温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种切割道器件的电性测试装置及测试方法，用于监控切割道上的器件的电性参数是否达标，装置包括：探针卡，包括多个探针，其中一个探针与一个器件电连接，用于对器件的电性进行测试，多个探针同时与多个器件电连接，用于同时对多个器件的电性进行...
该专利属于广州粤芯半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州粤芯半导体技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。