切割道器件的电性测试装置及测试方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种切割道器件的电性测试装置及测试方法，用于监控切割道上的器件的电性参数是否达标，装置包括：探针卡，包括多个探针，其中一个探针与一个器件电连接，用于对器件的电性进行测试，多个探针同时与多个器件电连接，用于同时对多个器件的电性进行测试；测试机，与探针卡连接，用于测试算法和编写测试程式，以分别控制多个探针对多个器件的电性测试，获得多个器件的电性参数。通过程式控制多个探针同时对多个切割道上的器件进行电性测试，获得器件的电性参数，可以减少测试时间，同时，减少扎针次数，从而减少探针的磨损程度，增加探针的寿命。加探针的寿命。加探针的寿命。

【技术实现步骤摘要】
切割道器件的电性测试装置及测试方法


[0001]本专利技术涉及半导体器件测试领域，尤其是涉及一种切割道器件的电性测试装置及测试方法。

技术介绍

[0002]WAT 测试过程中，通过监测切割道上的器件，达到监控芯片内部有源器件与无源器件的电性特性的目的。请参照图1，同一切割道上会设置有多种尺寸的器件，切割道上设置有与器件112连通的pad111，例如，pad111通过VIA与CONT连接到各类器件112，器件112的位置位于pad111之间的区域，如放置多个不同尺寸但电性厚度TOX相同的PMOS管、PGOI或PBJT以及P/N型无源器件。
[0003]现有技术中，使用测试机和与测试机连接的测试头140和探针卡120对器件112进行电性测试，以监控器件的电性，将探针卡120上的探针121扎在器件112两端的pad111上，输入电流或电压后可以得到器件112的电性，例如，如果器件112是电阻，可以获得器件112的阻值，接着将阻值通过测试头140传到测试机。但是，现有技术是采用依次对每个器件进行电性测试的方法，即，通过测试机140的pin141本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种切割道器件的电性测试装置，用于监控切割道上的器件的电性参数是否达标，其特征在于，包括：探针卡，包括多个探针，其中一个所述探针与一个器件电连接，用于对所述器件的电性进行测试，多个所述探针同时与多个所述器件电连接，用于同时对多个所述器件的电性进行测试；测试机，与所述探针卡连接，用于编写测试算法与测试程式，以分别控制多个探针对多个所述器件的电性测试，获得多个所述器件的电性参数；以及测试头，连接在所述探针卡与所述测试机之间，所述测试头包括多个端口，每个所述端口和一个pin连接，每个pin又和所述探针卡上的探针连接。2.如权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述器件上设置有pad，所述探针与所述pad接触，以使得所述探针与所述器件电连接。3.如权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述测试机内还包括多个测试工具，用于对器件输入测试电流或测试电压，以对所述器件进行电性测试。4.如权利要求3所述的测试装置，其特征在于，所述测试机上有串口通讯并行设计，以使得输入到所述器件的电流或电压同时地并行地从测试机到达所述器件上，以及使得获得的电性参数同时地并行地从测试机到达所述测试机。5.如权利要求3所述的测试装置，其特征在于，所述测试机上有串口通讯串行设计，输入到所...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴哲佳，王正钦，欧阳世豪，吴序伟，高沛雄，
申请(专利权)人：广州粤芯半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：