【技术实现步骤摘要】
本申请涉及硅片清洗机清洁，尤其涉及一种延长清洗机sc-1槽用滤芯使用寿命的方法、系统及设备。
技术介绍
1、在抛光片清洗生产过程中，清洗机sc-1槽发挥着重要作用，其内部滤芯用于过滤清洗液中的杂质，以保证清洗效果和设备的正常运行。然而，现有的清洗机sc-1槽用滤芯使用寿命较短，通常仅为6个月。频繁更换滤芯不仅增加了生产成本，还可能导致设备停机，影响生产效率。同时，废弃滤芯的处理也带来了一定的环境压力。
2、目前亟需一种高效且能够延长提升槽用滤芯使用寿命的方案。
技术实现思路
1、本申请的一个目的是提供一种延长清洗机sc-1槽用滤芯使用寿命的方法、系统及设备，至少用以解决现有技术无法有效延长清洗机sc-1槽用滤芯使用寿命的技术问题。
2、为实现上述目的，本申请的一些实施例提供了以下几个方面：
3、第一方面，本申请的一些实施例还提供了一种延长清洗机sc-1槽用滤芯使用寿命的方法，包括以下步骤：
4、对清洗机sc-1槽中的滤芯进行智能扫描诊断，生成...
【技术保护点】
1.一种延长清洗机SC-1槽用滤芯使用寿命的方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的延长清洗机SC-1槽用滤芯使用寿命的方法，其特征在于，所述对清洗机SC-1槽中的滤芯进行智能扫描诊断，生成扫描数据，并基于所述扫描数据进行数字孪生引导滤芯拆除的过程为：
3.根据权利要求2所述的延长清洗机SC-1槽用滤芯使用寿命的方法，其特征在于，所述污染物分布模型具体为：
4.根据权利要求2所述的延长清洗机SC-1槽用滤芯使用寿命的方法，其特征在于，所述基于所述三维污染热力图构建滤芯多物理场数字孪生体，求解得到最优拆除力学路径，基...
【技术特征摘要】
1.一种延长清洗机sc-1槽用滤芯使用寿命的方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的延长清洗机sc-1槽用滤芯使用寿命的方法，其特征在于，所述对清洗机sc-1槽中的滤芯进行智能扫描诊断，生成扫描数据，并基于所述扫描数据进行数字孪生引导滤芯拆除的过程为：
3.根据权利要求2所述的延长清洗机sc-1槽用滤芯使用寿命的方法，其特征在于，所述污染物分布模型具体为：
4.根据权利要求2所述的延长清洗机sc-1槽用滤芯使用寿命的方法，其特征在于，所述基于所述三维污染热力图构建滤芯多物理场数字孪生体，求解得到最优拆除力学路径，基于所述路径及所述三维污染热力图操作机械臂对滤芯执行动态变刚度拆除的过程为：
5.根据权利要求2所述的延长清洗机sc-1槽用滤芯使用寿命的方法，其特征在于，所述设计三级氧化池，将所述滤芯置于三级氧化池中并进行三级梯度氧化深度处理，去除滤芯中存在的复合污染物的过程为：
6.根据权利要求5所述的延长清洗机sc-1槽...
【专利技术属性】
技术研发人员：孟令猛，
申请(专利权)人：上海中欣晶圆半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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