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本实用新型涉及半导体制造技术领域。一种可拆卸的硅片定位用花棒，包括花棒本体，花棒本体包括头端连接部、槽齿部以及尾端连接部；槽齿部上设有轴向排布的限位齿，相邻的限位齿之间的间隙为用于插入硅片的插槽；槽齿部设有至少三个，所有的槽齿部的头端开设有...
该专利属于上海中欣晶圆半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海中欣晶圆半导体科技有限公司授权不得商用。

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