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本申请实施例涉及硅片清洗机清洁技术领域，公开了一种延长清洗机SC‑1槽用滤芯使用寿命的方法、系统及设备。包括：对清洗机SC‑1槽中的滤芯进行智能扫描诊断，生成扫描数据，并基于所述扫描数据进行数字孪生引导滤芯拆除；设计三级氧化池，将所述滤芯置...
该专利属于上海中欣晶圆半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海中欣晶圆半导体科技有限公司授权不得商用。

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