侧固定连接有转动齿轮14,转动齿轮14的外侧壁固定连接有电机连接口15,通过设置的电机连接口15,在需要连接电机进行电动上料的时候,可以将输出端与电机连接口15相连接完成自动上料。
[0023]使用时,首先将需要裁剪的碳毡进行固定在保温筒12上,再通过设置的测量支架2根据实际情况对碳毡的尺寸进行测量,然后通过滑块6在滑轨5上进行调节距离,使刀片本体8对碳毡进行切割工作,在上料的过程中将套杆18根据实际情况进行调节高度后通过套管17安装限位螺栓21对套杆18进行限位固定,再将碳毡从两个辅助滚轮20中进行传递,通过设置的辅助滚轮20在对碳毡进行辅助上料,避免了因拖拽导致碳毡的断裂,使碳毡从测量支架2开设的贯穿槽3中穿过配合刀片本体8对碳毡进行切割工作,这样一种用于单晶炉裁剪碳毡的简易工装就使用完成了。
[0024]实施例二
[0025]根据图4所示,本实施例提供了一种用于单晶炉裁剪碳毡的简易工装,保温筒12的外侧壁安装有两本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于单晶炉裁剪碳毡的简易工装,包括基座(1)、轴承(11)和套管(17),其特征在于:所述基座(1)的顶端设置有测量支架(2),所述测量支架(2)的内部底端开设有贯穿槽(3),所述测量支架(2)的前方设置有切割槽(4),且切割槽(4)开设在基座(1)的顶端内部,所述切割槽(4)的内部安装有滑轨(5),所述滑轨(5)的顶端通过滑块(6)滑动连接有刀片固定环(7),所述刀片固定环(7)的内部固定安装有刀片本体(8),所述刀片固定环(7)的两侧均通过安装两个定位螺栓(9)与刀片本体(8)固定连接,所述测量支架(2)的后方两侧均通过固定螺栓(16)安装有套管(17),所述套管(17)的后方通过支撑架(10)安装有轴承(11),所述轴承(11)的外侧壁固定连接有保温筒(12)。2.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉裁剪碳毡的简易工装,其特征在于:两个所述套管(17)的内部...

【专利技术属性】
技术研发人员:徐志群徐耀刘鑫雷瑶
申请(专利权)人:青海高景太阳能科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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