一种新型晶圆表面烘干装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种新型晶圆表面烘干装置，包括烘干框架，所述烘干框架正面和背面均安装有横档，两组所述横档相互远离的表面安装有检测框和标记框架，前方所述横档的顶部安装有输送风机；所述输送风机的背面安装有连接框架，所述输送风机的顶部安装有红外温度计，所述连接框架的底壁安装有中空的金属管，所述金属管的内部安装有三组等距布置的导气管，所述电子阀与红外温度计电性连接，所述导气管的顶部嵌合连接有液氮管。本发明专利技术通过设置有输送风机和标记框，可通过标记框底部的超声波测距仪检测晶圆表面是否发生胀包现象，并利用电动伸缩杆、电推杆和标记板对胀包晶圆进行标记，随后利用输送风机进行筛选分类，实现良品和不良品的区分。的区分。的区分。

【技术实现步骤摘要】
一种新型晶圆表面烘干装置


[0001]本专利技术涉及晶圆烘干
，具体为一种新型晶圆表面烘干装置。

技术介绍

[0002]晶圆，是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其生产后的外观形状为圆形，故又被称为晶圆，晶圆的制造原料为硅，与硅片的区别在于晶圆的表面含有集成电路，而硅片的表面没有集成电路，晶圆在生产结束后，需要进行烘干处理以去除表面的刻蚀液体，以此保护晶圆的正常使用。
[0003]现有的晶圆烘干装置存在的缺陷是：1、对比文件CN205843288U公开了一种晶圆烘干机，“包括机架和设于机架上的烘干室，所述烘干室的上方设有热风送风装置，用于向烘干室内输送热风，所述机架上还设有动力传送带，所述动力传送带贯穿烘干室，用于传送承载晶圆的花篮穿过烘干室，还包括冷风送风装置，固定在所述烘干室的出口上部外侧，其送风口冲向所述烘干室出口外侧的动力传送带，所述冷风送风装置的送风口外侧设有导流罩，固定于所述冷风送风装置上，所述导流罩上设有气体导流孔。本技术能够使烘干出料后的硅片及花篮温度降低，不会烫伤操作人员，方便操作人员取片，提高效率”，但是该晶圆烘干装置在进行烘干操作时，进考虑到晶圆表面的降温，却忽视了不良品与合格品之间的筛分处理，导致烘干后收集的晶圆质量参差不齐，且无法根据晶圆表面实际温度来反向调节降温工具的工作功率大小，导致降温效果固定，无法实现有效降温；2、对比文件CN212205524U公开了一种晶圆烘干机，“包括底座一，所述底座一的一侧设置有底座二，所述底座一的顶部中间位置与所述底座二的顶部中间位置分别均开设有凹槽，两个所述凹槽之间通过传输带连接，所述传输带的上方且位于所述底座一的顶端设置有烘干室，所述传输带的上方且位于所述底座二的顶端设置有壳体；其中，所述壳体的顶端均匀设置有若干冷风送风装置，所述壳体内侧且位于所述底座二的顶端均匀设置有若干温度传感器，所述温度传感器的上方且位于所述壳体的内壁上均匀设置有若干活动装置。有益效果：一方面扩大了的冷风的吹拂面积；同时，在壳体内进行降温处理，降低了冷风与室外温度的温度交换，进而提高晶圆的降温效率”，该晶圆烘干装置在进行晶圆烘干操作时，无法实现双面均匀烘干处理，导致晶圆底部与传输带接触的部位难以接收到烘干操作，使得装置的烘干效率较低；3、对比文件CN212370521U公开了快速均匀的晶圆烘干装置，“包括固定烘干外箱，所述固定烘干外箱的内部设有移动烘干架，所述移动烘干架的一侧竖直内壁上固定安装有第一晶圆托板，所述移动烘干架的另一侧竖直内壁上固定安装有第二晶圆托板，所述移动烘干架靠近第一晶圆托板的一侧壁底部位置开设有第一进风口，所述移动烘干架靠近第二晶圆托板一侧壁顶部位置开设有第一出风口，所述固定烘干外箱的一侧外壁底部位置固定安装有热风机，所述固定烘干外箱的内表面开设有烘干腔，所述第一晶圆托板与第二晶圆托板结构一致。本技术可以实现多组晶圆的快速均匀烘干处理，烘干效果好，不占用大
量地面空间，烘干效率高，省时省力，提高工作效率”，该烘干装置在进行晶圆烘干处理时，无法有效统计晶圆的实际良品率，大致晶圆烘干后质量好坏数据难以统计获取；4、对比文件CN209820039U公开了一种晶圆烘干槽，“包括石英内槽体以及外槽体；所述石英内槽体底端设置有石英碳素加热器，所述石英内槽体通过支撑架与氮气加热器相连接，所述氮气加热器与石英碳素加热器位置相对应，所述外槽体的侧边设置有有杆水缸。本技术一种晶圆烘干槽，结构简便，减少加热时间，可以有效的提高运行效率”，该烘干装置在烘干时未能实现胀包不良品的识别和标记，导致后续需要进行二次检测，增加不必要的检测工作。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种新型晶圆表面烘干装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种新型晶圆表面烘干装置，包括烘干框架，所述烘干框架正面和背面均安装有横档，两组所述横档相互远离的表面安装有检测框和标记框架，且标记框架位于检测框的一侧，前方所述横档的顶部安装有输送风机，且输送风机位于标记框架的一侧；所述输送风机的背面安装有连接框架，所述输送风机的顶部安装有红外温度计，所述连接框架的底壁安装有中空的金属管，所述金属管的内部安装有三组等距布置的导气管，所述导气管的表面安装有电子阀，所述电子阀与红外温度计电性连接，所述导气管的顶部嵌合连接有液氮管，且液氮管的顶部与连接框架的顶壁贴合；所述标记框架的顶部安装有等距布置的计数器。
[0006]优选的，所述烘干框架的内壁安装有二号红外加热板，所述烘干框架的顶壁四角均安装有电动伸缩筒，所述电动伸缩筒的底部连接有一号红外加热板，所述烘干框架的正面安装有温度控制器，所述温度控制器的表面安装有控制按钮和温度检测器，且温度检测器位于控制按钮的上方，所述温度检测器与一号红外加热板、二号红外加热板电性连接。
[0007]优选的，所述烘干框架的正面安装有一号显示屏，所述一号显示屏的安装数量与计数器的安装数量相等，所述烘干框架的正面安装有二号显示屏，且二号显示屏位于一号显示屏的下方，且二号显示屏与一号显示屏电性连接，所述一号显示屏与计数器一一电性连接，所述二号显示屏位于温度控制器的侧上方。
[0008]优选的，所述标记框架的底部安装有等距布置的电动伸缩杆，且电动伸缩杆的安装数量和安装位置与计数器一一对应，所述电动伸缩杆的底部安装有延伸杆，所述延伸杆的底部设有出口，所述出口的内壁安装有刷条，且刷条的长度小于出口的直径。
[0009]优选的，所述延伸杆的顶壁安装有电推杆，所述电推杆的尾端连接有标记板，且标记板为上下堆叠布置，所述标记板包括有隔离膜、铁块和胶接块，所述隔离膜的底部连接有铁块，所述铁块的底部连接有胶接块，所述胶接块的底部与另一组标记板中隔离膜的顶部连接，所述胶接块底部的圆心位置设有胶接区，且胶接区的边缘与刷条的尾端重合。
[0010]优选的，所述横档的尾端底部嵌合连接有支杆，所述支杆的尾端连接有废料收集框，所述废料收集框的背面一侧连接有常料收集框，所述常料收集框的背面安装有挡板，所述挡板的内部设有贯穿的透气孔。
[0011]优选的，所述检测框的底部设有等距布置的超声波测距仪，且超声波测距仪的安装位置和安装数量与电动伸缩杆一一对应，所述超声波测距仪与电动伸缩杆、电推杆一一电性连接。
[0012]优选的，所述横档相互靠近的表面通过轴承安装有传送转辊，所述传送转辊的表面安装有传送网带，所述横档的正面连接有驱动电机，且驱动电机位于烘干框架远离输送风机的一侧，所述驱动电机的输出端与其中一组传送转辊的一端连接。
[0013]优选的，所述二号红外加热板位于传送网带的中间。
[0014]优选的，该烘干装置的操作步骤如下：S1、在使用该烘干装置为晶圆提供表面烘干处理前，可先确定晶圆的实际厚度，之后启动电动伸缩筒，使得一号红外加热板与传送网带之间的距离与二号红外加热板与传送网带之间的距离相等，在此前提下，启动驱动电机，可确保传送网带表面输送的晶圆可经过烘干框架时，可受到上本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型晶圆表面烘干装置，包括烘干框架（4），其特征在于：所述烘干框架（4）正面和背面均安装有横档（102），两组所述横档（102）相互远离的表面安装有检测框（3）和标记框架（5），且标记框架（5）位于检测框（3）的一侧，前方所述横档（102）的顶部安装有输送风机（2），且输送风机（2）位于标记框架（5）的一侧；所述输送风机（2）的背面安装有连接框架（201），所述输送风机（2）的顶部安装有红外温度计（206），所述连接框架（201）的底壁安装有中空的金属管（202），所述金属管（202）的内部安装有三组等距布置的导气管（203），所述导气管（203）的表面安装有电子阀（204），所述电子阀（204）与红外温度计（206）电性连接，所述导气管（203）的顶部嵌合连接有液氮管（205），且液氮管（205）的顶部与连接框架（201）的顶壁贴合；所述标记框架（5）的顶部安装有等距布置的计数器（8）。2.根据权利要求1所述的一种新型晶圆表面烘干装置，其特征在于：所述烘干框架（4）的内壁安装有二号红外加热板（403），所述烘干框架（4）的顶壁四角均安装有电动伸缩筒（401），所述电动伸缩筒（401）的底部连接有一号红外加热板（402），所述烘干框架（4）的正面安装有温度控制器（404），所述温度控制器（404）的表面安装有控制按钮和温度检测器，且温度检测器位于控制按钮的上方，所述温度检测器与一号红外加热板（402）、二号红外加热板（403）电性连接。3.根据权利要求1所述的一种新型晶圆表面烘干装置，其特征在于：所述烘干框架（4）的正面安装有一号显示屏（801），所述一号显示屏（801）的安装数量与计数器（8）的安装数量相等，所述烘干框架（4）的正面安装有二号显示屏（802），且二号显示屏（802）位于一号显示屏（801）的下方，且二号显示屏（802）与一号显示屏（801）电性连接，所述一号显示屏（801）与计数器（8）一一电性连接，所述二号显示屏（802）位于温度控制器（404）的侧上方。4.根据权利要求1所述的一种新型晶圆表面烘干装置，其特征在于：所述标记框架（5）的底部安装有等距布置的电动伸缩杆（504），且电动伸缩杆（504）的安装数量和安装位置与计数器（8）一一对应，所述电动伸缩杆（504）的底部安装有延伸杆（501），所述延伸杆（501）的底部设有出口（503），所述出口（503）的内壁安装有刷条（502），且刷条（502）的长度小于出口（503）的直径。5.根据权利要求4所述的一种新型晶圆表面烘干装置，其特征在于：所述延伸杆（501）的顶壁安装有电推杆（6），所述电推杆（6）的尾端连接有标记板（601），且标记板（601）为上下堆叠布置，所述标记板（601）包括有隔离膜（602）、铁块（603）和胶接块（604），所述隔离膜（602）的底部连接有铁块（603），所述铁块（603）的底部连接有胶接块（604），所述胶接块（604）的底部与另一组标记板（601）中隔离膜（602）的顶部连接，所述胶接块（604）底部的圆心位置设有胶接区（605），且胶接区（605）的边缘与刷条（502）的尾端重合。6.根据权利要求1所述的一种新型晶圆表面烘干装置，其特征在于：所述横档（102）的尾端底部嵌合连接有支杆，所述支杆的尾端连接有废料收集框（7），所述废料收集框（7）的背面一侧连接有常料收集框（701），所述常料收集框（701）的背面安装有挡板（702），所述挡板（702）的内部设有贯穿的透气孔（703）。7.根据权利要求1所述的一种新型晶圆表面烘干装置，其特征在于：所述检测框（3）的底部设有等距布置的超声波测距仪（301），且超...

【专利技术属性】
技术研发人员：周明，
申请(专利权)人：江苏明芯微电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：