一种可拆卸的硅片定位用花棒制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体制造技术领域。一种可拆卸的硅片定位用花棒，包括花棒本体，花棒本体包括头端连接部、槽齿部以及尾端连接部；槽齿部上设有轴向排布的限位齿，相邻的限位齿之间的间隙为用于插入硅片的插槽；槽齿部设有至少三个，所有的槽齿部的头端开设有螺纹孔，所有的槽齿部的尾部设有向外延伸且与螺纹孔相匹配的螺杆；头端连接部设有与螺纹孔螺纹连接的头端螺杆；尾端连接部开设有与螺杆螺纹连接的尾端螺纹孔。在加工时出现限位齿坏掉的情况下，可以随时更换坏掉的一截，重新装上新的一截替换，锁紧就可以加工了。锁紧就可以加工了。锁紧就可以加工了。

【技术实现步骤摘要】
一种可拆卸的硅片定位用花棒


[0001]本技术涉及半导体制造
，具体是花棒。

技术介绍

[0002]硅片腐蚀是硅片加工过程中重要的工艺之一，加工过程中要保证硅片腐蚀的速率，硅片表面的腐蚀均匀。
[0003]硅片腐蚀时，将硅片插设在腐蚀笼内，然后置入腐蚀槽进行腐蚀。
[0004]传统的腐蚀笼上设有至少三根花棒，且花棒都是一根整体的花棒，在腐蚀作业时不可避免的会发生碎片等其他情况，导致腐蚀笼的花棒槽齿被切削，时间长了，一个花棒只要有一个槽齿严重损害的话，那么整个花棒就要报废，而且一般情况下要是被碎片割伤的话，三根花棒的相同位置都会同时被割伤，那就一次更换3根花棒。浪费成本。

技术实现思路

[0005]针对现有技术存在的问题，本技术提供一种可拆卸的硅片定位用花棒，以解决以上至少一个技术问题。
[0006]为了达到上述目的，本技术提供了包括花棒本体，其特征在于，所述花棒本体包括头端连接部、槽齿部以及尾端连接部；
[0007]所述槽齿部上设有轴向排布的限位齿，相邻的限位齿之间的间隙为用于插入硅片的插槽；<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可拆卸的硅片定位用花棒，包括花棒本体，其特征在于，所述花棒本体包括头端连接部、槽齿部以及尾端连接部；所述槽齿部上设有轴向排布的限位齿，相邻的限位齿之间的间隙为用于插入硅片的插槽；所述槽齿部设有至少三个，所有的槽齿部的头端开设有螺纹孔，所有的槽齿部的尾部设有向外延伸且与所述螺纹孔相匹配的螺杆；所述头端连接部设有与所述螺纹孔螺纹连接的头端螺杆；所述尾端连接部开设有与所述螺杆螺纹连接的尾端螺纹孔；还包括中间连接部，所述中间连接部用于连接相邻的槽齿部，所述中间连接部设有与所述螺纹孔螺纹连接的中间螺杆，所述中间连接部设有与所述螺杆螺纹连接的中间内螺纹。2.根据权利要求1所述的一种可拆卸的硅片定位用花棒，其特征在于：所述中间连接部包括一横截面呈正多边形的棱柱部，所述中间内螺纹开设有在所述棱柱部的中央，且...

【专利技术属性】
技术研发人员：甘志金，贺贤汉，王小波，沈晓春，
申请(专利权)人：上海中欣晶圆半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：